不同于薄膜沉积监测仪, 薄膜沉积控制仪利用闭环回路可进行镀膜过程中的沉积速率及膜厚的控制.MDC-360, MDC-361 和 MDC-370是Maxtek三 种型号的薄膜沉积控制仪. MDC-360 是基本型,前面输入,操作简单, 功能全.? MDC-361是 简化黑箱型,无输入键盘, 需通过计算机接口控制. MDC-370为扩展型,可接 控制六个沉积源.
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http://www.leyfond.com/hzhb/Maxtek/Deposition-Controller.htm