EL X-01R、EL X-02 C、EL X-02 spec椭偏仪

 DRE公司设计的基于误差修正的步进马达和MinSearch算法基础上的高精度椭偏仪,测量更为简单、快速,而且结果更为。样品的Alignment非常简单,只需调整样品台下方的旋钮,改变 Light Angle Light Intensity,并借助四象限探测器在计算机屏幕上显示的调整状况,便可在不超过 30 秒钟的时间内完成。无需经常做仪器校准。由于使用高精度的 Step Motor,且无需使用Reference Sample经常进行做仪器Calibration。可进行超薄膜(皮米级)的分析。可进行半导体Si Wafer 表面灰尘的分析,这是目前所有椭偏仪厂商中具备此项功能的一家。薄膜粗糙度 (Roughness) 的表征也是目前所有椭偏仪制造厂中独具特色的一家。可进行变温(液氮至400ºC)测量。快速Mapping测量。使用X-Y 样品台, 进行 1 /点的Mapping 或微秒/点的快速扫描。可分析 8" 甚至于 12" Si Wafer的厚度变化。可进行微区分析(激光焦斑的尺寸可达1微米)。应用范围非常广泛:如Si衬底上的SiO2SixNy薄膜,光电子涂层,各种磁性薄膜,平板显示工业的 ITO薄膜和薄膜晶体管的结构,生物和化学工业的各种有机层、分子膜,光触媒用TiO2 薄膜分析,铝热交换器表面抗氧化薄膜,奔驰汽车引擎或汽缸激光焊接前的清洁薄膜分析等。同时,提供多种光谱仪选择,如回转检偏器椭偏仪(RAE),高精度椭偏仪,消光型椭偏仪(Null Ellipsometer),光谱型椭偏仪(Spectroscopic Ellipsometer190~2400 nm,可选),超高精度传动椭偏仪等。

椭偏仪

膜厚范围:0-30000nm 折射指数:± 0.0001 厚度度:± 0.01nm

SE200光谱椭偏仪

产品指标:

波长范围:250nm到1100 nm

光斑尺寸:1mm至5mm

样品尺寸:直径可达200mm

测量厚度范围:10μm

测量时间:约1秒/位置点

入射角范围:20到90度,5度间隔

重复性误差:小于1 Ǻ

  
应用领域 

·   半导体制造(PROxide, Nitride..
·   光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
·   液晶显示(ITOPRCell gap... ..
·  薄膜晶体管TFT上的层堆叠
·  医疗器械上的涂层
·   用在MEMS/MOEMS领域的功能性薄膜
·   非晶体,纳米材料和结晶薄膜
·   薄金属膜
 
 实现功能: 1 对于薄膜、涂层、大基底的光学常数(折射率n和消光系数k) 2 对于薄膜的非破坏性厚度测量。  3 对于各种薄膜中合金浓度的测定,例如SiGe合金中Ge的测定、AlGaN膜中Al的测定。 4 对于GaN、SiC、AlN、AlGaN等,它们带隙的测定。 5 在低介电常数下测定薄膜的孔隙率。 6 测定纳米复合材料中所含每种成分的体积比含量。  7 可以测定多层堆叠或者像量子阱结构的周期性结构中的每一层的物理厚度和光学特性。  8 对薄膜在密度或合金的浓度上的不均匀性进行分析  9 分析高介电常数薄膜的光学特性  10金属薄膜、金属化合物(例如WN、TiN、TaN等)、 掺杂半导体epi层(同时也决定了厚度)及其他的诸如ITO薄膜等复合氧化物的电导率进行无损检测。  11掺杂半导体掺杂浓度的无损检测

 

 

 
该公司产品分类: 恒流泵 恒压恒流进样泵 微流控

SE200BM型椭偏仪

产品特点:

  • 易于安装
  • 基于视窗结构的软件,很容易操作
  • 的光学设计,以确保能发挥出的系统性能
  • 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角度
  • 高功率的DUV-VIS光源,能够应用在很宽的波段内
  • 基于阵列设计的探测器系统,以确保快速测量
  • 最多可测量12层薄膜的厚度及折射率
  • 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数
  • 系统配备大量的光学常数数据及数据库
  • 对于每个被测薄膜样品,用户可以利用的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型(EMA)测量分析
  • 三种不同水平的用户控制模式:专家模式、系统服务模式及初级用户模式
  • 灵活的专家模式可用于各种独特的设置和光学模型测试
  • 健全的一键按钮(Turn-key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方案
  • 用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测量
  • 系统有着全自动的计算功能及初始化功能
  • 无需外部的光学器件,系统从样品测量信号中,直接就可以对样品进行精确的校准
  • 可精密的调节高度及倾斜度
  • 能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片
  • 各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需求
  • 2D和3D的图形输出和友好的用户数据管理界面。

 

系统配置: 

  • 型号:SE200BM-M300
  • 探测器:阵列探测器
  • 光源:高功率的DUV-Vis-NIR复合光源
  • 指示角度变化:手动调节
  • 平台:ρ-θ配置的自动成像
  • 软件:TFProbe 3.2版本的软件
  • 计算机:Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器
  • 电源:110–240V AC/50-60Hz,6A
  • 保修:一年的整机及零备件保修

 

基本参数:

  • 波长范围:250nm到1000 nm
  • 波长分辨率: 1nm
  • 光斑尺寸:1mm至5mm可变
  • 入射角范围:0到90度
  • 入射角变化分辨率:5度间隔
  • 样品尺寸:最大直径为300mm
  • 基板尺寸:最多可至20毫米厚
  • 测量厚度范围*:0nm〜10μm
  • 测量时间:约1秒/位置点
  • 精确度*:优于0.25%
  • 重复性误差*:小于1 Ǻ

 

应用领域:               

  • 半导体制造(PR,Oxide, Nitride..)
  • 液晶显示(ITO,PR,Cell gap... ..)
  • 医学,生物薄膜及材料领域等
  • 油墨,矿物学,颜料,调色剂等
  • 医药,中间设备
  • 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
  • 半导体化合物
  • 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
  • 非晶体,纳米材料和结晶硅

 

产品可选项:             

  • 用于反射的光度测量或透射测量
  • 用于测量小区域的微小光斑
  • X-Y成像平台(X-Y模式,取代ρ-θ模式)
  • 加热/致冷平台
  • 样品垂直安装角度计
  • 波长可扩展到远DUV或IR范围
  • 扫描单色仪的配置
  • 联合MSP的数字成像功能,可用于对样品的图像进行测量

111椭偏仪

 

【激光系列产品】
 
 固体激光器 半导体激光器 气体激光器 离子激光器 光纤激光器 大功率光纤耦合激光器 皮秒激光器 飞秒激光器 Q脉冲激光器 激光二极管控制器 激光功率计 激光护目镜 激光波长测量 激光光束分析仪 多通道激光功率计 大功率激光器 激光光束位置测量仪 激光扩束镜 激光准直器 红外激光显示卡 红外激光观察仪 红外观察仪 激光测距仪 激光器温度控制器 激光光纤耦合器 高稳定性激光器 相干型激光器 自相关仪 飞秒激光倍频器 可变光阑 便携式激光器 染料激光器 激光光谱测量 热电制冷片 激光光束定位系统 2微米光纤激光器 飞秒光纤激光器 皮秒光纤激光器 脉冲光纤激光器 光纤隔离器 拉曼激光器 光功率计
 
【光谱测试仪器】
 
 紫外可见光谱仪 便携式光谱仪 高分辨率光谱仪 高灵敏度光谱仪 制冷型光谱仪 中红外光谱仪 荧光光谱仪 拉曼光谱仪 极紫外光谱仪 真空紫外光谱仪 多通道光谱仪 教学型光谱仪 LED光测量光谱仪 色坐标色温测量仪 灯具光谱测量仪 透射谱吸光度光谱仪 绝对辐射光谱仪 流体吸光度光谱仪 流体荧光光谱仪 膜厚测量仪 椭偏仪 太阳能电池IPCE测量系统 太阳能电池QE测量系统 太阳能电池光谱响应系统 单色仪 滤光片轮 滤光片透射率测试仪 太赫兹光谱仪 等离子体光谱仪 环境辐射仪 近红外光谱仪 元素分析仪 氧含量测量 信号发生器 近红外谷物接收系统 颗粒分析仪 荧光寿命光谱仪 三维表面轮廓仪
 
【光学精密机械】
 
 干涉仪 光学平台 光学镜架 手动平移台 手动旋转台 手动摆动台 手动组合平台 电动平移台 电动转动台 电动摆动平台 电动组合平台 压电陶瓷平台 压电陶瓷制动器 高稳定防震平台
 
【光源】
 
 氙灯光源 氘灯光源 氘卤双光源 LED光源灯 卤素灯光源 光催化氙灯光源 积分球 积分球均匀光源 太阳模拟器 紫外固化机 宽带超连续光源 显微镜光源
 
【光学影像】
 
 紫外CCD相机 近红外CCD相机 制冷型CCD相机 高速相机   显微镜 CID相机 红外相机/热像仪
 
 
【光学元件】
 
 窗片/窗口 反射镜 透镜 光学基片 分光镜 棱镜 晶体 滤光片 波长板 扩散板 起偏器 光学镜头 光纤产品 光栅尺 光栅
 
【光通信仪器】
 
 ASE光源 光纤放大器 光通信激光器 光功率计 可调谐激光光源 光纤测量系统 光衰减器 光纤熔接机 光通信探测器 光调制器 SLED光源 SLED模块 光源 高功率EDFA 光收发机 拉曼EDFA组合放大器 拉曼泵浦模块 偏振光合束器 拉曼放大器
 
【生物分析仪器】
 

 动物注射泵 样品均质器 粘合剂分配器 蠕动泵

椭偏仪

产品 >> 光谱测试仪器 >> 椭偏仪   共有 1 个产品
 

 
 
 
 
 
 
名称: SpecEI椭偏仪
编号: 4716301416
 

【激光系列产品】 固体激光器  半导体激光器  气体激光器  氩离子激光器  光纤激光器  大功率光纤耦合激光器  皮秒激光器  飞秒激光器  调Q脉冲激光器  激光二极管控制器  激光功率计  激光护目镜  激光波长测量  激光光束分析仪  多通道激光功率计  大功率激光器  激光光束位置测量仪  激光扩束镜  激光准直器  红外激光显示卡  红外激光观察仪  红外观察仪  激光测距仪  激光器温度控制器  激光光纤耦合器  高稳定性激光器  相干型激光器  自相关仪  飞秒激光倍频器  可变光阑  便携式激光器  染料激光器  激光光谱测量  热电制冷片  激光光束定位系统  视频显微镜测量系统  2微米光纤激光器  飞秒光纤激光器  皮秒光纤激光器  脉冲光纤激光器  光纤隔离器  拉曼激光器  光功率计  飞秒激光脉冲自相关仪  激光二极管参数分析仪  激光二极管电流控制器 【光谱测试仪器】 光纤光谱仪  微型光纤光谱仪  高分辨率光谱仪  高灵敏度光谱仪  制冷型光谱仪  中红外光谱仪  荧光光谱仪  拉曼光谱仪  极紫外光谱仪  真空紫外光谱仪  多通道光谱仪  教学型光谱仪  LED光测量光谱仪  色坐标色温测量仪  灯具光谱测量仪  透射谱吸光度光谱仪  绝对辐射光谱仪  流体吸光度光谱仪  流体荧光光谱仪  膜厚测量仪  椭偏仪  太阳能电池IPCE测量系统  太阳能电池QE测量系统  太阳能电池光谱响应系统  单色仪  滤光片轮  滤光片透射率测试仪  太赫兹光谱仪  等离子体光谱仪  环境辐射仪  近红外光谱仪  元素分析仪  氧含量测量  信号发生器  近红外谷物接收系统  颗粒分析仪  荧光寿命光谱仪  三维表面轮廓仪  微型光谱仪 【光学精密机械】 干涉仪  光学平台  光学镜架  手动平移台  手动旋转台  手动摆动台  手动组合平台  电动平移台  电动转动台  电动摆动平台  电动组合平台  压电陶瓷平台  压电陶瓷制动器  高稳定防震平台 【光源】 氙灯光源  氘灯光源  氘卤双光源  LED光源灯  卤素灯光源  光催化氙灯光源  积分球  积分球均匀光源  太阳模拟器  紫外固化机  宽带超连续光源  显微镜光源 【光学影像】 紫外CCD相机  近红外CCD相机  制冷型CCD相机  高速相机  夜视仪  显微镜  CID相机  热像仪 【探测器】 照度计  亮度计  辐射计  便携式色差计  太阳光功率计  快速反应探测器  前置放大探测器  光纤耦合探测器  液氮制冷探测器  皮秒超快探测器  位敏探测器  四象限探测器  双色探测器  紫外辐照计  硅光电探测器  近红外探测器  中红外探测器  雪崩二极管  光电倍增管 【光学元件】 窗片/窗口  反射镜  透镜  光学基片  分光镜  棱镜  晶体  滤光片  波长板  扩散板  起偏器  光学镜头  光纤产品  光栅尺  红外镜头  光栅 【光通信仪器】 ASE光源  光接收机  光纤放大器  光发射机  光通信激光器  光功率计  可调谐激光光源  光纤测量系统  光衰减器  光纤熔接机  光通信探测器  光调制器  传感器解调仪  SLED光源  SLED模块  多波段SLED光源  大功率EDFA  光收发机  激光发射机  拉曼EDFA组合放大器  拉曼泵浦模块  偏振光合束器  拉曼放大器  保偏EDFA  掺镱光纤放大器  掺镱光纤放大器模块  半导体光放大器  大功率光纤放大器  光接收机模块  半导体光放大器模块  40通道多路复用器  1064nm稳定的激光器光源  DWDM多路复用器  FBG光纤耦合激光器光源  FBG激光光源模块  波长扫描激光器  单模背射仪  电控可变光衰减器  多波长仪  多通道可变光衰减器  光波元器件分析仪  光放大器分析仪  光网络测试仪  光网络分析仪  光纤干涉仪  回波损耗仪系统  可调谐光滤波器  色散补偿模块  微型光时域反射仪  蝶形激光器/DFB激光器  大功率蝶形激光器  宽带RF放大器模块  宽带RF放大器  DFB蝶形激光器  DFB激光器模块  DWDM光分插模块  980nm泵浦激光器  ASE光源模块  C+L波段ASE光源  CWDM 2mW DFB激光器  F-P激光器  保偏隔离器  大功率保偏隔离器  大功率光隔离器  光隔离器  光开关模块  可调谐C波段激光器  外调制激光器  拉曼放大器泵浦激光器/EDFA泵浦激光器  便携式光时域反射仪 【生物分析仪器】 动物注射泵  样品均质器  粘合剂分配器  蠕动泵  摇摆振荡器  细胞分离/匀浆漩涡混合器

供应椭偏仪/上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安

椭偏仪-----上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州

产品特点:

Ø 高品質之光學與電動元件,無需防震桌。 

Ø 燈泡更換容易,客戶可自行操作,無需校正。 

Ø FFT-在應用分析上,可除了橢圓儀原本的回歸分析,還增加了傅利葉的分析方式,可針對不同的材料與厚度使用,User使用上更為便利與快速.

Ø 具有Analyzer Tracking功能,可大幅提昇量測精度,與PEM之效果相同。

Ø 可搭配反射儀使用,可於日後Upgrade

Ø 可量測透明基板,無需背後處理。 

Ø Upgrade為 in line量測設備。

Ø 採用美國進口光譜儀,量測速度快。

Ø 使用步進馬達並非Rotating Polarizer,避免馬答損壞。 

Ø 固定量測角度-70度,可避移動時所造成的量測誤差與機械損害光學儀器都應減少移動 

Ø 性價比極佳,品質及量測能力可達到世界水準,公司備有DEMO儀器,可供客戶實施操作比較。

技术参数:

波長範圍:350nm-1050nm

快速全自動量測 

精密量測膜厚及折射率 

各種功能材料的光學常數測量和光譜特性分析 

橢貨參數精度:  ≦0.01for Tan (ψ);  ≦0.01 for Cos (Δ

直接測量透明基板上之鍍膜,無需基板背面處理或染黑

量测范围:15Å-severaol um

量测应用:         - 太阳能电池、LED镀膜、新材料镀膜        - TFT-LCD: SIOx,SiNx,a-Si:H,N+a-Si,Photo Resists...        - SEMI:         - High-k:Al2O3,SiO2,Si3N4,SiNX,HfO2,Ta2O5,ZrO2        - Low-k: SiOC,SiOF,SOG,BPSG …

具体型号及技术要求欢迎来电咨询

联系方式:

苏州诺威特测控科技有限公司

Add:中国苏州市高新技术开发区金枫南路198号

联系人:邹小姐

Tel:18913500435

Fax:

E-mail:info@novtec.hk

http://www.novtec.hk

公众微信推荐:诺威特光伏(novteccs)诺威特汽车(novtecqc)诺威特光电(sznovtec)

该公司产品分类: 新能源汽车 智能仓储系统 智能仓储系统 仓储系统 锂电池自动分选 光谱仪 atlas 腐蚀试验设备 反射仪 模拟器 椭偏仪 扫描仪 led 薄膜测厚仪 光伏组件测试 热量分析仪 盐雾实验箱 紫外老化试验箱 盐雾试验箱 试验箱

SE200BA 椭偏仪

    

基本功能

1,测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数

2,薄膜均匀性测试以及模拟运算功能等

产品特点

l  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;

l  简便、易行的可视化测试界面,可根据用户需求设置不同的参数;

l  快捷、准确、稳定的参数测试;

l  支持多功能配件集成以及定制;

l  支持不同水平的用户控制模式;

l  支持多功能模拟计算等等。

系统配置

型号:SE200BM-M300

探测器:阵列探测器

光源:高功率的DUV-Vis-NIR复合光源

测量角度变化:软件设置自动调节

平台:ρ-θ配置的自动成像

软件:TFProbe 3.2版本的软件

计算机:Inter双核处理器、19”宽屏LCD显示器

电源:110–240V AC/50-60Hz,6A

保修:一年的整机及零备件保修

规格

波长范围:250nm到1000 nm

波长分辨率: 1nm

光斑尺寸:1mm至5mm可变

入射角范围:10到90度

入射角变化分辨率:0.01度

样品尺寸:最大直径为300mm

基板尺寸:最多可至20毫米厚

测量厚度范围*:0nm~10μm

测量时间:约1秒/位置点

精确度*:优于0.25%

重复性误差*:小于1 Ǻ

可选配件项

l  用于反射的光度测量或透射测量;

l  用于测量小区域的微小光斑;

l  用于改变入射角度的自动量角器;

l  X-Y成像平台(X-Y模式,取代ρ-θ模式)

l  加热/致冷平台;

l  样品垂直安装角度计;

l  波长可扩展到远DUV或IR范围;

l  扫描单色仪的配置

l  联合MSP的数字成像功能,可用于对样品的图像进行测量等。

应用领域

主要应用于透光薄膜分析类领域:

l  玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

l  半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)

l  液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)

l  医学,生物薄膜及材料领域等

l  油墨,矿物学,颜料,调色剂等

l  医药,中间设备

l  光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

l  半导体化合物

l  MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

l  非晶体,纳米材料和结晶硅

 

等离子表面处理设备 生命科学仪器 表面分析仪器 电子测量仪器

EP3nanofilm呈像椭偏仪

[EP3] 德国nanofilm公司于1991年开发出了世界上台Brewster角显微镜(BAM),该仪器主要用于薄层膜的观察。近几年来,nanofilm又相继推出了不同用途的BAM产品以及相应的配套仪器,其款的EP3椭圆偏振成相系统把椭圆偏振法与显微镜法相结合,为其进入到生物分析和微电子等新的研究领域提供了可能。 应用领域: 椭圆光度法是一种非破坏性和无需标记的、用于确定膜厚和材料光学特性的方法。通过把椭圆光度法与显微镜法相结合,影像椭圆光度仪不断改进,平面精度已经能够达到1μm,立体精度已提高到1nm,为其进入到生物分析和微电子等新的研究区域提供了可能。EP3是德国nanofilm公司最近推出的新一代椭圆光度仪产品。主要应用于以下各种尖端领域: 生物芯片:同次性、膜厚、杂交、动力学等测量 LB/单层/自组合单层膜/活性剂:检测LB膜的结构、单层膜厚度、界面吸附等 接触印刷:小于1μm微结构的质量控制、膜厚测量、测量折射率和吸附 磁盘:同次性、膜硬度 (油)膜厚度、光学产品磁光学结果的观察 纳米粒子:纳米粒子上的一小块区域、折射率和吸附的分布 聚合物:膜厚、折射率和吸附测量 主要特点 采用高精度回零椭圆光度法 的空间分辨率(1μm), 大面积图像椭圆光度法(多达若干cm2) 单一或多重的激光波长 新颖的自动测角计,用于入射角调整n EP3View专用软件,用于仪器控制和基于Windows?的数据分析 多重关注区域及Δ,Ψ绘图n 可通过局部网络实现远程控制和服务 技术参数 原理 PCSA 配置的自动回零( Auto-Nulling )图像椭圆光度法 椭圆光度分辨率 Delta/Psi 精度 0.001 deg   绝对精度 0.01 deg (依赖于样品与测量条件) 立体分辨率 1~35μm (平面解析精度: 1μm ,纵向解析精度: 1 nm ) 激光器波长 标准为 : 532 nm  可选 405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm 灵敏度 0.05~0.2nm 解析时间 快, 22×73mm 在 1.2μm 精度下只需不到一分钟的时间 图像系统 768 x 572 像素 CCD 照相机 电子组件 内置基于 Pentium 芯片的控制器,带 Matrox Meteor II 抓图器; 内置 Linux 操作系统;通过专用 100M 以太网与主机相连 电源 电压: 100 – 240 VAC, 50/60Hz 最大电流 : 10 A

EP3nanofilm呈像椭偏仪

[EP3] 德国nanofilm公司于1991年开发出了世界上台Brewster角显微镜(BAM),该仪器主要用于薄层膜的观察。近几年来,nanofilm又相继推出了不同用途的BAM产品以及相应的配套仪器,其款的EP3椭圆偏振成相系统把椭圆偏振法与显微镜法相结合,为其进入到生物分析和微电子等新的研究领域提供了可能。 应用领域: 椭圆光度法是一种非破坏性和无需标记的、用于确定膜厚和材料光学特性的方法。通过把椭圆光度法与显微镜法相结合,影像椭圆光度仪不断改进,平面精度已经能够达到1μm,立体精度已提高到1nm,为其进入到生物分析和微电子等新的研究区域提供了可能。EP3是德国nanofilm公司最近推出的新一代椭圆光度仪产品。主要应用于以下各种尖端领域: 生物芯片:同次性、膜厚、杂交、动力学等测量 LB/单层/自组合单层膜/活性剂:检测LB膜的结构、单层膜厚度、界面吸附等 接触印刷:小于1μm微结构的质量控制、膜厚测量、测量折射率和吸附 磁盘:同次性、膜硬度 (油)膜厚度、光学产品磁光学结果的观察 纳米粒子:纳米粒子上的一小块区域、折射率和吸附的分布 聚合物:膜厚、折射率和吸附测量 主要特点 采用高精度回零椭圆光度法 的空间分辨率(1μm), 大面积图像椭圆光度法(多达若干cm2) 单一或多重的激光波长 新颖的自动测角计,用于入射角调整n EP3View专用软件,用于仪器控制和基于Windows?的数据分析 多重关注区域及Δ,Ψ绘图n 可通过局部网络实现远程控制和服务 技术参数 原理 PCSA 配置的自动回零( Auto-Nulling )图像椭圆光度法 椭圆光度分辨率 Delta/Psi 精度 0.001 deg   绝对精度 0.01 deg (依赖于样品与测量条件) 立体分辨率 1~35μm (平面解析精度: 1μm ,纵向解析精度: 1 nm ) 激光器波长 标准为 : 532 nm  可选 405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm 灵敏度 0.05~0.2nm 解析时间 快, 22×73mm 在 1.2μm 精度下只需不到一分钟的时间 图像系统 768 x 572 像素 CCD 照相机 电子组件 内置基于 Pentium 芯片的控制器,带 Matrox Meteor II 抓图器; 内置 Linux 操作系统;通过专用 100M 以太网与主机相连 电源 电压: 100 – 240 VAC, 50/60Hz 最大电流 : 10 A
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