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干式螺杆罗茨一体式真空工作站上海喆图GLJ系列

价格：￥电议

品牌名称：上海喆图型号：GLJ系列原产地：中国大陆更新时间：2026/10/11 7:21:31

产品摘要：干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、分子泵凭借其创新设计与性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标

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详细内容

干式螺杆真空泵/罗茨真空泵/真空泵/分子泵

用途概述

干式螺杆真空泵、罗茨真空泵、分子泵凭借其创新设计与性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备，支持单机或多泵组合（如螺杆罗茨泵联动）构建干式真空泵机组。

产品特点

※水冷循环散热技术，可消除风扇高速运转引发的空气扰动扬尘问题；

※工作腔内无润滑油，杜绝油气污染，确保真空环境纯净度，显著提升产品良率；

※工艺气体回收利用率高，尾气处理更便捷，助力企业降低环保成本，符合严苛排放标准；

※泵腔及转子表面可选配多种防腐涂层，耐受强酸、强碱等恶劣介质，使用寿命延长；

※多级螺旋转子设计适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含微粒粉尘的复杂气体环境；

※间隙密封结构对微小颗粒不敏感，直通式泵腔设计避免粉尘沉积，保障连续稳定运行；

※优化转子平衡技术与多层减震结构设计，实现超低振动与低噪运行；

※工作温度低，有效较少冷却水的消耗，契合绿色工厂低碳目标，运行噪声低；

※螺杆啮合传动效率优化，能耗较传统泵有效降低，搭配智能变频配置进一步节能；

※罗茨真空泵适用于蒸馏蒸发、冷冻干燥等含大量水蒸气的复杂工况；

※当作为前级泵时，可高效抽除水蒸气混合气体，保障生产流程的连续性与稳定性；

※工作压力范围宽，可从大气压平滑过渡至高真空状态，灵活适配多行业多阶段工艺需求

可选配置

①氮气吹扫：针对少量粉尘环境优化，通过特殊密封结构及氮气吹扫装置，可耐受生产过程中产生的细微颗粒（如硅粉、石墨粉尘），避免堵塞或磨损，显著延长设备寿命，减少维护频率，降低停机损失，为生产研发的连续性提供坚实保障。

②PLC控制：可实时监测真空度、压力及生产负载变化，动态调节泵组转速与功率输出。

设备启动迅速，可按需供能，既能避免过度抽气造成的能源浪费，又能为高敏感工艺营造稳定真空环境，如在单晶硅拉制过程中，持续提供恒定低压条件，确保晶体生长品质。

③噪音控制：若工艺环境对噪音敏感（如实验室、精密车间等），可加装消音器；

④钣金外壳：提供防护（防尘、防溅）、提升设备整体美观度及结构强度；

技术参数

名称	干式螺杆真空泵
型号	GLJ-S8	GLJ-S20	GLJ-S30	GLJ-S40	GLJ-S60	GLJ-S80
抽速	8m³/h	20m³/h	30m³/h	40m³/h	60m³/h	80m³/h
转子结构	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距	等径变螺距
冷却方式	风冷	风冷	风冷	风冷	风冷	风冷
防腐涂层	特氟龙涂层（可选哈氏合金涂层）				特氟龙涂层（可选哈氏合金涂层）
极限压力	≤1Pa				≤3pa
	≤1*10⁻²mbar				≤3*10⁻²Pa
	≤7.5*10⁻³Torr				≤2.25*10⁻²Torr
进气口	KF25		KF40		KF40
排气口	KF16		KF25		KF40
电源电压	380V50Hz（可选220V 50Hz）				380V50Hz（可选220V 50Hz）
功率	1100W	1100W	1100W	1500W	1500W	2200W
吹扫装置	标配	标配	标配	标配	标配	标配
吹扫装置压力	1.5～2bar	1.5～2bar	1.5～2bar	1.5～2bar	1.5～2bar	1.5～2bar
吹扫装置接口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口	6mm快插口

产品名称	罗茨真空泵
型号	极限压力		抽气速率	进气口径	排气口径	溢流阀	功率	质量
RZ-150	0.75Pa	5.6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	无	2200W	180kg
RZ-300	0.75Pa	5.6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	无	4000W	250kg
RZ-600	0.75Pa	5.6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	无	7500W	550kg
RZ-1200	0.75Pa	5.6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	无	11000W	730kg
RZ-5000	0.8Pa	5.6×10-³Pa	5000L/s	400mm	400mm	无	30000W	1800kg
RZP⁻⁷0	0.75Pa	5.6×10-³Pa	70L/s	80mm	80mm	有	1100W	110kg
RZP-150	0.75Pa	5.6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	有	2200W	190kg
RZP-300	0.75Pa	5.6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	有	4000W	265kg
RZP-600	0.75Pa	5.6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	有	7500W	570kg
RZP-1200	0.75Pa	5.6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	有	11000W	770kg
RZP-2500	0.75Pa	5.6×10-³Pa	2500L/s	320mm	320mm	有	18500W	1350kg

名称	磁悬浮复合分子泵				超高真空复合分子泵
型号	MFX-1200	MFX-2700	MFX-3300	MFX-4500	MUX⁻⁷200	MUX-16200
抽速N2	1200L/s	2700L/s	3300L/s	4500L/s	2000L/s	4500L/s
压缩比N2	＞1*10⁹	＞1*10⁸	＞1*10⁸	＞1*10⁸	1*10 ⁸
压缩比H2	＞1*10³	＞1*10 ³	＞1*10 ³	＞1*10 ³	4*103
极限压力	5*10⁻⁸Pa	1*10⁻⁷Pa	1*10⁻⁷ Pa	1*10⁻⁷ Pa	5*10⁻⁷ Pa
最大出口(前级)压力	1.5Torr	2Torr	2Torr	2Torr	2Torr	2Torr
转速	36000rpm	27000rpm	27000rpm	24000rpm	24000rpm	21000rpm
进气口	ISO200	ISO250	ISO320	ISO400	ISO250	ISO400
排气口	NW40				NW40
启动时间	＜12min				＜10min
停止时间	＜16min				＜15min
电源电压	380V 50Hz（可选220V 50Hz）				380V 50Hz（可选220V 50Hz）
功率	750W	1800W	1800W	1800W	1000W	1000W
冷却水接口尺寸	ISO-Rc1 /4				ISO-Rc1 /4
冷却水流量	3L/min				3L/min
冷却水水温	16～25°C				16～25°C
吹扫装置管径	NW16	NW10	NW10	NW10	NW10	NW10
吹扫装置流量	30±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm	40±10sccm
通信接口	RS485	RS485	RS485	RS485	RS485	RS485

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