一、技术参数

行程范围：X轴－－－－－－500 mm    Y轴－－－－－－600 m   Z轴－－－－－－400 mm

结构型式：活动桥式

传动方式：柔性齿型同步带+预载荷高精度空气轴承

长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm

机台：高精度花岗岩平台

 使用环境：温度20±2℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m  温度变化 1℃/h

空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

空气流量：100 L/min – 120 L/min

整机尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m

机台承重：500 kg

整机重量：850 kg

 控制及探针测量系统：

1．驱动系统：直流伺服电机 日本

2．控制系统：Renishaw （英国） UCC1

3．操作方式：计算机自动控制 + 微电脑操纵盒（Renishaw  MCU1）

4．控制软件：Serein DMIS V2.0

5．探测系统：Renishaw（英国）MH20i （标准配置） 或 Renishaw（英国）PH10T+TP20  配置

6．测量不确定度（E）：（2.8+L/300）μm