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产品属性本产品采购属于商业贸易行为

Wafer温度实时检测装置

  • 市场价格: 电议
  • 产品型号:
  • 更新时间: 2011/1/1 5:17:59
  • 生产地: 美国
  • 访问次数: 366次
  • 公司名称: 巨力科技股份有限公司

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企业档案

企业类型:经销商

公司地址:北京市朝阳区朝外大街甲6号万通中心B座4A-18

主营产品:

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产品简介

专业的半导体温度测量装置,对Wafer、基底(及薄膜)表面温度实时、非接触、非入侵、最直接的绝对检测;使得测量结果更为;可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上,进行实时温度检测。

详细内容

详细内容

公司简介

技术参数

 

最大温度范围:室温~1300摄氏度;

温度重复性:0.2摄氏度;

温度分辨率:0.1摄氏度;

稳定性:+/-0.2摄氏度;

 

主要特点

 

*实时、非接触、非入侵、直接的绝对Wafer温度精确检测;

*Wafer表面2D温度Mapping;

*最真实的Wafer表面或薄膜温度检测;

*沉积速率分析;

*测量激光波长范围可选(例如:可见光波段、近红外波段等)

*避免了发射率变化对测量的影响;

*无需沉积设备Viewport特殊涂层;

 
仪器介绍  

 

最专业的半导体温度测量装置,对Wafer(及薄膜)表面温度实时、非接触、非入侵、最直接的绝对检测;采用温度和半导体材料对光的吸收边沿(频带能量)相关性原理,即材料的本征特性,使得测量结果更为;可装载到MBE、MOCVD、溅射、蒸发系统等和热处理、退火设备上,进行实时温度检测。


 


关键词:温度实时检测系统  基底温度检测系统  Wafer温度实时检测系统  

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