SIS 2000基本信息
| 品牌： | SNU | 型号： | SIS 2000 | 操作方式： | 自动 |
| 功能： | 检测、观察、分析 | 精度 ： | 1nm | | |
| 其它型号： | SIS 1200 |
SIS 2000产品特点
1、非接触式测量：避免物件受损。2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。6、扫描仪：采用闭环控制系统。7、工作台：气动装置、抗震、抗压。8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
SIS 2000技术参数
| 机型 | SIS 2000 |
| 工作台 | 尺寸 | 350mm×350mm |
| 倾斜度 | ±3 ° |
| 测量行程 | X:200mm Y:200mm |
| Z轴行程 | 100mm |
| 运动方式 | 自动，马达驱动 |
| 扫描速度 | 30μm/sec |
| 垂直分辨率 | 0.1nm |
| CCD | 黑白CCD， 640×480 像素 |
| 物镜安装架 | 手动 5个位移的可定位夹具 |
| 镜头选配 | 镜头：5×、10×、20×、50× |
SIS 2000应用领域
1、TFT产业2、半导体3、MEMS4、高校科研5、精密加工