型号	行程范围 (mm)	驱动力（N）	分辨率 (nm)	重复精度 (nm)	速度（max）(mm/s)
XLA-1	5-305	1	78/312/1250(闭环) / 20-50µm(开环)	±80(单向) / ±160(双向)	5.5-17.5
XLA-3	10-290	3			35.8-60
XLA-5	10-290	5			35.8-60
XLA-10	10-285	10			54.9-85.6
环境使用要求	工作温度-30℃~+70℃ 湿度要求20%-90% RH

XLA系列核心参数

大行程5-285mm
分辨率78nm-1250nm
重复精度80nm
速度5.5mm/s-85.6mm/s

选型建议

·高精度需求：优先选择XLA-1或XLA-3（分辨率达78nm，双向重复精度±160nm）。

·大负载应用：选择XLA-10（驱动力10N，保持力10N）。

·紧凑设计：XLA-1（仅5.4mm厚度）适合空间受限场景。

·高速运动：开环版本均支持1000mm/s。

控制器兼容性

·所有型号均支持以下控制方式：

·Windows图形界面

·LabVIEW/Matlab脚本

·C++/Python库

注：闭环版本需搭配专用控制器（XD-OEM/XD-A），开环版本内置控制器。

应用场景

1. 半导体与光刻设备

·光刻机精密对准：
XLA-10的高分辨率（78nm）和双向重复精度（±160nm）适合晶圆台的微米级定位。（如ASML光刻机中的掩模版调整）

·晶圆检测设备：
XLA-5的快速响应（点对点定位时间25ms）用于自动对焦和扫描平台。

·优势

·无磁干扰

·耐真空兼容（可选HV版本）

2. 生命科学与医疗设备

·共聚焦显微镜

·微创手术机器人

3. 光学与光子学

·自适应光学系统

·激光加工设备

·技术亮点

·无振动运动（超声波电机）
·支持LabVIEW/Python控制（快速集成）

4.工业自动化与检测

5.科研与定制化仪器

·低温实验环境

·超真空腔体

6.新兴技术领域

·AR/VR光学模组

·生物打印

更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电：

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

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