μScan激光扫描光学轮廓仪 μScan激光扫描光学轮廓仪技术参数 传感器模块 AF4 CF4测量技术 自动对焦 共焦Z轴测量范围(mm) 1.5 1 Z轴分辨率(um) 0.025 0.1光点大小(um) 1 1.5工作距离(mm) 2 4测量频率(KHz) 10KHZ 1KHZCamera选购 同轴 侧向 | ||
μScan激光扫描光学轮廓仪主要特点 μScan采用模块化设计,特点是快速测量、不接触、不破坏、自动化。 μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal point sensor、Autofocus sensor、Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。 AF2 自动对焦(Autofocus) 借由探测器的回馈讯号调整物镜位置,得到待测物焦点,而获得待测物的确实高度。 CF4 共焦(Confocal, Laser) 激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,此时偵测器能经由孔洞得到最大光的强度,如此侦测器根据此讯号确定其位置。 应用: 集成电路封装和表面贴片技术 厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量 精密部件 | ||
德国Nanofocus是一家全球领先的高科技公司,是微纳米尺度上的光学表面测量技术的全球,生产的光学轮廓仪是科学研究和工业领域广泛应用的设备,为大众、宝马、西门子、飞利浦、BOSCH等世界知名企业提供精密的解决方案。 德国Nanofocus公司的表面光学轮廓仪在光学设计、精密机械和科学软件算法方面,拥有不断发展的专利技术,由于这些专门技术的应用,Nanofocus为生产和质量控制的研究和发展提供精密的解决方案。 Nanofocus的表面测量系统适用于研发和生产过程控制中的定性和定量测量,其核心部件达到纳米尺度的创新的光学设计,其强大且友好的软件控制使所需获得的数据不仅速度快,而且精度高,并提供了多种不同的表面分析方法。 NanoFocus有两种光学测量系统:μSurf(白光共轭焦轮廓仪)和μScan(激光轮廓测量仪) 主要系统特点: A. 高精度测量,结果可作为计量标准 B. 高再现性和性 C. 实际应用方便 D. 综合能力强 如果您目前还不能确定需要什么性能的配置,或者还不清楚未来所需,Nanofocus可以向您提供了的选择及升级版本,满足您测量的需要,节约您的经费,促进您的生产和科研,并确保您的投资受益。 德国Nanofocus在全球各个国家的分公司,在各地商务会议中心,我们经常提供相应的技术讲座/培训以及研讨会。在亚太,我们同样不定期的举办各种形式的技术培训及研讨会,欢迎您在任何方便的时候加入。另外,德国Nanofocus公司协助客户进行海外实习和相关学位的培养。 请与Nanofocus中国总代理上海柏汇申生物科技有限公司联系,柏汇申可以为您做免费的样品分析,并可以根据你的需求,定制解决方案! |
NT9100的量测性能与其他NT9000系列产品相当,但其较小的尺寸及灵活的配置为用户将来的发展提供了基础。系统包含了完整版的Vision分析软件,该软件是行业内功能最全的分析软件,可实现二维和三维的数据分析及可视化功能。Vision软件为用户提供了200余种分析工具,包括自动测序功能、数据记录和实时反馈及统计控制过程的合格/不合格标准。用户采用可选的MATLAB® 软件包还可以定制专门的数据分析用户界面。
Contour GT系统利用白光干涉来测量纳米级至微米级的表面形貌,并且具有业界最大视场下的垂直分辨率。仪器具备多种倍率物镜(1.25倍-100倍),可以表征具有不同表面形状和结构的样品。而且在任何放大倍数下,系统的纵向范围都能够达到亚-埃至毫米级,其灵活性无可比拟。
本公司精力打造高科技产品,力争成为国内科研仪器供应商。同时,我们售前,售中,售后全程为您服务。欢迎来电咨询!
光学轮廓仪 参数:
光学轮廓仪 产品说明:
μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量,也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。
NanoFocus μsurf explorer机台功能齐全,结构紧凑,性价比高,并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力。
n 应用
μsurf系列用来测量表面物理形貌,进行微纳米尺度的三维形貌分析,如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓(纵深、宽度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
ü 精密部件:检测对表面磨损,表面粗糙度,表面微结构有要求的零部件,比如发动机汽缸、刀口等;
ü 生命科学:测量stents支架上镀层厚度等
ü 微电子机械系统:微型器件的检测,医药工程中组织结构的检测,如基因芯片等
ü 半导体:检测微型电子系统,封装及辅助产品结构设计
ü 太阳能:电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量,制绒后3D形貌表征(单晶金字塔大小、数量、角度,多晶腐蚀坑形貌、密度),粗糙度分析等
ü 纸张:纸张、钱币表面三维形貌测量
n 技术参数
LED光源:λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间:5~10秒
测量原理:非接触、共聚焦
X/Y方向,平台移动范围:50mmX50mm,马达驱动,分辨率:0.3μm
Z方向测量范围:250μm,分辨率:2nm
物镜:10X、20X、50X、100X(可选)
计算机:高性能计算机控制系统,功能全面的软件,有拼接功能,
工作电源:100-240V, 50-60Hz, input<45W
材质:钢铁、橡胶、大理石
外型尺寸:710x270x330 mm (HxWxD)
重量:28KG
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)