新品发布-六轴纳米级压电位移台_公司新闻

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公司新闻

新品发布-六轴纳米级压电位移台

点击次数：177发布时间：2026/7/17 10:24:15

新品发布-六轴纳米级压电位移台

导语：

星朗浩宇/上海昊量光电 LT6 系列六轴（6-DOF）超精密压电纳米位移台正式推向市场——以压电陶瓷驱动+柔性铰链无摩擦导向构建运动链，再以自研Silicon HR单晶硅传感器闭环替代对环境敏感的传统电容传感，把本底噪声压入皮米区间（典型 10–50 pm），线性度推到 ≈0.02%，并在 X/Y/Z + θx/θy/θz全六自由度上实现稳定、可复现的亚纳米级定位。

新品发布-六轴纳米级压电位移台

广泛应用于：

1. 超分辨显微 (TIRF‑SIM/STORM)

2. 针尖增强拉曼 (TERS)

3. 量子科技 & 集成光子学（Quantum & Photonics）

4. 原子力显微镜& 精密传感（AFM & Precision Sensing）

5. 半导体检测 & 缺陷复查（Semiconductor Metrology）

产品介绍：

LT6 是一款超薄型六自由度（X/Y/Z + θx/θy/θz）压电纳米定位台，专为倒置显微镜腔体与紧凑光路设计，可与粗定位台组成宏‑微系统。实现亚纳米级分辨率（XYZ 0.1/0.2/0.3 nm）、低噪声与更低长期漂移，三档行程覆盖100/200/300μm，角行程到5 mrad，轮廓仅193×152.5×36.9 mm，zui大负载水平0.5 kg / 垂直0.3 kg，标配模拟BNC控制、USB可选。

图片来源于：法国CEMES研究中心

“这是我们在荧光寿命+拉曼（FLIM-RAMAN）联用上的一个标杆案例。这个成果是由法国的国jia材料研究中心（CEMES）的Marc WEBER团队完成的，证明了我们的设备在顶ji基础研究中的可靠性。”

LT6 核心技术特征：

传统电机/导轨型 6 轴台在超分辨、单分子/光镊、波导对准、局部高倍量测等应用，制约信噪比的往往是平台的微漂移与倾角抖动。LT6采用压电柔性铰链技术，再用硅基传感器闭环提供更环境钝感的基准，从而把定位问题从“zui小步进够不够”变成“到了点之后还稳不稳”。当工艺需要进真空腔时，LT6亦可按真空适配路线组织，作为腔内精定位段与粗定位机构配合运行。

►Si‑HR 硅传感：固态感知，抗环境扰动，低漂移。

► 柔性铰链：无摩擦导向，500 Hz 高谐振。

►六轴闭环：全自由度解耦，θx/θy 实时倾角锁定。

► 超薄架构：36.9 mm 低剖面，倒置显微腔体直嵌。

LT6 产品主要参数：