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场发射扫描俄歇纳米探针SAM

点击次数:807发布时间:2009/11/2

场发射扫描俄歇纳米探针SAM

更新日期:2012/3/8 16:46:51

生 产 地:美国

产品型号:

简单介绍:场发射扫描俄歇纳米探针SAM

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详细内容

技术参数

1.电子束径<6nm
2.灵敏度〉700 KCPS(10KV.10nA)
3.能量分辨率<0.5%
4.信噪比〉700:1(10KV.10nA)
5.样品台φ25-60mm

主要特点

1.场发射电子枪
2.筒镜分析器(CMA)和同轴电子枪,无阴影效应
3.多道检测器(8)
4.全自动样品台

仪器介绍

分析对象:无机,金属陶瓷半导体材料。
获得信息:元素信息
点线面深度剖析三维元素分布信息。
可提供SEM、AES、SAM分析。

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