当前位置：阿仪网 > 光学仪器 > 配件耗材 > 载物台 > 上海昊量光电设备有限公司 > 产品展示 > 位移台 | 偏转镜 | 旋转台 > 精密定位平台 | 显微载物台 > 空气轴承系统——ALIO纳米级高精度运动系统

空气轴承系统——ALIO纳米级高精度运动系统

价格：￥电议

品牌名称：$brandModel.Title型号：原产地：美洲更新时间：2026/10/9 8:12:27

产品摘要：ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空气轴承运动系统，6-D指运动的6个维度；线性，直线度，平面度，俯仰，偏航和滚动。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能证明文件。6-D Nano Precision® 是指在纳米级精度下运动的身体的所有 6 个自由度的性能证明文件。

支付方式：

支付宝微信银行转账

产品完善度：访问次数：769

企业档案

会员类型：旗舰版

已获得阿仪网信誉等级评定

76成长值

(0 -40)基础信誉积累，可浏览访问

(41-90)良好信誉积累，可接洽商谈

(91+ )优质信誉积累，可持续信赖

阿仪网旗舰版会员：6年

工商认证【已认证】

最后认证时间：

注册号：【已认证】

法人代表：【已认证】

参观次数：1482779

手机网站：http://wap.app17.com/c148496/

旗舰版网址：http://www.sh-haoliang.com

详细内容

空气轴承系统——ALIO纳米级高精度运动系统

空气轴承系统产品描述：

ALIO Industries推出了6-D Nano Positioning®空气轴承运动系统，6-D指运动的6个维度；线性，直线度，平面度，俯仰，偏航和滚动。Nano Precision 指的是在 +/- 450 nm 水平或以下的性能证明文件。6-D Nano Precision® 是指在纳米级精度下运动的身体的所有 6 个自由度的性能证明文件。空气轴承系统适用于制造、检测/维修和计量等各种应用领域。ALIO Industries空气轴承运动系统，是一种用气浮导轨或空气轴承做支撑的精密运动装置，适用于下一代TRUE NANO®精密应用。空气轴承系统提供出色的定位性能，适用于高精度要求的应用。空气轴承系统适用于多个行业，包括光伏、半导体、喷墨沉积、光刻和光学检测等领域。

空气轴承系统产品特点：

零摩擦和无振动的平滑移动
速度稳定超高精度的移动
运动不产生颗粒，适用于无尘环境
轴承损耗低，表面不易损坏

定制二维平面 XY 空气轴承系统

由于两个轴都使用相同的高精度花岗岩底座作为参考，因此可以在数百毫米（甚至米）的行程范围内实现仅一微米的平面度。

这种高刚性平面 xy 空气轴承运动系统系列提供亚微米精度和 +/- 100 纳米双向可重复性，即使在批量机器的批量生产中也是如此生产。凭借 200 毫米至 800 毫米的标准版本，以及可定制超过 3 米的 X 和 Y 行程，该产品系列在任何类型的测量/计量应用和半导体行业中都具有True Nano®精度。

强大的线性直接驱动器和空气轴承使这些运动系统非常适合高精度、高吞吐量的应用，这些应用需要平滑的连续扫描或非常长距离的快速步进和稳定过程。

定制空气轴承平衡式Z轴位移台（垂直位移台）

ALIO 的直线电机驱动、带空气轴承平衡的垂直 Z 升降平台系列的特点是外形低矮且行程极长。使用高精度交叉滚子轴承和线性编码器，平台配备无摩擦空气轴承气缸。与 GeoSymmetric 系列平台类似，这些长行程 Z 平台具有配重、电机、轴承和编码器，所有这些都放置在平台的大致中心线上。有效负载可以直接安装到舞台的表面。

Z-ABCB 系列——配备无摩擦空气轴承气缸平衡装置——可在 200 毫米或以上承载高达 25 公斤的有效载荷。