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XUV/EUV/VUV高精度光谱仪

价格：￥电议

品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：中国大陆更新时间：2026/10/9 8:12:41

产品摘要：无狭缝高光通量，超高精度分辨，极紫外光谱诊断标杆。德国 HP Spectroscopy 源自马普量子光学研究所，专注 1-300nmXUV/EUV/VUV光谱仪研发。XUV/EUV/VUV光谱仪，核心无狭缝平场技术光收集效率提升 20 倍，全系列覆盖桌面紧凑型、高分辨科研型、束线集成型等多品类，适配 HHG 光源表征、等离子体诊断、UPS/ARPES、同步辐射等场景，支持高度定制化光谱解决方案

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详细内容

XUV/EUV/VUV光谱仪

昊量光电XUV/EUV/VUV光谱仪，核心技术特色：无狭缝（no-slit）设计、像差校正平场光栅、模块化与高度可定制化。所有系统均运行于真空环境（典型真空度 10⁻⁴ mbar），支持超高真空（UHV）版本。定制化是常态——可根据客户需求调整波长范围、光栅配置、探测器接口等。产品线覆盖实验室光源（HHG、等离子体）到大型设施（同步辐射、自由电子激光FEL）的光谱诊断需求，光谱覆盖范围为1至300 nm。

像差校正平场光栅，宽波段单次成像

全系主流 VUV/XUV 光谱仪采用变间距凹面平场光栅，同时完成色散与聚焦，焦平面平坦，可直接匹配面阵 ccd、MCP 等探测器，单次曝光即可覆盖 5–100 nm 宽波段，无需扫描即可完成全谱采集，测试效率远高于扫描式设备。其中 VUV 专用光栅衍射效率可达约 43%，在同波段处于水平。

独有的无狭缝设计

光谱仪设计采用“光源直接成像”原理，无需狭窄入口狭缝即可实现较高的光收集效率。与传统光谱仪结构相比，进入探测器的光通量提高 20 倍，其适配高次谐波（HHG）这类低通量 XUV/VUV 光源，同时大幅简化光路对准操作，同时显著提升日常运行的稳定性与可靠性。

同时支持有狭缝 / 无狭缝选择，可在 “高效率普查” 与 “高分辨率精细分析” 间灵活选择。

各型号XUV/EUV/VUV光谱仪特点简介：

maxLIGHT 系列 — 高效率宽波段无狭缝平场光谱仪，zui大化光通量，波长 1–200 nm

highLIGHT — zui高分辨率平场光谱仪，覆盖 1–120 nm XUV 波段，分辨率 ≤0.006 nm ，支持窄带（1–20 nm，高分辨精细分析）与宽带（5–100 nm，全谱普查）双带宽模式

easyLIGHT VUV — 紧凑型 VUV 光谱仪/单色仪一体机，80–300 nm，光栅效率高达～43%

easyLIGHT XUV — 紧凑型 XUV 光谱仪，30–250 nm，有狭缝 / 无狭缝混合设计，无狭缝效率提升达20倍

nanoLIGHT — 集成 XUV 光谱仪+光束分析仪，分辨率 0.13–0.25 nm，10–80 nm，仅 16×17 cm²，高性价比

monoLIGHT — 高通量环面光栅单色仪，覆盖 10–300 nm VUV/EUV 波段，专为实验室 VUV 光源优化，He I（58.4 nm）、He II（30.4 nm）等 VUV 特征谱线优化，可完全分离 He I α 与 He I β 谱线，窄带宽下仍保持极高样品处光强

beamLIGHT — 在线束线光谱仪，覆盖 1–200 nm XUV 波段，采用 in-line 在线式设计，自带束流旁通通道，可在不中断主实验的前提下完成光谱诊断，全电动化支持远程控制，机身约 50 cm 紧凑易集成，可扩展波前传感器、泵浦- 探测延迟单元等模块

EasyLIGHT XUV 光谱仪在极远紫外和真空紫外光谱区域通过像差校正，可实现宽波段光谱测量。其无狭缝设计，可直接对辐射源成像，省去了传统入口狭缝的繁琐调整。有狭缝模式覆盖 30–200 nm，无狭缝模式扩展至 30–250 nm，适合高次谐波（HHG）及等离子体诊断等多种应用需求。采用正入射结构，easyLIGHT XUV 在安装与准直方面远优于掠入射光谱仪，操作更为简便。