特点:
u Z轴装有数显弧形标尺,可以提供更大的测量范围和更高的分辨率,从而不必再依次测量倍率。
u 可以应用数据分析系统 (个人计算机和Rormpak-1000软件和XYX坐标绘图仪)
| X轴 | 测量范围 | 50mm(CV-1000)或100mm()CV-2000 | |
| 分辨率 | 0.2μm | ||
| 测量方法 | 反射型光栅尺 | ||
| 驱动速度 | 0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手动 | ||
| 测量速度 | 0.02-5mm/s | ||
| 测量方向 | /向后 | ||
| 直线度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm(当X轴在水平方向上 | ||
| 指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L为驱动长度(mm) | ||
| 倾斜范围 | ±45°(CV-2000) | ||
| Z1轴 | 测量范围 | 25mm(CV-100)或40mm(CV-2000) | |
| 分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) | ||
| 测量方法 | 弧形编码器 | ||
| 指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H为水平位置上的测量高度(mm) | ||
| 探针上下运作 | 弧形运动 | ||
| 探针方向 | 向下 | ||
| 测力 | 10-30mN | ||
| 跟踪角度 | 向上 | 77° | |
| 向下 | 87° | ||
| 探针针尖 | 半径 | 25μm | |
| 材料 | 硬质合金针尖 | ||
| 基座尺寸(WxH) | 750x600mm(CV-2000) | ||
| 基座材料 | 花岗岩(CV-2000) | ||
| 重量 | 主机 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) | |
| 控制装置 | 14kg | ||
| 遥控箱 | 0.9kg | ||
| 电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
| 能耗 | 150W主机 | ||
性能参数
| 型号 | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
| X1轴测量范围 | 50mm | 100mm | 100mm |
| Z1轴测量范围 | 25mm | 40mm | 40mm |
| Z2轴测量范围 | - | 250mm | 320mm |
技术参数
| X轴 | 测量范围 | 100mm或200mm | |
| 分辨率 | 0.05μm | ||
| 测量方法 | 反射型光栅尺 | ||
| 驱动速度 | 80mm/s和手动 | ||
| 测量速度 | 0.02-5mm/s | ||
| 测量方向 | 向前/向后 | ||
| 直线度 | 0.8μm /mm,2μm/mm(当X轴在水平方向上) | ||
| 指示精度 (20℃) | ±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4) ±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4) ±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8) ±(0.8+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8) L为驱动长度(mm) | ||
| 倾斜范围 | ±45° | ||
| Z2轴(立轴) | 垂直行程 | 300mm或500mm | |
| 分辨率 | 1μm | ||
| 测量方法 | ABSQLUTE光栅尺 | ||
| 驱动速度 | 0-20mm/s和手动 | ||
| Z1轴 | 测量范围 | ±25mm | |
| 分辨率 | 0.2μm(CV-3100系列) 0.05μm(CV-4100系列) | ||
| 测量方法 | 光栅尺(CV-31000系列) Laser holigage(CV-4100系列) | ||
| 指示精度 (20℃) | ±(2+14H/100)μm(CV-3100系列) ±(0.8+12H/00)0.05μm(CV-4100系列) H为水平位置上的测量高度(mm) | ||
| 探针上下运作 | 弧形运动 | ||
| 探针方向 | 向上/向下 | ||
| 测力 | 30mN | ||
| 跟踪角度 | 向上 | 77° | |
| 向下 | 87° | ||
| 探针针尖 | 半径 | 25μm | |
|
| 材料 | 硬质合金针尖 | |
| 基座尺寸(WxH) | 750x600mm或1000x450mm | ||
| 基座材料 | 花岗岩 | ||
| 重量 | 主机 | 140kg(S4) 150kg(H4) 155kg(W4) 145lg(S8) 155kg(H8) 160kg(W8) | |
| 控制装置 | 14kg | ||
| 遥控箱 | 0.9kg | ||
| 电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
| 能耗 | 400W主机 | ||
性能参数
| 型号 | CV-3100S4/ CV-4100S4 | CV-3100H4/ CV-4100H4 | CV-3100V4/ CV-4100V4 |
| X1轴测量范围 | 100mm | 100mm | 100mm |
| 垂直行程 | 300mm电动立拄 | 500mm电动立拄 | 500mm电动立拄 |
| 花岗岩基座尺寸(WxD) | 600x450mm | 600x450mm | 1000x450mm |
| 尺寸(主机、WxDxH) | 741x450x905mm | 741x450x1105mm | 1118x450x1111mm |
| 重量(主机) | 140kg | 150kg | 155kg |
| 型号 | CV-3100S8/ CV-4100S8 | CV-3100H8/ CV-4100H8 | CV-3100V8/ CV-4100V8 |
| X1轴测量范围 | 200mm | 200mm | 200mm |
| 垂直行程 | 300mm电动立拄 | 500mm电动立拄 | 500mm电动立拄 |
| 花岗岩基座尺寸(WxD) | 600x450mm | 600x450mm | 1000x450mm |
| 尺寸(主机、WxDxH) | 741x450x905mm | 767x450x1105mm | 1144x450x1111mm |
| 重量(主机) | 145kg | 155kg | 160kg |