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微米级薄膜表征-厚度,反射率,折射率及消光系数测量仪

产品属性本产品采购属于商业贸易行为

微米级薄膜表征-厚度,反射率,折射率及消光系数测量仪FR-Mic

企业档案

岱美仪器技术服务(上海)有限公司

企业类型:代理商

公司地址:北京市房山区绿地启航国际3期5号楼801

主营产品:晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等

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产品简介

利用FR-Mic,通过紫外/可见/近红外可轻易对局部区域薄膜厚度,厚度映射,光学常数,反射率,折射率及消光系数进行测量

详细内容

公司简介

                               厂家正式授权代理商:岱美有限公司

联系电话:13521289948,(贾先生)

联系地址:北京市房山区启航国际3期5号楼801

公司网址:www.dymek.cn

FR-Mic: 微米级薄膜表征-厚度,反射率,折射率及消光系数测量仪


一、产品简介:

     FR-Mic 是一款快速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案,要求的光斑尺寸小到几个微米,如微图案表面,粗糙表面及许多其他表面。它可以配备一台专用计算机控制的 XY 工作台,使其快速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特性图。o 实时光谱测量o 薄膜厚度,光学特性,非均匀性测量,厚度映射o 使用集成的, USB 连接高品质彩色摄像机(CCD)进行成像 



二、应用领域

 

o   大学 科研院所

o   半导体(氧化物、氮化物、硅、电阻等)

o   MEMS 元器件 (光刻胶、硅薄膜等)

o   LED

o   数据存储元件

o   弯曲基材(衬底)上的硬/软涂层

o   聚合物涂层、粘合剂等

o   生物医学( parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )

o   其他更多 …

(如有需求,请与我们取得联系)



 

三、产品特点
o 单点分析(无需预设值)
o 动态快速测量
o 包括光学参数(n和k,颜色)
o 为演示保存视频
o 600 多种的预存材料
o 离线分析
o 免费软件更新 




四、技术参数


五、工作原理

 

 

白光反射光谱(WLRS)测量方法是在一定波长范围内,分析垂直于样品表面的入射光和从单层或多层堆叠薄膜反射的反射光谱的分析方法。

由界面&表面产生的反射光谱被用于确定独立和附着于基底(在透明或部分/全反射基底上)的堆叠膜层的厚度、光学常数(n&k)等。


 

 

岱美有限公司成立于1989年,是数据存储,半导体,光学,光伏和航空航天行业领先制造商和创新研发机构的先进设备分销商。

  在21世纪初期,岱美已从我们在香港的总部扩展到亚洲,以满足客户的多样化需求。在当今全球化的市场中,我们的客户包括连接东南亚各国的综合供应链,我们的专业人员随时准备与他们会面。

  我们的总部设在香港,在中国大陆地区(北京和上海,以及广东东莞)拥有强大的业务。我们还在马来西亚,新加坡,台湾地区,菲律宾和泰国等东南亚国 家和地区设有分支机构。岱美拥有训练有素的工程师,能够为各地区用户提供快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。我们所有的分支机构都已建立数十年,我们的许多客户对我们与他们建立的长达数十年的合作关系感到满意。

  我们的目标是建立持久的关系,满足东南亚企业快速增长的需求。对于我们的客户,我们不仅提供设备,还提供建议和技术指导,以及时了解我们不断发展的行业的最 新发展。对于我们的供应商,我们提供了深入的销售网络和数十年的东南亚复杂商业环境导航经验。我们将本地客户与来自欧洲,美国,日本和韩国的先进设备与技术连接起来。

 

 

 


关键词:膜厚仪  测厚仪  光学测厚  涂层测厚  

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