扫描电子显微镜测试分析

服务范围：军工，航天，半导体，先进材料等

服务内容：1.材料表面形貌分析，微区形貌观察

2.材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析

3.薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析

4.纳米尺寸量测及标示

5.微区成分定性及定量分析

SEM，EDS，XRD的区别，SEM是扫描电镜，EDS是扫描电镜上配搭的*个用于微区分析成分的配件——能谱仪，是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。XRD是X射线衍射仪，是用于物相分析的检测设备。

SEM用于观察标本的表面结构，其工作原理是用*束*细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次*电子，次*电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样 品的表面结构有关，次*电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。

EDS的原理是各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能*跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这*特点来进行成分分析的。

XRD是利用衍射原理，精确测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析，定性分析，定量分析。

说简单点，SEM是用来看微观形貌的，观察表面的形态、断口、微裂纹等等；EDS则是检测元素及其分布，但是H元素不能检测；XRD观察的是组织结构，可以测各个相的比例、晶体结构等。