分辨率（Resolution）

15nm (30kV, SE Image)

放大倍率（Magnification）

30x~60,000x

加速电压（Accelerating Voltage）

5kV to 3kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

图像检测

（Signal Detection）`

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像 (BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

观察模式 Observation mode

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统（Electron Gun）

灯丝类型（Filament type）

预对中钨灯丝（Pre Centered tungsten filament Cartridge）

偏压系统（Bias voltage system）

自动偏压方式（Automatic mode）

电子枪校正

（Electron gun alignment）

手动方式（Manual mode）

透镜构成（Lens system）

聚光镜（Focus Lens）

2段式磁线圈透镜

(2-stage Electromagnetic Condenser Lens)

物镜（Objective Lens）

1段式磁线圈透镜(1-stage Electromagnetic Objective Lens)

探测器类型(Detector type)

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统( Stage System)

Auto or Mauanl

载物台移动（Stage Traverse）

3轴操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°

Image shift

Image shift X, Y Image Shift (±150um)

样品最大尺寸

（Max Sample size）

高度30mm时最大直径70mm，70mm in diameter, 30mm in height

图像扫描

（Image Scanning system）

快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自动功能

（Automatic Function）

自动启动(Auto start)，自动聚焦(Auto focus)，自动亮度对比度调节(Auto Brightness/Contrast)

图像存储格式(Image format)

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示(Data display)

放大倍率(Magnification)，探测器类型(Detector type)，电压(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)，

Date ａnd time，Text marker，比例尺(scale bar) 等

真空系统（Vacuum system）

全自动型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode)

（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（涡轮式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空时间(pump down time)：2分钟以内

(less than 2 minutes)

操控系统(Control unit system)

鼠标和键盘(Mouse ,Keyboard)

PC：台式电脑（Desk Top） OS : Microsoft Window 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

USB 2.0