产品规格:
重现性 <0.005mm
外形尺寸 (WxDxH) 700×500×900mm
解析力标准 0.001mm
台面大小 500×350mm
线性精度 4+L/150um
机台重量 150K
精度 4+L/150um
放大倍数 40x~400x
X行程 300mm
台面荷重 30Kg
Y行程 200mm
CCD SONY芯片彩色1/3英寸48TV线