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硅蓝宝石压力传感器主要用于制造变送器。其中包括绝对压力、表压、差压、流量变送器,也用于控制和调节系统,广泛用于矿山、采炼油、供水、供气、汽车、飞机、航天等领域。
原理是基于硅的应变电阻效应。在蓝宝石衬底上硅敏感元件构成灵敏的应变计电路由4个的敏感应变计的惠斯登电桥。蓝宝石膜片与高弹性合金膜片固封为一体,流体压力作用于这种一体的双膜结构使电阻应变计变化,并将这种变化转换为电信号。采用微电子加工方法做成的这种双膜结构,便于重复性和性(压力不泄漏)。蓝宝石膜片与金属膜片是在高真空下,用静电或其它分子键合方法封接为一体的,了在很宽的温区内具有很小的机械滞后(0.05%)和使传感器具有稳定性(在大信号输出情况下<0.1%/6个月)。
特点: 应用场合:
1、高精度,高稳定性 1.工业现场过程压力控制
2、适用于高温液体和气体的压力测量 2.航空航天领域
3、抗振动、抗冲击能力强 3.航海及造船行业
4、全钛合金材质,耐腐性强 4.石油、化工行业
5、灵敏度输出高、高阻抗低功耗 5.制药、食品设备设备
6、带压力接口,更易于使用 6.油田深井压力测量
7.科研实验设备