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韩国inetech气体质量流量计
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价格:¥电议
更新日期:2026/9/9 16:20:44
生 产 地:其它
产品型号:M2030V
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详细内容
- 测量质量流量
- 无需温度和压力补偿
- 结构紧凑
- 精度高
- 工作压力高
- 响应时间快
- 重复性高
二、韩国linetech气体质量流量计技术参数
| 型号 | 质量流量计 | 质量流量控制器 |
| 流量范围(N2) | 10SCCM~1000SLPM | 10SCCM ~ 300slpm |
| 响应时间 | <2 sec | <2 sec |
| 准确度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
| 重复精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
| 输入/输出信号 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
| 供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
| 耐压 | <90bar | 0-30SLPM,<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar |
| 工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
| 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
| 使用范围 | 2 ~ 100% | 2~ 100% |
三、韩国linetech气体质量流量计接口尺寸



