技术指标
4.1 S48 300/HMT MFC技术指标
表1 S48 300/HMT数字流量控制器技术指标
编号 | 项目 | S48 300/HMT |
1 | 流量规格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
4 | 安装角度 | 任意 |
5 | 流量控制范围 | 2%-100%F.S. |
6 | 流量测量范围 | 0-100%F.S. |
7 | 响应时间 | ≤ 1 sec |
8 | 工作环境温度 | 5-50℃ |
9 | 精度保证温度 | 15-35℃ |
10 | 精度 | ±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
11 | 线性精度 | ±0.5%F.S. |
12 | 重复性 | ±0.2%F.S. |
13 | 工作压差 | -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 | 耐压 | 3MPa(G) |
15 | 泄漏率 | <1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 | 接触气体材料 | 316L,Viton® 氟橡胶,PTFE |
17 | 管路接头 | Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 | 供电电源 | ±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA |
19 | 设定信号 | 数字:RS485/RS232 模拟:0 - +5V,输入阻抗>10kΩ |
20 | 流量输出信号 | 数字:RS485/RS232 模拟:0 - +5V,负载能力≤3mA |
21 | 通讯接口 | 数字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps, Modbus RTU 协议从机,设备号可选范围0-15 |
22 | 重量(kg) | 0.9 |
S48 300/HMT质量流量控制器的特点
☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上,结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品,采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆ RS232/485串口, Modbus(RTU)开放协议。协议简单可靠,兼容性强,易于组网。配合上位机,可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小,工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
☆可任意角度安装。
☆兼容数字和模拟控制及显示,使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。
配合MT-50或51系列流量显示仪,可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。
RF-2型流量控制器用于控制气体流量。它配合高压气瓶或配气装置一起使用,控制进入被校仪器所需要的流量。既适用于扩散型、也适合抽吸式可燃气体检测报警器、有毒有害气体分析仪、测试仪和测报仪的检定、校准和测试。
一、概述 |
hfs系列水流开关采用靶式传感器,可用于水,冷却系统或其它流体回路。控制器的设定值可调。 |
二、技术参数 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
注:1-序号6~14为参考规格 2-设定值为下切换值 |
三、电气性能 | |||
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四、压力损失特性 |
五、外形及安装尺寸 |
六、安装 | |||||||
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序号 | 项目 | 内容 | |
DSN—① | DSN—② | ||
1 | 流量范围 | 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM; 0~1,2,3,5,10 ,20,30SLM; | |
2 | 度(%FS) | ±2%FS | ±1%FS |
3 | 线性(%FS) | ±(0.5~2)%F.S | ±(0.5~1)%FS |
4 | 重复精度(%FS) | ±0.2%FS | |
5 | 响应时间(sec) | 电特性:<10;气特性:<1~4 | |
6 | 工作压差范围(MPa) | 0.05~0.3 | |
7 | 耐压(MPa) | 3,10 | |
8 | 工作环境温度(℃) | 5~45 | |
9 | 输入输出信号电压 | 0~+5.00V | |
10 | 电源 | +15V 500mA,-15V 500mA(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | |
11 | 外形尺寸(mm) | 130*28*121 | |
12 | 重量约(kg) | 1.0 |
1、50毫内完成稳定的控制响应
准确、稳定的流量取决于控制响应速度,艾里卡特®质量流量控制器50毫内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定!
2、操作便捷
? 50-100毫控制响应
? 允许用户自行调节PID以获得良好的速度和稳定性
? 定制化阀门孔径以满量程流量的稳定性
? 同一台设备控制质量流量、体积流量或绝对压力
? 瞬间启动、无需预热:1内即可开始流量控制
三、ALICAT气体质量流量控制器产品系列
MC 标准系列
全球控制响应快、稳定的流量控制器。
MCR 大流量系列
准确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特®R系列阀门为全球无摩擦阀门,可精密控制大流量的气体流量,特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。
MCW / MCRW 低压损系列
限度减小压损对系统的影响,满量程压损低仅为4mbar(0.06 psid);艾里卡特®Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力MCS / MCRS 耐腐蚀系列
所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。 点击这里了解更多关于耐腐蚀系列
MCE / MCV 半导体行业用系列
可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器,可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容,封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ,门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。大量程:0-20 slpm. 点击这里了解更多关于半导体行业用系列
MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列
双向质量流量控制器,可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防蚀型MCDS系列。 点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列
四、ALICAT气体质量流量控制器性能参数
指标 | 质量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程) |
重复性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
响应时间 | 100ms |
标准状态(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
温度范围 | -10~50 |
零点漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
湿度范围 | 0-100% |
测量流量范围 | 128%(过流率) |
大耐压 | 145psi |
输出信号(数字) | 质量流量、体积流量、绝对压力和温度 |
数字信号可选 | RS485,Modbus,Profibus |
输出信号(模拟) | 质量流量、体积流量、绝对压力和温度 |
模拟信号可选 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
电气连接 | 8针/9针/15针(根据不同类型流量计而定) |
供电电压 | 7-30VDC(4-20mA输出时为:15-30VDC) |
供电电流 | 0.035A(4-20mA输出时为:0.055A) |