TEUS S-400 极紫外光源
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品牌名称：$brandModel.Title型号： 原产地：中国大陆 更新时间：2026/9/21 9:08:36
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详细内容
TEUS S-400 极紫外光源
产品总览
主要技术参数
| 型号 | TEUS S-400 |
| 激光平均功率 | 400W |
| 脉冲重复率 | 100kHz或200kHz（可调） |
| 可收集EUV功率的立体角 | 0.05s |
| 等离子体尺寸*µm | ≤60或≤45 |
| 带内辐射转换效率(13.5 nm±1%) | 2%@2π·sr或1.8%@2π·sr |
| ЕUV碎片缓减系统后带内通量收集角(13.5nm±1%) | 44mW或40mW |
| 碎片缓减系统后带内光谱亮度(13.5nm±1%)，W/mm2·sr | ≥310W/mm2·sr或≥500W/mm2·sr |
| 等离子体稳定性 | 3%RMS |
系统寿命和维护要求
| 型号 | TEUS S-400 |
| 在24/7运行模式下，不使用特殊膜过滤器，收集器寿命下降10% | 不少于2个月 |
| 在全天候运行模式下，使用特殊膜过滤器，集热器寿命下降10% | 不少于4个月 |
| 维护间隔: | 2个月- 1天 |
| 正常运行时间在全天候运行模式*** | 1个月 |
电力，系统尺寸和重量
| 型号 | TEUS S-400 |
| 电功率 | 10.5 kW |
| 尺寸（L×W×H） | 1500×1000×1200 mm |
| 重量，包括激光部件 | 770 公斤 |
设备需求
| 型号 | TEUS S-400 |
| 房间清洁度等级 | ISO7 |
| 水流速率 | 25升/分钟 |
产品特点
• 高亮度(意味着高吞吐量)以及的稳定性
• jue对Min. 碎片
• 很高的正常运行时间
产品应用
• 掩膜及表面检查:
• 模板检查(PMI)
• 区域掩模检验(AIMS)
• 掩模空bai检验(MBI)
• 极紫外光学链中的极紫外扫描仪检测
• 材料科学
• 晶片光刻检验
公司简介
筱晓(上海)光子技术有限公司成立于2014年，是一家被上海市评为高新技术企业和拥有“上海市专精特新企业称号”的专业光学服务公司，业务涵盖设备代理以及项目合作研发，公司位于大虹桥商务板块，拥有接近2000m²的办公区域，建有500平的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室，为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。十年来，依托专业、强大的技术支持，以及良好的商务支持团队，筱晓的业务范围逐年增长。目前业务覆盖国内外各高校、科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室，奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。
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热门标签：筱晓光子,极紫外光源,光源
