主要技术规格：
1、测量表面光洁度范围：▽3-▽9（相当不平度0.8-80um）
2、表面光洁度（级别）：9、8-7、6-5、4-3
3、所需物镜：60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、 14倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12
4、总放大倍数：510X、260X、120X、60X
5、物镜组件工作距离（mm）:0.04、0.2、2.5、9.5
6、视场（mm）:0.3、0.6、1.3、2.5
7、不平宽度：用测微目镜：0.7微米~2.5毫米
用座标工作台：（0.01~13）毫米
8、仪器重量约： 23公斤