应用： · 残余气体或泄漏检测 · 实质上的泄漏或脱附分析 · 除气研究 · 烘烤周期 · 泵效能 · 腔室/过程气体污染物 特点： · HMT型适用于高压4x10-3 Torr操作（最小压力4x10-8 Torr） · 在P 〈 10-4 Torr时具有高灵敏度的RGA操作模式，最小压力1x10-11 Torr · 最大质量数100amu，软件操作。 · 稳定性好(24h之上，高度变化小于±1% ) · MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制 · 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰 · 混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰 · 同步显示数据图，列表 · 同步背景扣除，自动质量数列表 · 数据输出为ASCII格式，至windows设备 · 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如 Excel、SPC-IV统计过程控制软件