ZYGO Verifire HDX超高分辨率 中频计量菲索激光干涉仪

ZYGO Verifire HDX超高分辨率 中频计量菲索激光干涉仪

ZYGO VeriFire HDX 是为计量高精度光学元件和光学系统而专门设计的激光干涉仪．

主要特点：

低噪声、高速、1.16千万像素的传感器，96赫兹运行；

突破像素相助的优化的光学设计，行业领先的空间分辨率和ITF；

高功率、长寿命HeNe激光源，3年质保；

抗震采集技术满足各种计量测试环境和各种复杂测试设置。

为最优化的光学分辨率和性能而设计

Verifire HDX 干涉仪全新的光学设计，使系统的传递函数 ( ITF）最佳。优越的空间分辨率，更适合检测光学元件MSF（mid一spatial frequency )，和斜率比较大的面。在 ZYGO 现有技术的基础上，结合低噪声、高速、1.16 千万像素传感器，Verifire HDX 为干涉光学计量和 MSF 特征检测建立了国际一流的新基准。

在具有挑战性的环境中进行高精度计量

结合 ZYGO的QPSI抗震机械移相和 DynaPhase 瞬态测试技术，可以轻松在不利条件和极端环境中实现高精度计量。 QPSI技术适合绝大多数测试环境，无需任何校准，操作简单，是真正共光路的高精度计量技术，DynaPhase 是适合于极端震动和气流扰动环境下的理想解决方案。

行业领先的可靠性和高投资回报率

我们的仪器是为最终的正常运行和可靠性而设计的，使您的投资最大化，维护成本最小化。ZYGO自己设计和制造的HeNe 激光器，具有无与伦比的性能，寿命超过 60000小时．高功率提高系统的光效率，提供3年质保。

高质量的参考光学元件和配件

ZYGO设计和制造的大量光学元件和配件，保证了干涉计量的精度。尤其是超高精度平面和球面系列（ UtraFlat™ 和 UtraSphere™)，其面形达到或超过 1 / 4O 波长。另外 ZYGO为广大客户提供高级定制服务。

主要指标

测量技术 抗震机械相移模式QPSI；经典机械相移模PSI；

激光光源 大功率、稳频氦一氖激光Ⅲa级

波长 633 nm

频率稳定度 < 0.0O01 nm

相干长度 > 10Om

激光器功率 > 3mw

成像分辨率 3392 x 3392

帧速 96 HZ

数据模式 8 位

数据采集时间 130 一 3O0ms

放大 1-50x 数字式

偏振 接近圆偏振（1.2:1或者更好）

光瞳调焦范围 4 英寸：±2m ;

6 英寸：±4.5m ;

RMS 重复性 <0.06 nm,入／10,000 (2σ)

RMS 波前重复性 < 0.35 nm,入／1800 (mean+2σ)

像素峰值偏差 < 0.5 nm,入／1200 (99.5th % )

ITF >0.7@8.2 cyc/mm

质保期 激光器3年，整机2年

高性能的光学元件通常要严格控制其中频特征。目前的拋光技术通常会造成一些加工者并不需要的中频特征。

专门设计的激光干涉仪具有测试中频特征的能力，干涉仪测量和表征样品表面时对于各个空间频段会有衰减和过滤，是一个基于空间频率的函数。ITF量化了一个干涉仪测量中频特性的能力。

用特殊设计的合阶板测量到的相位数据，台阶板上刻有密集的40nm台阶，按不同频率沿着径向发散变化。

台阶板的剖面线，可以看到台阶板的高度随着空间频率的增加而减少。

ZYGO激光干涉仪系列产品一览

ZYGO新一代激光干涉仪系列— VeriFire 激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、高稳频的激光系统、抗震技术、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO领先技术的集中体现。

ZYGO独创的激光器——长寿命、高功率、稳频

ZYGO专有的这款激光器的设计和制造都是在康涅狄格州，米德尔菲尔德。该激光器的激光功率和寿命均远远超过市售的激光干涉仪中常用的氦氖激光器。其寿命评定超过60000小时，所以我们的激光器可以承诺3年免费质保，最大限度地减少停机时间和提高您的投资回报率。

ZYGO自主设计制造的长寿命大功率激光器

MX软件－－功能强大，操作简单

集成大量常用测量程序模块

多个样品的同时分析

球面曲率半径的测量

角锥和棱镜测量

双球面和三平板的测量

相对角度和楔板楔角的测量

材料均匀性的测量

傅立叶变换移相干涉测量(MST型)

动态设备如MEMS的测量

薄膜上下层形貌和厚度的测量

金属零件的测量

简单的定制过程，用户可调

设定数控采集和数据处理过程中的各种参数

选择需要显示的图像曲线和数据结果

几百种符合工业标准的数据可供选择

自定义屏幕上各种窗口的编排

保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果

适用于工业化生产的软件

质量控制－－自动显示“合格/不合格”

编程功能－－仪器自动按用户所编程序模式运行.产生相应的信息

根据用户定义的计算公式，产生相应的结果

实时屏现SPC

自动数据保存和统计

应用程序"锁定"功能

强大的数据分析功能

数据滤波和剪辑

像差计算

PSF和MTF图

斜率图/功率谱密度/环绕能

ASCII和"XYZ"数据格式

Zernike 分析

数据和图像加减、缩放、旋转和转换

ZEMAX、CodeV和OSLO数据格式

干涉仪附件

ZYGO公司提供大量多种附件，包括透射/反射平面/球面标准镜和参考镜.样件

固定配件.扩束器，光束转换器.曲率半径测量件等。ZYGO可以根据客户要求

设计和定制参考光学元件。