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FR-pOrtable:一款USB驱动的薄膜表征工具
一、产品简介:
FR-pOrtable 是 一 款独 特 的 便 携 式 测 量 仪器 , 可 对 透 明 和 半 透明 的 单 层 或 多 层 堆 叠薄 膜 进 行 精 确 的 无 损(非接触式)表征。使用 FR-pOrtable,用户可以在 380-1020nm 光谱范围内进行反射率和透射率测量及薄膜厚度测量。
二、应用领域
o 大学 & 科研院所
o 半导体(氧化物、氮化
物、硅、电阻等)
o MEMS 元器件 (光刻胶、
硅薄膜等)
o LED
o 数据存储元件
o 弯曲基材(衬底)上的
硬/软涂层
o 聚合物涂层、粘合剂等
o 生物医学
( parylene—— 派瑞林,
气泡壁厚,等等 )
o 其他更多 …
(如有需求,请与我们取得联系)
三、应用领域
FR-pOrtable的紧凑尺寸以及定制设计的反射探头以及宽带长寿命光源确保了高精度和可重复的便携式测量。
FR-Portable既可以安装在提供的载物台上,也可以轻松转换为手持式厚度测量工具。放置在待表征的样品上方即可进行测量。
FR-Portable是用于工业环境(如R2R、带式输送机等)中涂层实时表征的可靠而精确的测厚仪。
四、产品特点
o 一键分析 (无需初始化操作)
o 动态测量
o 测量光学参数(n & k, 颜色),膜厚
o 自动保存演示视频
o 可测量 600 多种不同材料
o 用于离线分析的多个设置
o 免费软件更新服务
五、技术参数
六、工作原理
白光反射光谱(WLRS)测量方法是在一定波长范围内,分析垂直于样品表面的入射光和从单层或多层堆叠薄膜反射的反射光谱的分析方法。
由界面&表面产生的反射光谱被用于确定独立和附着于基底(在透明或部分/全反射基底上)的堆叠膜层的厚度、光学常数(n&k)等。
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关键词:膜厚仪 测厚仪 光学测厚 涂层测厚