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ALICAT气体质量流量控制器
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价格：￥电议
更新日期：2026/9/9 16:20:44
生 产 地：美洲
产品型号：MC
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详细内容
二、ALICAT气体质量流量控制器产品特点
1、50毫内完成稳定的控制响应
准确、稳定的流量取决于控制响应速度，艾里卡特®质量流量控制器50毫内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定！
2、操作便捷
? 50-100毫控制响应
? 允许用户自行调节PID以获得良好的速度和稳定性
? 定制化阀门孔径以满量程流量的稳定性
? 同一台设备控制质量流量、体积流量或绝对压力
? 瞬间启动、无需预热：1内即可开始流量控制
三、ALICAT气体质量流量控制器产品系列
MC 标准系列
全球控制响应快、稳定的流量控制器。
MCR 大流量系列
准确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特®R系列阀门为全球无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。
MCW / MCRW 低压损系列
限度减小压损对系统的影响，满量程压损低仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力
MCS / MCRS 耐腐蚀系列
所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。 点击这里了解更多关于耐腐蚀系列
MCE / MCV 半导体行业用系列
可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ，门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 点击这里了解更多关于半导体行业用系列
MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列
双向质量流量控制器，可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防蚀型MCDS系列。 点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列
四、ALICAT气体质量流量控制器性能参数
| 指标 | 质量流量控制器 |
| 量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
| 精度 | ±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程） |
| 重复性 | ±0.2% |
| 量程比 | 200:1 |
| 响应时间 | 100ms |
| 标准状态(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
| 温度范围 | -10～50 |
| 零点漂移 | 0.02％ |
| 量程漂移 | 0.02％ |
| 湿度范围 | 0-100% |
| 测量流量范围 | 128％（过流率） |
| 大耐压 | 145psi |
| 输出信号（数字） | 质量流量、体积流量、绝对压力和温度 |
| 数字信号可选 | RS485，Modbus，Profibus |
| 输出信号（模拟） | 质量流量、体积流量、绝对压力和温度 |
| 模拟信号可选 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
| 电气连接 | 8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定） |
| 供电电压 | 7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC） |
| 供电电流 | 0.035A（4-20mA输出时为：0.055A） |
