株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本一家发表光学

杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的业厂商,主要有测定/自动/流体三大

部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

设备特点：

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括

半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、

薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高

精度表面形貌分析应用。ET200A 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨

损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色

CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

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电脑架、防震桌为选配件

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可选择独立 8”萤幕显示探针下针位置，也可集成于电脑萤幕中呈现

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规格

一、样品台：

1. 样品台尺寸：φ160mm

2. 大工件尺寸：φ200mm

3. 大工件厚度：52mm

4. 大工件重量：2kg

5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)

6. 样品台材质：黑色硬质铝

7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，小约0.5°)

二、传感器（pick up）：

1. 原理：直动式传感器 （业界唯一）

2. Z方向测定范围：Max. 600µm

3. Z方向小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)

4. 测定力： 10uN ~500uN

5. 触针半径：2 µm 60° 钻石针头 （另有多种可选）

6. 驱动方式：直动式

7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)

三、X 轴 (基准轴/测量轴)：

1. 移动量(大测长)：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1µm

5. 位置重复误差：±5um

四、Z轴：1. 移动量：54mm

2. 移动速度：max.2.0mm/S

3. 检出器自动停止机能

六、Y轴：（手动定位用）

1. 移动量：25mm（±12.5mm）

七、工件观察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率

2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)

3. 视野：1.2*0.9mm

4. 观察方向：右侧斜视

5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）

八、软件功能简介：

1. 型号：i-STAR31

2. 可设定测量条件菜单、重复测量设定、解析菜单

3. 可设定下针座标，实现定位后自动测量及解析功能

4. 可设定低通滤波，过滤噪音及杂讯

5. 具有返回测量启始点功能

6. 显示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、纵方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要图型、段差解析、粗糙度解析、内应力分析、内建多种段差解析菜单可

选

九、床台：一体花岗岩

十、防振台(选购)：落地型或桌上型

十一、电源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA

十二、本体外观尺寸及重量：

W500×D440×H610mm, 120kg，一体花岗岩低重心结构

(不含防震台)