性能优势：

下照式设计：可以快速方便地定位对焦样品。

无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。

微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。

率的接收器：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。

精密微型滑轨：快速定位样品。

EFP算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。

仪器规格：

外形尺寸 ：550 mm x 480mm x 470 mm （长x宽x高）

样品仓尺寸 ：500mm×360 mm ×215mm （长x宽x高）

仪器重量 ：55kg

供电电源 ：交流220±5V

大功率 ：330W

环境温度：15℃-30℃

环境相对湿度：<70%

技术参数：

元素分析范围从硫(S)到铀（U）。
同时可以分析30种以上元素，五层镀层。
分析检出限可达2ppm，薄可测试0.005μm。
分析含量般为ppm到99.9% 。
镀层厚度般在50μm以内（每种材料有所不同）
任意多个可选择的分析和识别模型。
相互独立的基体效应校正模型。
多变量非线性回收程序
多次测量重复性可达0.1%
工作稳定性可达0.1%
度适应范围为15℃至30℃。
电源: 交流220V±5V 建议配置交流净化稳压电源。
外观尺寸： 576(W)×495(D)×545(H) mm
样品室尺寸：500(W)×350(D)×140(H) mm
重量：90kg

标准配置

开放式样品腔。
精密二维移动样品平台，探测器和X光管上下可动，实现三维移动。
双激光定位装置。
铅玻璃屏蔽罩。
Si-Pin探测器。
信号检测电子电路。
高低压电源。
X光管。
高度传感器
保护传感器

计算机及喷墨打印机