| 型 号 | V304/V304C | V604/V604C | V1004/V1004C |
| 测量范围 | 0-300mm | 0-600mm | 0-1000mm |
| 应用范围 | 0-535mm | 0-835mm | 0-1235mm |
| 分辨率 | 0.01/0.001mm | 0.01/0.001mm | 0.01/0.001mm |
| 最大允许误差 | 2.5+（L（mm）/400）µm | 2.5+（L（mm）/400）µm | 2.5+（L（mm）/400）µm |
| 重复性 | 1µm（+/-2S） | 1µm（+/-2S） | 1µm（+/-2S） |
| 垂直度（正向） | 5µm | 8µm | 12µm |
| 操作时间 | 100h（可充电） | 100h（可充电） | 100h（可充电） |
| 操作时间（带气浮） | 30h（可充电） | 30h（可充电） | 30h（可充电） |
| 测力调节范围 | 0.7-1.6N | 0.7-1.6N | 0.7-1.6N |
| 测头移动速度 | 1m/s | 1m/s | 1m/s |
| 净重 | 10kg | 12kg | 15kg |
| 数据输出 | RS232 | RS232 | RS232 |