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70W 大功率紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圆）

价格：￥电议

品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：中国大陆更新时间：2026/10/9 8:12:41

产品摘要：ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源，高达70W的i线(365nm)曝光,高达80W的宽带曝光（350-450nm）,适用于均匀度较高以及准直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸），目前已广泛试用在掩膜对准系统，步进系统(封装）,准直曝光系统及大功率辐射要求的固化系统。

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详细内容

70W大功率紫外 UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圆）

--- 适用于12英寸大型基板曝光

ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源，高达70W的i线(365nm)曝光,高达80W的宽带曝光（350-450nm）,适用于均匀度较高以及准直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸），目前已广泛试用在掩膜对准系统，步进系统(封装）,准直曝光系统及大功率辐射要求的固化系统，ALE/2系列UV-LED曝光光源已成为半导体光刻制造及检测领域中的一个理想工具。

ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外点光源，适用于需要完美均匀和准直辐射的大型基材工业泛光曝光工具。这些可能是8″（200毫米）或12″（300毫米）掩模对准器。它的紫外线输出足够强大，可以为更大的装置提供动力，正方形曝光面积可达400 X 400毫米，在某些情况下，甚至超过这个范围。ALE/2采用UV-LED技术，具有的输出稳定性和灵活的光谱控制，优于传统的高压汞放电灯。此外，它还消耗更少的电力，产生更少的热量，持续时间更长，并且不需要太多的整体维护。

ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中组合四个反馈控制的高功率UV-LED。可提供i线（CWL 365 nm）和宽带（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置。在纯i线工艺中，ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美额定功率高达5,000 W的传统放电汞灯光源。对于宽带模式，ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可与2,000 W放汞灯光源相媲美。

ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式设计方法，通常由一个控制子系统（CSS）+一个单独的曝光子系统（ESS）组成。ESS 的标准光出口是一个 16 mm X 16 mm 的光管，光引擎可以与标准和定制的聚光光学元件结合使用，以实现高度均匀的曝光。

ALE/2系列UV-LED曝光光源应用场景：

半导体光刻制造（12英寸大基板）	光固化应用和其他
掩膜对准系统	大面积光固化（400mm）
步进系统（封装）	高辐射剂量固化应用
准直曝光系统	紫外成像
晶圆光刻曝光
晶圆缺陷检测

ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特点：

内置解决方案可实现更高曝光效率和性能；
高达70W的纯i线曝光（365nm）;
高达80W的宽带模式曝光（350-450nm）;
闭环光控制输出；
无汞，绿色光源；
无需外部冷却，更节能；

ALE/2系列 ⁻⁷0W大功率-UV-LED曝光光源性能展示：

ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源规格参数：

发光单元选项	多大4个波长，如365nm, 385nm，405nm,435nm
输出功率	up to 80W@宽带， up to 70W@i线-365nm
数值孔径	NA 0.3(2a ~35°) 配合标准聚光镜（condenser）
控制配置	1、独立的LED电源管理和预设； 2、高分辨率强度调整（10%-100%）； 3、LED上升时间<1ms； 4、持续监控光输出和反馈控制；
通讯接口	1、离散PLC接口（TTL）； 2、USB(串行)； 3、以太网/MOdbuS TCP/IP （可选）；
热管理	1、带内部散热器的液体冷却（Standard mode）； 2、外部冷却器（可选项），（performance mode ）;
尺寸（W H D）	ESS 21 x 21 x 36cm ； CSS 44 x18 x 37cm ;
重量	ESS 4Kg ; CSS 10Kg ;
电源输入	110-240V/ 50-60Hz / 1500W