HMDS预处理系统
在半导体生产工艺中,光刻是至关重要的一个工艺环节,而涂胶工艺的好坏,直接影响到光刻的质量,所以涂胶也显得尤为必要,尤其在所刻线条比较细的时候,任何一个环节有一点纰漏,都可能导致光刻的失败。在涂胶工艺中,所用到的光刻胶绝大多数是疏水的,而晶片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,如果在晶片表面直接涂胶的话,势必会造成光刻胶和晶片的粘合性较差,甚至造成局部的间隙或气泡,涂胶厚度和均匀性都受到了影响,从而影响了光刻效果和显影。
为了解决这一问题,涂胶工艺中引入了一种化学制剂,即HMDS,它的英文全名叫Hexamethyldisilazane(HMDS),化学名称叫六甲基二硅氮甲烷,把它涂到硅片表面后,通过加温可反应生成以硅氧烷为主题的化合物,这实际上是一种表面活性剂,它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起到耦合的作用,再者,在显影的过程中,由于它增强了光刻胶与基底的粘附力,从而有效地抑制刻蚀液进入掩模与基底的侧向刻蚀。 最初,人们用液态的HMDS直接涂到晶片上,然后借着晶片的高速旋转在晶片表面形成一层HMDS膜。这样就阶段性的解决了基片和光刻胶之间的结合问题,但随着光刻线条的越来越细,胶的越来越薄,对粘附力提出了更高的要求,于是我们研制出了现在的HMDS预处理系统。
2 HMDS预处理系统的优越性
HMDS预处理系统的优点在于:
(1)预处理性能更好,由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。
(2)处理更加均匀。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。
(3)效率高。液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达多盒的晶片。
(4)更加节省药液。实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理多盒晶片所用药液还多;
(5)更加环保和安全,HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染。
3系统结构
整个系统由加热、真空系统、充氮、加药和控制模块等5部分组成。
3.1加热模块
由于工艺的整个过程都需要在150℃左右的环境下进行,所以自始至终加热系统都在工作。
本系统采用在腔体外侧加热,采用人工智能PID调节仪实现闭环控制,调节仪控制固态继电器的输出,从而实现温度的精确稳定控制,测温采用通用的高精度热敏电阻Pt100。
3.2真空模块
由机械泵、真空组件、真空测量等组成,主要作用是置换气体和抽走剩余的HMDS蒸汽,不再赘述。
3.3充氮模块
作用是在置换过程中,用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽,从而最终替换空气或药液蒸汽的气氛。
主要由氮气源、控制阀和喷头组成。
3.4加药模块
加药模块的作用是在需要的时候把药液变成蒸汽,均匀的涂布到晶片表面。
它主要由药液瓶,接口、控制阀和喷头组成。
3.5控制模块
控制模块是本系统的核心模块,它的作用是控制各个模块的动作和时序,完成整个工艺过程。
它主要由人机界面,CPU控制中心,控制接口和输出部件,报警等5部分组成。
人机界面采用台湾威纶通触摸屏来实现参数、状态等界面的显示和参数的设定输入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4软件组成
整个控制软件共分4个部分,即自动运行、手动控制、参数设定、帮助。
当按下自动运行键后,画面转换到运行画面,显示当前的工艺状态,运行时间等,同时系统开始运行。
首先打开真空泵、开始抽真空、待腔内真空度达到某高真空度(该值可预设)后,开始充入氮气,充到达到某低真空度(该值也可预设)后的再次重复抽真空、充入氮气的过程,达到设定的充入氮气的次数后再次抽真空,然后充入药液,达到设定时间后,停止充入药液,进入保持阶段。当到达设定的保持时间后,再次开始抽真空、充入氮气,次数为设定值,当系统自动工作完成后,画面切换到结束画面,同时给出声光报警等待取片,在自动工作过程中若出现异常可点击运行画面中的停止键,随时终止程序的运行。5、 HMDS-90真空系统规格参数
内部尺寸:450X450X450
电源: AC220V,功率:3000W
真空度: 常压到—133pa或1TORR以下
材质: 内部SUS316电解处理 外壳SS41静电喷涂。
管路: SUS洁净管
层架; SUS316材质
门内板: 钢化玻璃
流程控制:液晶触摸屏(台湾威纶通)、PLC控制(三菱),流程可编辑,可以预存5组程序。(可根客户要求可以更改流程)
加热方式:腔体外侧加温。 温度:RT+10℃~ 200℃;微电脑温度控制器,控温
精确可靠。控温精度:1℃,真空室温度均匀
氮气装置:氮气进入箱内有调压装置,控制有自动阀完成。
HMDS装置:HMDS药液进入箱内采用压力差吸取瓶内HMDS方式,自动阀控制
真空泵:抽气速度4升\秒
工作流程:
首先打开真空泵、开始抽真空、待腔内真空度达到某高真空度(该值可预设)后,开始充入氮气,充到达到某低真空度(该值也可预设)后的再次重复抽真空、充入氮气的过程,达到设定的充入氮气的次数后再次抽真空,然后充入药液,达到设定时间后,停止充入药液,进入保持阶段。当到达设定的保持时间后,再次开始抽真空、充入氮气,次数为设定值,当系统自动工作完成后,画面切换到结束画面,同时给出声光报警等待取片,在自动工作过程中若出现异常可点击运行画面中的停止键,随时终止程序的运行。
产品自编号: | DH0093 |
产品中文名称: | 黄芪总黄酮 |
中文别名: |
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英文名: | Total flavonoids from Astragali radix |
CAS登录号: |
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分子式: |
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分子量: |
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分子结构: |
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外观: | 粉末 |
规格: | 20mg/支 |
纯度: | ≥90% |
用途: | 用于含量测定/鉴定/药理实验等 |
提取来源: |
|
鉴别方法: | NMR,MS |
中国药典测定方法: | 无 |
贮存条件: | 4℃冷藏、密封、避光 |
有效期: | 2年 |
供货能力: | 现货 |
黄芪总黄酮标准品 Total flavonoids from Astragali radix价格 黄芪总黄酮标准品 Total flavonoids from Astragali radix价格
DH0086 | 槐黄醇 | Sophoflavescenol | 216450-65-6 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0087 | 环巴胺 | Cyclopamine | 4449-51-8 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0088 | 环孢菌素C | Cyclosporin C | 59787-61-0 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0089 | 环孢菌素D | Cyclosporin D | 63775-96-2 |
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DH0090 | 环孢素A | Cyclosporin A | 59865-13-3 | USP级,98% | 250mg/支 |
DH0091 | 黄腐醇 | Xanthohumol | 6754-58-1 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0092 | 黄芪紫檀烷 | 3-Hydroxy-9,10-Dimethoxypterocarpan | 73340-41-7 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0093 | 黄芪总黄酮 | Total flavonoids from Astragali radix |
| HPLC≥90% | 20mg/支 |
DH0094 | 黄杨酮碱 | Buxtamine | 4236-73-1 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0096 | 茴芹内酯 | Pimpinellin | 131-12-4 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0097 | 茴香酸对羟基苯乙酯 | Hydroxyphenethylanisate | 87932-34-1 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0098 | 慧花牡荆苷 | Agnuside | 11027-63-7 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0099 | 2'-O-甲基苦参酮 | Kurarinone, 2'-O-methyl- | 270249-38-2 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0100 | 3'-甲氧基葛根素 | Methoxypuerarin, 3'- | 117047-07-1 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
DH0101 | 4'-O-甲基补骨脂查耳酮B | 4'-O-Methylbroussochalcone B | 20784-60-5 | HPLC≥99% | 20mg/支 |
DH0102 | 5-O-甲基维斯阿米醇-4'-O-β-D-呋喃芹糖基-(1→6)-β-D-吡喃葡萄糖苷 | 5-O-Methylvisammioside, 6''-O-apiosyl- | 139446-82-5 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0103 | 6-甲氧基二氢血根碱 | 6-Methoxydihydrosanguinarine | 151890-26-5 | HPLC≥99% | 5mg/支 |
DH0104 | 6-甲氧基山柰酚-3-O-芸香糖苷 | 6-Methoxykaempferol 3-O-rutinoside | 403861-33-6 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DH0105 | 7-O-甲基白杨素 | 7-O-Methylchrysin | 520-28-5 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DH0106 | 7-O-甲基芦荟新甙A | O-Methylaloeresin A, 7- | 329361-25-3 | HPLC≥98.5% | 5mg/支 |
DJ0058 | 7-O-甲基杧果苷 | 7-O-Methylmangiferin | 31002-12-7 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DJ0060 | 吉托皂苷元 | Gitogenin | 511-96-6 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DJ0061 | 蒺藜皂苷D | Terrestrosin D | 179464-23-4 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
DJ0062 | 蒺藜皂苷K | Terrestrosin K | 193605-07-1 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
DJ0063 | 戟叶马鞭草苷 | Hastatoside | 50816-24-5 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
DJ0066 | 甲基原薯蓣皂苷 | Methylprotodioscin | 54522-52-0 | HPLC≥98% | 5mg/支 |
DJ0067 | 甲氧基香豆素 | Herniarin | 531-59-9 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DJ0068 | 假人参皂苷RT1 | Pseudoginsenoside RT1 | 98474-74-9 | HPLC≥99% | 20mg/支 |
DJ0069 | 降二氢辣椒碱 | Nordihydrocapsaicin | 28789-35-7 | HPLC≥99% | 5mg/支 |
DJ0070 | 焦地黄苯乙醇甙A1 | Jionoside A1 | 120444-60-2 | HPLC≥95% | 5mg/支 |
DJ0071 | 焦地黄苯乙醇甙B1 | Jionoside B1 | 120406-37-3 | HPLC≥97% | 10mg/支 |
DJ0072 | 芥子碱 | Sinapine | 18696-26-9 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DJ0073 | 筋骨草甾酮C | Ajugasterone C | 23044-80-6 | HPLC≥99% | 10mg/支 |
DK0015 | 咖啡酸乙酯 | Ethyl caffeate | 102-37-4 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DK0016 | 咖伦宾;古伦宾 | Columbin | 546-97-4 | HPLC≥98% | 20mg/支 |
DK0017 | 堪非醇-3-O-桑布双糖苷 | Leucoside | 27661-51-4 | HPLC≥98% | 10mg/支 |
TA仪器专利的调制DSC(MDSC)技术,是在传统的线性变温程序上叠加一个变温正弦波,直接的效果就是可以同时测量热容。采用Fourier 转换,热流被分解为比热相关成份和动力学相关成份,比热成份为可逆的热流,动力学成份为不可逆的热流。热流信号含有所有的热转化信息,与标准DSC的一样。可逆热流中含有的是玻璃化转变、熔融等信息;不可逆热流中含有的信息是动力学的事件,如固化、挥发、分解等。
主要特点:
1.在不损失灵敏度的前提下,提高解析度 2.检测弱转变和熔化时,提高灵敏度 3.将复杂转变分解为更容易理解的成份 4.直接测量热容 5.更的结晶测量
更多详细产品信息,请登录http://www.tainstruments.com.cn/main.aspx?id=86&n=1&siteid=12
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[ 技术参数 ] |
地址:上海市浦东金桥出口加工区川桥路1501号1号楼202(申江路口东北角)
邮编:201206
电话:400-668-1092(全国咨询热线),,58500913,50343037
传真:
·公司主页:http://www.58500843.com 或 http://www.58500843.com高强度直线导轨,超高负荷和精度。
为行业客户优化之机型。
整体加固的机架和升降机构。
7寸液晶显示屏。
150*90mm的打标范围。
可通过电脑USB连接或单片机直接使用。
FIX1706LWZ
GDS-15气动打标机(单片机或电脑USB连接)详细功能介绍 | |||||
特别适用 | 一般批量,有一定精度要求,每日加工量≤7000 | 冲击频率 | 大于200 Hz | ||
运行系统 | 单片机集成打标机系统,拥有所有电脑打标机功能。此外也可以使用电脑操作WinXP win7 (通过USB与电脑连接) | 多种字体 | 多种字体可选,可加载 | ||
软件系统 | 工业标记刻印系统(含:工业打印系统、图形编辑器、图形转换器、字体编辑器、刻印数据库管理系统) | 图形编辑 | 软件提供自编辑器 | ||
打印内容 | 各种字符、流水号、VIN码及图形防伪标记 | 文字编辑 | 同时提供各类标记文字改型编辑 | ||
支持条码 | 可外接条码机,打印条形码 | 图形转换 | 软件提供各类图形文件转换方式 | ||
打印范围 | 150×90mm(可以根据要求定做) | 数据检索 | 将每天打印内容存档,随时检索历史打印数据 | ||
旋转升级 | 可外接旋转夹具,进行圆弧打标 | 自动记忆 | 自动记忆设定的状态、流水号数 | ||
重印精度 | 0.08 mm | 自动对比 | 自动对比流水号、VIN码,提示重复 | ||
打印深度 | 0.02~0.6 mm 可调(视材质而定) | 文字定位 | 提供鼠标拖动、方向键移动及坐标输入 | ||
工件硬度 | 〈HRC60(更高硬度换用超硬打印针) | 自动保存 | 自动提示文件保存 | ||
打印速度 | 每秒可达4个字符 (2 mm字高字母或数字) | 模拟显示 | 可直接在屏幕上观察标记效果 | ||
打印方向 | 可选上、下、左、右、及管弧面、扇形 | 运行直观 | 屏幕显示即时运行路线 | ||
适用工件 | 各种材质、形状、尺寸 | 可连续工作 | >36小时 | ||
输入方式 | 手工、自动流水号递增(可设定递增数) | 符合标准 | 可打印国家『车辆识别代号管理规则』中规定的VIN代码。可自动统计打印内容可满足ISO9001-9002质量体系认证对产品可标识性、追溯性的要求 | ||
电压/功率 | 220V 50Hz ±10% 约200 W | ||||
机头旋转 | 选装夹具非标配 | ||||
外包装 | 纸箱 | 纸箱尺寸 | 700(长)*470(宽)*370(高)(单位:mm) | ||
气源压力 | >=0.6 Mpa(实际使用0.2 ~ 0.6 Mpa) | 总 重 | 45 KG | 净 重 | 35 KG |
工作温度 | 5~45度 | 价 格 |
GDS-15气动打标机 主要部件配置表 | ||||
序号 | 子系统名称 | 规格型号 | 产地/品牌 | 数量 |
1 | XY驱动器 | 380 | 雷赛 | 2 |
2 | 控制单片机 | GDS-15 | 菲克苏自产 | 1 |
3 | 电磁阀 | 高频系列 | 美国MAC | 1 |
4 | XY步进电机 | DM70 | 中德合资百格拉 | 2 |
5 | 滤水调压阀 | 亚德客 | 0.1-1MPa | 1 |
6 | 同步带 | EWB30 | 宁波伏龙 | 2 |
7 | 硬质合金针头 | 2 ~ 4 mm | 卢森堡CERAMETAL | 2 |
8 | 直线导轨 | 150*90 mm | 台湾MPI加强型 | 2 |
FIX1706LWZ
产品型号 | 检测气体 | 检测量程 | 分辨率 | 订货号 |
FGM-1300S | CO | 0 ~ 1000ppm | 1ppm | 036-0805-C20 |
FGM-1300S | CO | 量程在200 ~ 1000 内可设定 | 036-0805-C21 | |
FGM-1300S | H2S | 0 ~ 300ppm | 1ppm | 036-0805-C10 |
FGM-1300S | H2S | 量程在30 ~ 300 内可设定 | 036-0805-C11 | |
FGM-1300S | O2 | 0 ~ 30%VOL | 0.1%VOL | 036-0805-C70 |
检测原理 | 电化学 |
传感器 | 智能传感器 |
采样方式 | 扩散式 |
工作电源 | 9~36VDC |
大功率 | 40mA@24VDC |
输出信号 | 4~20mA, 可微调 |
负载阻抗 | 600Ω |
其他输出 | RS485 Modbus,两级可编程无源继电器30VDC 2A |
检测精度 | ±2%F.S. |
响应时间 | <15s |
电气接口 | 3/4” NPT M |
安装方式 | 2”立管/ 壁挂安装 |
显示方式 | LCD 显示,四色报警指示灯 |
防护等级 | IP65 |
环境温度 | -40℃ ~+60℃ |
环境湿度 | 0~95% RH( 无凝露) |
环境压力 | 86kPa ~106kPa |
外形尺寸 | 188mm×150mm×109mm(HWD) |
壳体材料 | 不锈钢 |
重量 | 3.5kg |
ATEX | (Ex)II 2G EEx d Ⅱ CT6 |
防爆认证 | Ex d II CT6 DIP A21 TA,T6 |
Hypersil填料是基于粒度为3μm、5μm和10μm, 孔径为120A 的硅胶为基质的HPLC填料,其生产过程的质量控制标准非常严格。全世界数千个实验室使用Hypersil色谱柱已长达20多年,很多应用实例可以从多种文献及杂志上查到。
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报价列表:
名称 | 规格型号 | 单位 | 价格 | 产地 |
液相色谱柱 | Hypersil ODS2 150*4.6/5um | 支 | 1493 | 大连 |
液相色谱柱 | Hypersil ODS2 200*4.6/5um | 支 | 1544 | 大连 |
液相色谱柱 | Hypersil ODS2 250*4.6/5um | 支 | 1596 | 大连 |
液相色谱柱 | Hypersil BDS C18 150*4.6/5um | 支 | 1613 | 大连 |
液相色谱柱 | Hypersil BDS C18 200*4.6/5um | 支 | 1672 | 大连 |
液相色谱柱 | Hypersil BDS C18 250*4.6/5um | 支 | 1786 | 大连 |
液相色谱柱 | Hypersil BDS C8 150*4.6/5um | 支 | 1613 | 大连 |
液相色谱柱 | Hypersil BDS C8 200*4.6/5um | 支 | 1672 | 大连 |
液相色谱柱 | Hypersil BDS C8 250*4.6/5um | 支 | 1786 | 大连 |
液相色谱柱 | Betasil C18 150*4.6/5um | 支 | 2050 | 大连 |
液相色谱柱 | Betasil C18 200*4.6/5um | 支 | 2100 | 大连 |
液相色谱柱 | Betasil C18 250*4.6/5um | 支 | 2150 | 大连 |
液相色谱柱 | Spherisorb C18 150*4.6/5um | 支 | 2033 | 大连 |
液相色谱柱 | Spherisorb C18 250*4.6/5um | 支 | 2064 | 大连 |
液相色谱柱 | Sino Chrom ODS-AP 150*4.6/5um | 支 | 1340 | 大连 |
液相色谱柱 | Sino Chrom ODS-AP 250*4.6/5um | 支 | 1440 | 大连 |
液相色谱柱 | SinoChrom ODS-BP 150*4.6/5um | 支 | 1340 | 大连 |
液相色谱柱 | SinoChrom ODS-BP 200*4.6/5um | 支 | 1390 | 大连 |
液相色谱柱 | SinoChrom ODS-BP 250*4.6/5um | 支 | 1440 | 大连 |
液相色谱柱 | Lichrosorb RP-18 150*4.6/5 | 支 | 1847 | 大连 |
液相色谱柱 | Lichrosorb RP-18 200*4.6/5 | 支 | 1978 | 大连 |
液相色谱柱 | Lichrosorb RP-18 250*4.6/5 | 支 | 2099 | 大连 |
凝胶色谱柱 | Sephadex G-10 10*300 | 支 | 3610 | 大连 |
凝胶色谱柱 | Sephadex G-10 10*400 | 支 | 5800 | 大连 |
凝胶色谱柱 | Sephadex G-10 15*300 | 支 | 5800 | 大连 |
液相色谱柱 | Sephadex G-10 15*400 | 支 | 6400 | 大连 |
液相色谱柱 | YWG C18 150*4.6/10um | 支 | 760 | 大连 |
液相色谱柱 | YWG C18 250*4.6/10um | 支 | 918 | 大连 |
氨基酸专用柱 | 支 | 4420 | 大连 |
产品参数·UDS 1000一般参数外壳………………...铸铝,通过CSA认证UL:Class I Group D,Class II Groups E, F, G;Class III906B传感器………..铝3/4”-16 UNF,4线屏蔽电缆10ft907B防爆传感器…..铸铝,通过CSA认证UL:Class I Group D,Class II Groups E, F, G;Class III255脉冲盘……….. 尼龙12,直径4”,16磁极间隙距离………….. 9.525±3.175mm (3/8"±1/8")工作温度…………. -40℃~+60℃输入功率电压……………………..115 V,60 Hz(标准);230 V,12 V或24 V输入信号类型……………………..正交,NPN开放式集电极振幅………………….… 12 V dc上拉电阻………………. 2200Ω传感器供电……………..15 V dc @ 50 mA max.频率范围………………..0~666.67 Hz设定值继电器…….. …..双刀双掷 隔离5 A, 115 Vac resistive