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从“能测”到“能鉴定”，这项专利补齐先进制程颗粒分析短板
点击次数：90发布时间：2026/8/25 8:32:16
肉眼可见颗粒转为隐形界面缺陷 制程迭代，传统检测抵达瓶颈 参照SEMI行业规范与头部晶圆厂管控指标，3nm工艺要求颗粒最低检出灵敏度达10.5–11.5nm，后续2nm、埃米级工艺还会持续提高检测标准。传统光学散射、光阻检测技术已逼近物理性能上限，难以适配超细污染物管控需求。 与此同时，污染来源愈发繁杂：高纯化学品内PPT级痕量金属离子、工艺腔室气态污染物、洁净区纳米悬浮颗粒，浓度虽低于常规监控阈值，但长期累积会对芯片造成不可逆损伤，是先进产线难以根除的质控痛点。 实现颗粒形貌观测与成分鉴定 针对行业现存痛点，胤煌科技依托自研授权发明专利，推出激光共聚焦原位显微拉曼光谱检测方案，打破传统设备仅能统计颗粒数量的局限，实现颗粒可视化成像、原位成分定性双重能力。设备无需破坏样品即可完成无损分析，XY平面分辨率优于500nm，可精准区分致命工艺缺陷与无害伪缺陷，减少产线误判与复测成本。当下颗粒检测行业已从单纯数值统计，转向成像+成分一体化分析，这套自研设备为芯片良率管控筑牢技术防线。 综上，3nm及以下工艺阶段，芯片污染由可视颗粒转变为原子级界面缺陷，传统光学检测存在漏检、无法溯源的短板。胤煌科技成像与拉曼联用专利技术，同步实现颗粒形貌观测、无损成分鉴定，补齐了传统颗粒分析只能计数、无法定性溯源的行业缺口。随着制程持续向埃米级迭代，可视化+成分溯源一体化检测将成为先进晶圆厂标配，该国产化自研方案，也为国内半导体精密检测设备突破、改善先进制程良率损耗问题提供了可行技术路径。 关于胤煌科技 苏州胤煌精密仪器科技有限公司(以下简称“胤煌科技”）是一家专注于为医药、半导体、化工材料等行业提供精密检测分析设备与技术服务的高科技企业。公司成立于2019年，总部位于苏州，服务网络覆盖全国。 胤煌科技以“让颗粒检测分析更专业”为使命，自主研发多款核心产品，包括MIP系列不溶性微粒分析仪、FIPS系列粒度仪等，广泛应用于生物医药、半导体及纳米材料领域。公司已取得45项专利，其中发明专利15项，并获“江苏省高新技术企业”等荣誉。 未来，胤煌科技将持续深耕颗粒检测分析领域，推动产品升级，致力于成为全球科研机构与高科技企业值得信赖的精密检测合作伙伴。 如需了解胤煌科技公司的信息，请登录：www.sz-yh17.com
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