ZYGO Dynafiz瞬态菲索干涉仪 适用于剧烈振动环境

ZYGO Dynafiz瞬态菲索干涉仪 适用于剧烈振动环境

DynaFiz是一种新型菲索型瞬态测量激光干涉仪，特殊优化的光学设计，可以在剧烈振动和空气扰动的环境下检测。可以在同一光路墡加移相模式进行高精度计量检测。

DynaFiz高效能的光学系统，能够使其在高速相机快门下“冻结”震动。在传统机械移相技术无法进行测试的环境中，这种动态测试能够提供精密可靠的计量检测。

DynaFiz干涉仪具有低噪音平台合、高分辨率的CCD和光学放大，能够清晰呈现被测件表面的中频信息。

DynaFiz干涉仪的独特性能以及实时数据捕捉能力也有助于光学系统测试。 LivePhase技术提供实时的 Zernike分析反馈可以对光学系统校准过程进行监视控制。这项性能基于影片模式，由大量的动态图像组成影片片段，从而提供了光学件或系统如何随着时间而产生变化的过程。

NEW！标准的DynaFiz干涉仪上新增了QPSI快速机械移相測量模式，无论在何种振动环境下，使用 DynaFiz均有合适的计量测试模式。相比于 Dynamic测量模式，QPSl无需对测试腔进行任何改变及校准，即可在振动环境下进行高精度快速测量。

关键性能

可以在空气扰动和极端震动的环境中进行动态测量；

更新的抗振模式QPSI快速机械移相法；

优化的光学系统清晰呈现被测面的中频信息；

LivePhase技术能够进行实时的Zernike分析；

影片模式捕获、反映波阵面随时间的变化情况；

CARS功能，可以消除灰尘脏点引起的衍射环，及其对测试结果的影响

DynaFiz校正算法，适用于高阶和低阶相差；

主要指标

测试技术 载波条纹法： LivePhase技术

测量模式 PSl：FSl； DynaFiz三种测量模式

激光光源 大功率、长寿命、稳频氦-氖激光

波长 633nm

相机分辨率 1200×1200/600X600像素

帧速 50Hz/82Hz

最小曝光时间 12usec

放大 1×.1.7×.3 X fixed，电控切换

无线遥控 基于IOS的触摸屏智能遥控器

软件 Mx

衍射环抑制 具有CARS功能，可以消除灰尘脏点引起的衍射环

保修期 激光器3年，整机2年

ZYGO激光干涉仪系列产品一览

ZYGO新一代激光干涉仪系列— VeriFire 激光干涉仪，继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、高稳频的激光系统、抗震技术、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO领先技术的集中体现。

ZYGO独创的激光器——长寿命、高功率、稳频

ZYGO专有的这款激光器的设计和制造都是在康涅狄格州，米德尔菲尔德。该激光器的激光功率和寿命均远远超过市售的激光干涉仪中常用的氦氖激光器。其寿命评定超过60000小时，所以我们的激光器可以承诺3年免费质保，最大限度地减少停机时间和提高您的投资回报率。

ZYGO自主设计制造的长寿命大功率激光器

MX软件－－功能强大，操作简单

集成大量常用测量程序模块

多个样品的同时分析

球面曲率半径的测量

角锥和棱镜测量

双球面和三平板的测量

相对角度和楔板楔角的测量

材料均匀性的测量

傅立叶变换移相干涉测量(MST型)

动态设备如MEMS的测量

薄膜上下层形貌和厚度的测量

金属零件的测量

简单的定制过程，用户可调

设定数控采集和数据处理过程中的各种参数

选择需要显示的图像曲线和数据结果

几百种符合工业标准的数据可供选择

自定义屏幕上各种窗口的编排

保存和输出每个样品参数测量.分析设定数据结果

适用于工业化生产的软件

质量控制－－自动显示“合格/不合格”

编程功能－－仪器自动按用户所编程序模式运行.产生相应的信息

根据用户定义的计算公式，产生相应的结果

实时屏现SPC

自动数据保存和统计

应用程序"锁定"功能

强大的数据分析功能

数据滤波和剪辑

像差计算

PSF和MTF图

斜率图/功率谱密度/环绕能

ASCII和"XYZ"数据格式

Zernike 分析

数据和图像加减、缩放、旋转和转换

ZEMAX、CodeV和OSLO数据格式

干涉仪附件

ZYGO公司提供大量多种附件，包括透射/反射平面/球面标准镜和参考镜.样件

固定配件.扩束器，光束转换器.曲率半径测量件等。ZYGO可以根据客户要求

设计和定制参考光学元件。

球面镜头TS规格

R₁:实际TS的曲率半径；D₀:通光孔径；R₂:样品直径大于D_o时候的最大可测凸面曲率;