硅片厚度测量仪SIT-200
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品牌名称：$brandModel.Title型号：SIT-200 原产地：中国大陆 更新时间：2026/9/21 7:50:12
产品摘要：硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
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详细内容
硅片厚度测量仪SIT-200
硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
产品特点：
l 全光学，非接触硅片厚度测试
l 高动态范围测量粗糙表面
l 湿法刻蚀过程中实时测量
高灵敏度 高精度 快速测量 远程控制
结构示意图
SIT-200
产品参数：
| 测量目标 | 硅片 |
| 测量厚度 | 10-500μm |
| 光源 | 1515-1585nm扫描 |
| 功率 | 0.6mw，Class1 |
| 指示光源 | 红光，Class1M |
| 测量时间 | 20ms |
| 重复性 | 0.1μm |
| 输出监控 | 干扰信号（电学） |
| PC接口 | 网口 |
| 供电 | 100-240V，50/60Hz |
| 尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
| 重量 | 9kg |
硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
热门标签：非接触式硅片厚度测量仪SIT-200,硅片,测量仪
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