尼康L200N/L200ND IC观察显微镜LSI检查显微镜超高的基本性能之外,更大大提升了观察性、操作性、耐久性
可以观察的最大硅片直径为200mm
观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定)
ECLIPSE L200N 反射照明专用
L200N
ECLIPSE L200ND 反射.透射照明专用
L200ND
观察性能的提升
扩大检查范围的反射荧光观察(L200ND)新
反射照明观察,除可进行明场、暗场、微分干涉观察之外,更可进行UV(365nm)激发的反射荧光观察。
对于半导体感光薄膜的残渣、有机EL显示面板的观察发挥了很大的威力。
使用物镜:CFI LU PLAN FLUOR 10X
硅片的明场观察 暗场观察 微分干涉观察 反射荧光观察
反射荧光观察用的电动水银光纤光源[INTENSILIGHT](L200ND)
光源采用了预定心电动水银光纤光源[INTENSILIGHT]。更换灯泡时不用进行灯丝调心和对焦。
灯箱可与主机分离设置,以降低光源发热对显微镜的影响。6段式的调光机能和快门机能,实现了良好的操作性。
约2000小时超长使用寿命的灯泡大幅降低了使用成本。
操作性能提升、理环保
比12V100W更亮的高亮度12V50W卤素灯 新
采用了12V50W的[LV-LH50PC预定心灯箱],与12V100W相比,耗电量削减了约一半,又可达到与其同等甚至更亮的亮度。
灯丝位置经过优化设计,且灯箱里有反光镜,使照明视场均匀,并提高照明效率。特别是用到50倍以的高倍物镜时,能得到比12V100W亮约20%的观察图象。
更环保,也能防止因热量而造成的焦面偏移的干扰。
抗污染的防静电涂层 新
主机、载物台、镜筒均涂有消静电涂层。为了提高抗污染能力,防止工件因静电感应而受损,从而提高成品率。
可调节到位置进行观察的正立调倾式三目镜筒
视场数25的超大视场,可任意设定0~30°的观察角度。根据使用者体型和观察姿势的不同,可将三目镜筒调节到位置松随意的进行观察。
载物台微调手轮无需移动工件
不用移动工件,载物台微调手柄位置固定于显微镜主机操作部旁。
所有的操作部都尽在手边,移动载物台、对焦等显微操作,不用抬手,只需动动手腕就可轻松执行。
耐久性比以前高3倍的电动通用物镜转换器 新
最多可以安装到6个物镜。和偏心较小的物镜结合使用,用高倍物镜观察时切换倍率也很少会出现图象闪动现象。
从低倍到高倍的自由切换更稳定。考虑到使用者,在旋转物镜转换器时会自动切断照明光路,避免光直接照射使用者眼晴。
对焦目标
对焦目标可移入光路,这一特性对于裸硅片之类的低对比度工件的正确对焦成为方便。
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显微镜操作部位集中于底座前部
操作手轮、按键等,都集中于底座前部,更便于使用。一看就能快捷的进行显微操作。大大减轻了长时间观察的疲劳感。
获取图象,提升与显微镜用数码相机的联动力
实现了从观察到图象拍摄、分析的整体化
·尼康开发提供了便于使用的显微镜、数码相机和软件一体化的高机能设备系统。
·支持从设定观察条件,到数码拍摄→处理→分析的整个流程。
用于LSI检查显微镜 ECLIPSE L200N
Wafer Loader NWL200系列
尼康L300N/300ND IC观察显微镜
FPD/LSI检查显微镜ECLIPSE L300N 反射专用型ECLIPSE L300ND 透反射两用型集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统,在亮度、对比度和可操作性能方面都达到的高度,适合于大直径硅片或大型液晶板的检查。
规格 | ||
ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | |
(落射照明型) | (透射/落射照明型) | |
主机 | 内置12V-50W卤素灯光源;内置用于电动控制器的电源 | |
用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、 | ||
光圈叶片控制器 | ||
物镜转换器:具备物镜转换器 | ||
对中功能的电动通用六座物镜转换器 | ||
— | 反射/透射切换器 | |
调焦 部分 | 对焦部:行程29mm | |
粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能) | ||
微调:0.1mm/转(以um为单位) | ||
反射 照明部 | 12V50W高亮度卤素灯照明装置 | |
孔径光阑(电动.可调心)、视场光阑(固定.带对焦目标) | ||
可插入小孔光阑滑块(OPTION) | ||
可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/检偏器 | ||
观察方法:明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光 | ||
(仅用于L300N/L300ND/L200ND) | ||
透射 照明部 | — | 12W50W高亮度卤素灯 照明装置 |
内置孔径光阑 | ||
内置LWD聚光器 | ||
接口 | USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1 | |
镜筒 | L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒(视角0~30°) | |
视场数25、光分光100:0/0:100 | ||
L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒(俯角0~30°) | ||
视场数25、光分光100:0/20:80 | ||
LV-T13正立三目镜筒 | ||
视场数25、光分光100:0/0:100 | ||
目镜 | CFI目镜 | |
物镜 | CFI60系列物镜 | |
载物台 | 14x12载物台、行程354mmx302mm | |
(透射观察范围:354mmx268mm) | ||
带粗/微动切换功能 | ||
微动手轮位置固定 | ||
防静电 功能 | 从1000到10V放电时间在0.2秒以内 | |
耗电 | 1.2A/90W | |
尺寸 | 约360(W)x581(H)x951(D)mm(倾斜角度为10°时) |
如果你是使用显微镜一个10倍的放大倍率目镜10倍的。显微镜放大倍率物镜观察标本,金相显微镜你所看到的标本,在放大100倍。由于分辨率(两个独立点之间的分辨能力)的复合显微显微镜镜的最大观察放大2000倍。而不是使用的镜头和显微镜价格光放大标本,扫描电子北京显微镜使用电子创建一个放大的图像。试样被体视显微镜价格放置在一腔的底部,所有的空气抽出,使总的真空室。接下来,电子束发射室,它反弹了一系列特殊的镜子,直到梁集中在试样显微镜价格上的单点。然后一系列体视显微镜的扫描线圈跨越标本聚焦的电金相显微镜子束。关闭电子束的显微镜电子颠簸上已经存在的金相显微镜标本。 上海光学仪器厂
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