真空快速退火炉

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产品摘要：真空快速退火炉产品特点： 1 控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。 2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权设计,提高操作便捷性。 3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。

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更新时间：2026/9/24 9:21:26关注度：851

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真空快速退火炉产品特点：

1 控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。

2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权设计,提高操作便捷性。

3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。

产品组成：

此款CVD系统配置：

1.1200度开启式真空管式炉（可选配单温区、双温区）。

2.多路质量流量控制系统

3.真空系统（可选配中真空或高真空）

真空快速退火炉技术参数：

产品名称	RTP系列-滑动式快速退火炉
产品型号	RTP-G06123K-H
额定功率	9KW
额定电压	220AC 50/60Hz
极限温度	1000℃
连续工作	950℃(<1 小时)
加热区长度	250mm
恒温区长度	200mm
加热元件	红外灯管
温度控制	国产程序控温系统可编程50段程序控温；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ60/Φ80/Φ100mm
炉管材质	石英管
滑动距离	300mm
最大降温速度	900~200℃的降温速度:15min
zui快升温速度	50ºC/S
滑动控制	由温度控制器自动控制炉体移动. 当程序完成，炉体按设定的速度滑动。
流量计	浮子流量计60-600ml/min
滑轨尺寸	360 x1300x265mm
外形尺寸	360x385x595mm
重量	85Kg
标准配置	气路总成一套（含真空压力表）石英管一支、石英堵三个、钩子一把、高温手套一副。