气体质量流量控制器专场,气体质量流量控制器商家多、资料全面第2组

M3100气体质量流量控制器M3100

1. 用途及特点

气体质量流量控制器( Mass Flow Controller 简称MFC )能够在较大的量程

范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。

气体质量流量计( Mass Flow Meter 简称MFM )能够在较大的量程范围内

对气体的质量流量进行精密测量。

它们在石化工业、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、环保和

真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺

设备，如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、；以及微反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器。

Line-Tech Ltd.于对产品的性能和生产工艺的不断改进。对M 系列气

体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）进行了的技术改造，

在功能和性能上有了进一步的提高。

M 系列气体质量流量控制器和质量流量计具有精度高、响应速度快、重

复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下

工作)，其操作使用方便，可任意位置安装调试，并更好的与计算机连接实现自

动控制。

M3100V 和M3100A 型气体质量流量控制器（MFC）性能指标

1000sccm 等於 1 liter 30slpm = 30 liters（公升）

sccm : s = standard cc = cm 的3 次方 m = minute（分鐘）

slpm : s = standard l = liter p = per m = minute（分鐘）

项目 M31000V 和M3100A

1 流量规格（N2）: 25slpm ～ 120slpm

（本公司可以为客户在25slpm ～ 120slpm范围内任何区域标定）

2 度 :±1% F.S （Full Scale）

3 重复精度 :±0.25 % F.S （Full Scale）

4 响应时间 :≤3sec ( 特别要求：:≤1sec )

5 耐压 : 95 bar

6 工作环境温度 :5 ℃ ~ 65 ℃

7 输入输出信号: 0 ~ 5Vdc 4 ~ 20mA

8 电源 :±15Vdc, 350mA

气路接头形式

可提供5 种尺寸接管外径的接头类型：

a.. 1/8＂ Compress

b. 1/4＂ Compress

c. 3/8＂ Compress

d. 1/4＂ VCR

e. 1/4＂ VCO

13917099687 范先生

型号日本山武（YAMATAKE）日本山武数字气体质量流量控制器CMQ 数量大量库存产品描述 CMQ9200/9500/0002/0005/0020/0050/0050JK/0200JK/0500JK等CMQ系列是高性能型数字式气体质量流量控制器，使用山武公司独有的感热式微流量传感器和高精度的比例阀，具有响应快、精度高、控制范围宽等特点，能满足多种工业控制要求。基本系列 CMQ9200 CMQ9500 CMQ0002 CMQ0005 CMQ0020 CMQ0050 CMQ0050J/K CMQ0200J/K CMQ0500J/K流量范围 200mL/min 0.500L/min 2.00L/min 5.00L/min 20.0L/min 50.0L/min 50.0L/min 200L/min 500L/min适用气体氮气、空气、氧气、氩气、二氧化碳、城市煤气13A（LNG）、甲烷100%、丙烷100%、丁烷100% 控制范围 1--100%FS 响应速度 0.5秒达到设定值±2%FS 1秒达到设定值±2%FS 阀门输出更新周期 10ms 精度 ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±2%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS ±1%FS标准差压 98KPa 9.8KPa 98KPa 9.8KPa 98KPa 196KPa 19.6KPa 196KPa 196KPa操作差压范围 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.49--49KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa 0.98--98KPa 0.98--294KPa 0.98--294KPa耐压 980KPa 设定方法 1、键盘操作 2、外部设定电压输入 3、通讯设定输入电压范围 0--5VDC / 1--5VDC （通过组态设定和外部开关输入选择）输出电压范围 0--5VDC / 1--5VDC （通过组态设定和外部开关输入选择）输出点数报警输出：1点；事件输出：2点外部开关输入外部3位开关输入（OPEN/GND/5V）：1点；外部节电输入（2位开关）：3点安装方式水平安装，显示部不可向下电源 DC15--24V 消耗电流：300mA max DC24V / 400mA max DC24V/500mA重量约1.2Kg 约3.5Kg

D500/D600气体质量流量控制器MFC

上海洪柯自动化仪表公司推出的D500/D600气体质量流量控制器（Mass Flow Controller）/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、医疗、电力、化工等各个领域。产品具有精度高、重复性好、稳定性高、性价比高、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。

流量规格（N2）：	(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM
准确度：	±1%F.S.
线性：	±0.5%F.S.
重复精度：	±0.2%F.S.
响应时间：	≤1Sec
工作压差范围：	(0.05~0.3)MPa
最大耐压：	10MPa
工作环境温度：	5~65℃
电气连接：	8 Pin（Mini S Plug）
输入/输出信号	Digital：RS232/RS485； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
电源：	7~16VDC 1A；或24VDC500mA
标准接头：	Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…； VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸	13028121mm
重量约	1.0kg

该公司产品分类：智能椭圆齿轮流量计楔形流量计科氏力质量流量计智能电磁流量计液压油专用涡轮流量计智能涡轮流量计液体超声波流量计特殊玻璃转子流量计金属管浮子流量计一体化孔板流量计智能涡街流量计智能旋进漩涡流量计便携式气体容积式流量计电子皂膜流量计便携式气体质量流量计低压气体质量流量计气体质量流量计/控制器热式气体质量流量计 oval椭圆齿轮流量计气体超声波流量计

ALICAT气体质量流量控制器ALICAT气体质量流量控制器

气体质量流量控制器

产品特点：1. 满量程从0.5(s)ccm到1500(s)lpm2. 响应时间10ms3. 量程比优于100：14. 精度±0.8％读数±0.2％fs（可选±0.4％读读数±0.2％fs）5. lcd大屏幕，动态数字同时显示质量流量、量、体积流量、温度和绝压6. rs-232或模拟信号输出7. 安装位置不敏感8. 现场可选30种校验气体

差压原理与热式原理对照表

alicat差压原理和热式原理的对照表

指标	alicat层流差压式原理	典型热式原理
传感器	固态硅基差压传感器	rtd或热电偶
流量范围	满量程从0.5sccm到1500slpm	满量程从3sccm到1000slpm
响应时间	10毫秒(控制器100 毫秒)	0.3-3.0秒
显示屏	标准，内置	可选项，外部装配
预热时间	＜1秒	8-30分钟
累计流量	可选项，内置	可选项，外部装配
过程数据	内置显示屏显示质量流量、体积流量、在线温度和在线绝对压力	质量流量
输出选项	标准内置显示屏，模拟信号（0-5vdc,0-10vdc,1-5vdc或4-20ma）和标准rs232接口；可采用第二路模拟输出体积流量、温度或绝对压力	标准模拟输出，可选显示屏，可选数字输出
数字输出	标准输出包括质量流量、体积流量、在线温度、在线绝对压力、测量气体；可选累计流量；标准multi-dr-op rs232接口	可选质量流量数字输出；无multi-dr-op选项
供应电源	7-30vdc,35ma的标准ac/dc转换电源；可使用一个标准的9v电池包供电	特殊供应电源，正和负的稳定15vdc
过程连接	标准的npt或小巧的气动配件，可选sae,bspp等接头	特制swagelok?、vcr等
多种气体测量性	可从内置菜单选择30种标准气体	单一气体，需指定
固有线性	有	无
文件	内置显示屏显示型号数、连续号数、制造日期、校验技术员和软件版本、型号/连续号，签条也同样为标准的	产品的贴纸上

产品简介：

alicat气体质量流量计利用两个已研究透彻的气体物理属性：压力和粘性来测量流量。通过层状流量单元的差压测量来计算流量，这种测量方式具有固有的线性。采用差压、绝压和温度传感器来测量并补偿气体的压力、温度，测量标准状态（如1个大气压@25℃）下气体的体积流量。可测量4种参数：质量流量、体积流量、温度和绝压，可选累计流量，并且可以通过动态显示屏同时显示。可选电池使得该款产品方便携带，常用于测试和校准工具。另外提供用户定制满足您特殊需求。 alicat气体体积流量计采用差压传感器来测量当前状态下的体积流量。由于它没有内置绝压和温度传感器，价格会便宜一些，是相对于质量流量计的另一种选择。本地显示： alicat所有产品均提供本地显示标准功能（无显示产品可以用于oem）。质量流量控制器和体积流量控制器在主显示上均提供了不同的过程参数信息，用户通过按键可以选择主显示方式（main mode display）和所测的气体(30种校验气体)，调节pid参数，将测量流量清零等。

数字输出（rs-232）：所有的alicat产品均具有标准的rs-232输出。其信号通过8针圆形接头或6针工业连接头传输。使用alicat的rs-232输出或输入通讯串口无需特别软件。任何带有终端程序的设备，例如windows®操作系统里的“超级终端”，均可以使用我们的alicat产品。rs-232可以实现本地显示上的所有操作功能，例如：清零、更换校验气体、改变pid等。对于质量流量控制器，通过rs-232所显示的过程参数同其本地显示上数据是一致的。控制功能也与每个型号的本地显示控制模式一致（如右图所示）。体积流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“体积流量(volume)”上。所有的产品均可以根据用户的选择配置为流动模式或轮循模式。模拟输出：模拟信号通讯同样是由rs-232接口的8针圆形接头来提供。默认的模拟信号是0-5vdc，可选0-10vdc或4-20ma的输出信号。alicat质量流量控制器提供0-5vdc输出“质量流量”，同时提供一个模拟控制设定点的针脚。质量流量控制器通过“se-lect”（出现在本地控制设定模式中，如右上图所示）来控制设定点方式。可选第二路单独模拟输出“压力”、“温度”或“体积流量”。alicat体积流量控制器提供0-5vdc输出“体积流量”，同时提供一个模拟控制设定点的针脚。体积流量控制器通过“se-lect”（出现在本地控制设定模式中，参考右上图）来控制设定点方式。应用领域: 医药、工业、过程控制、实验室、oem、替换热式质量流量计、泄漏测试选项附件：1. 电气电缆 2. ac/dc 电源适配器 3. 特殊混合气体 4. 远程数字显示（rdd） 5. 用户化压降设置 6. 电池包（使测试仪器便携） 7. 多种独立的输出

该公司产品分类：压力真空仪表

气体质量流量控制器、杜瓦瓶、气瓶柜、通风柜、实验台西安

陕西欧迅机电科技有限公司是集科研、生产、贸易为一体的高新技术企业专业从事大宗气体管路输送及相关产品销售，业务包括管道工程咨询、设计、产品选型及施工安装为一体的交钥匙服务。公司配备GF+切管机、全自动轨道式管管焊机、平口/坡口机、不锈钢弯管机、去毛刺机等一大批高质量、高精密的进口管道施工设备，全自动轨道式管管焊机适用于焊接3mm-76mm外径的不锈钢薄壁管，管管自熔自动焊机采用全位置钨极氩弧焊单面焊双面成型的焊接方法，即管子固定，而焊炬（焊机）沿着管子均匀旋转一周的焊接方法，极大的提高了焊接的安全可靠性。相关员工凭借10年来的行业积淀和定期的专业培训，具有了丰富的实战经验，期待着为您提供专业、及时、优质的服务。我们可提供服务的行业包括高纯分析测试实验室、半导体、太阳能光伏、生物、制药、食品、乳品、酒厂、烟草、航空航天、压力容器、核电、造船等等。我公司提供高温真空管式炉、高温气氛式炉、马弗炉；扫描电镜；磁控溅射镀膜；超音速喷涂设备、等离子喷涂设备；真空扩散；纳微涂层；3D打印设备；焊燃料电池；X射线能谱仪等大型仪器的集中供气配气系统，至目前已为各科研机构配套多个项目，经验丰富。我司经销的产品有：钢瓶固定架、不锈钢减压器、黄铜减压器、不锈钢气体汇流排、黄铜汇流排、不锈钢自动切换面板装置、不锈钢背压阀、BA级不锈钢管内外抛光管、EP级不锈钢内外抛光管、不锈钢卡套式三通、不锈钢卡套直通接头、焊接三通、焊接变径、气体质量流量控制器、杜瓦瓶、气瓶柜、通风柜、实验台等。

该公司产品分类：五金

S48 300/HMT北京流量计厂家，气体流量计价格，质量流量计型号，气体质量流量控制器

技术指标

4.1 S48 300/HMT MFC技术指标

表1 S48 300/HMT数字流量控制器技术指标

编号	项目	S48 300/HMT
1	流量规格	（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10,20,30,50）L/min
2	调节阀类型	电磁调节阀
3	调节阀静止状态	常闭
4	安装角度	任意
5	流量控制范围	2%-100%F.S.
6	流量测量范围	0-100%F.S.
7	响应时间	≤ 1 sec
8	工作环境温度	5-50℃
9	精度保证温度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.（≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.）
11	线性精度	±0.5%F.S.
12	重复性	±0.2%F.S.
13	工作压差	-5L/min （50-300）kPa（D） 10L/min-30L/min （100-300）kPa（D） 50L/min （150-300）kPa（D）
14	耐压	3MPa（G）
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s（He）
16	接触气体材料	316L，Viton® 氟橡胶，PTFE
17	管路接头	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供电电源	±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA
19	设定信号	数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，输入阻抗＞10kΩ
20	流量输出信号	数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，负载能力≤3mA
21	通讯接口	数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围0-15
22	重量（kg）	0.9

S48 300/HMT质量流量控制器的特点

　　　☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。

　　　☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。

　　　☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。

　　　☆可任意角度安装。

　　　☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。

配合MT-50或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。

该公司产品分类：气体流量计显示仪电磁阀流量计/流量计控制器

DSN系列国产热式气体质量流量控制器

用途和特点

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于对气体的质量流量进行精密测量和

控制。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。

东莞德欣于对产品性能和生产工艺的不断改进，DSN质量流量控制器具有精度高、重

复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）

特点。操作使用方便，可任意位置安装，配合DSN2000流量显示仪或其他流量控制器显示仪

使用，也可直接同计算机实现RS-232 连接，非常方便的实现自动控制。它也可以作为气体质

量流量计使用。配合DSN2000流量显示仪对气体的瞬时流量和累积流量进行精确测量和控制。

主要技术指标:

型号DSN

序号	项目	内容
		DSN—①	DSN—②
１	流量范围	0～5，10，20，30，50，100，200，300，500 SCCM； 0～1，2，3，5，10 ,20,30SLM;
2	度（%FS）	±2%FS	±1%FS
3	线性(%FS)	±(0.5～2)%F.S	±(0.5～1)%FS
4	重复精度(%FS)	±0.2%FS
5	响应时间(sec)	电特性：＜10；气特性：＜1～4
6	工作压差范围（MPa）	0.05～0.3
7	耐压（MPa）	3，10
8	工作环境温度（℃）	5～45
9	输入输出信号电压	0～+5.00V
10	电源	+15V 500mA，－15V 500mA（输入阻抗大于100K，输出电流不大于3mA）
11	外形尺寸（mm）	130＊28＊121
12	重量约（kg）	1.0

Compact气体质量流量控制器热质式

应用范围：分析仪器/表面涂装处理/半导体制造热处理/雷射焊接/燃烧室喷嘴/燃料电池/发酵槽/机械生产制造/气体生产设备/气压缩设备/实验室设备

技术指标：

显示方式：4-Digital LCD 液晶显示；长条图形显示

显示单位：可测气体,空气,氧气,氮气,氦气,氩气,二氧化碳,甲烷,丙烷,麻醉性气体笑气,六氟化硫,丙烯,一氧化碳,丁烯…..等

度：+/-1% FS

满刻度重设比例：1：50

反应时间：500ms 精度优于 99%

电源供应：锂电池Type AA,电池寿命约2 年选配：外接VDC24V,+/-10%

操作压力：10bar high on request

操作温度：0 - 50℃

材质：铝合金材质选配：不绣钢抛光材质/Flow element PBT 工程塑料

轴封材质：Viton 选配：EPDM

IP 等级：IP50 / Panel mount IP65

符合德国EMC 安全规范：EN50081,EN50082

测量范围：

Code	Range air	connection	Code	Range air	connection
A4	4-200ml/min	G1/4”	C4	0.4-20l/min	G1/4”
A5	10-500ml/min	G1/4”	C5	1-50l/min	G1/4”
B4	40-2000ml/min	G1/4”	D3	2-100l/min	G1/2”
B5	100-5000ml/min	G1/4”	D4	4-200l/min	G1/2”

MCALICAT气体质量流量控制器

一、ALICAT气体质量流量控制器测量原理图

二、ALICAT气体质量流量控制器产品特点

1、50毫内完成稳定的控制响应

准确、稳定的流量取决于控制响应速度，艾里卡特®质量流量控制器50毫内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定！

2、操作便捷

? 50-100毫控制响应

? 允许用户自行调节PID以获得良好的速度和稳定性

? 定制化阀门孔径以满量程流量的稳定性

? 同一台设备控制质量流量、体积流量或绝对压力

? 瞬间启动、无需预热：1内即可开始流量控制

三、ALICAT气体质量流量控制器产品系列

MC 标准系列

全球控制响应快、稳定的流量控制器。

MCR 大流量系列

准确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特®R系列阀门为全球无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。

MCW / MCRW 低压损系列

限度减小压损对系统的影响，满量程压损低仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力MCS / MCRS 耐腐蚀系列

所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。点击这里了解更多关于耐腐蚀系列

MCE / MCV 半导体行业用系列

可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀，门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 点击这里了解更多关于半导体行业用系列

MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列

双向质量流量控制器，可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防蚀型MCDS系列。点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列

四、ALICAT气体质量流量控制器性能参数

指标	质量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）
重复性	±0.2%
量程比	200:1
响应时间	100ms
标准状态(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
温度范围	-10～50
零点漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
湿度范围	0-100%
测量流量范围	128％（过流率）
大耐压	145psi
输出信号（数字）	质量流量、体积流量、绝对压力和温度
数字信号可选	RS485，Modbus，Profibus
输出信号（模拟）	质量流量、体积流量、绝对压力和温度
模拟信号可选	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
电气连接	8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）
供电电压	7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）
供电电流	0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）

该公司产品分类：温度仪表 ALICAT液体流量计涡轮流量计电磁流量计液体质量流量控制器液体质量流量计气体质量流量控制器气体质量流量计管阀件分析测试仪表压力仪表流量仪表

MC型气体质量流量控制器

一、产品概述：

该层状流量控制器采用了一个比例阀，它与流量计部分相连。测量是在流量计的层状区域进行的，并且一体化的PID控制器按照用户的可编程设定点定位阀门。这些坚固的、闭环控制器可以接收0-5V的控制设置点信号，设置点信号或者来自一台外部的设备，或者来自一台可选的Alicat本地设定点模块（LSPM）。

控制器还能接受RS-232，0-10Vdc，或4-20mA控制输入信号，这取决于用户的选择爱好。与设定点电压无关的是，控制器能配置为单路或双路信号输出，它们可以是同样的或不同的电压或参数，例如质量流量和温度或流量和压力。这是因为我们的质量流量控制器综合了固态的差压、绝压和温度传感器来计算流量。因此，流量计不仅使用简单而且响应快，同时具有固有的线性和能够显示和变送多个过程参数。有了RS-232数字连接，不仅所有的过程参数可以同时获得而且还具有远程设置点能力。

在并行连接中，最多26台设备能被单独寻址和控制。气体量程从每分钟0.5毫升满量程到每分钟1500+升满量程。规格尺寸标注在设备背面，规格尺寸随着工况的不同可能有所不同。（体积流量计不需要绝压传感器或离散温度传感器，因此会便宜些。他们常用于通风到大气或小的背压应用。）

二、流量控制器的性 1. 压力，温度，体积和质量流量的持续显示（M系列） 2. 简易的按键操作界面 3. 无热线圈的热漂移 4. 固有的线性 5. 通过CE认证 6. 可标注用户商标 7. NIST Traceability 8. 设定点可通过动态数字显示 9. RS232串行输出标准

三、设计特点 1. 满量程从0.5CCM到1500LPM+ 2. 响应时间100ms 3. 量程比优于100：1 4. 位置不敏感 5. 自动复位或在显示屏上按复位键（Tare）复位 6. ±0.8%读数±0.2%满量程（高精度选项±0.4%读数±0.2%满量程） 7. 17种气体选择，无须重新校验（须带显示） 8. 动态数字显示 9. 本地控制能力

产品规格	MC	测量单位
量程范围	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800	(S)CCM
量程范围	1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500	(S)LPM
精度等级	±0.8%读数±0.2%满量程（高精度选项±0.4%读数±0.2%满量程）	满量程
重复性	±0.5%	满量程
量程比	100：1
响应时间	100	毫秒
压降	-	与厂家商议
操作温度	-10～50	℃
零点漂移	0.02%/ATM	满量程/℃
范围漂移	0.02%/ATM	满量程/℃
湿度量程	0-100%	无冷凝
过流率	2.4%	满量程
最大耐压	125	PSIG
供应电流	当流量≤20LPM时： 0.25 当流量≥50LPM时： 1	安培
电源电压	当流量≤20LPM时：12-25VDC 当流量≥50LPM时：24-30VDC
输入/输出	0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232	VDC
电气连接	8针或可选的工业连接插头	小型圆插头 DIN
机械连接	1/8"接口：流量≤20(S)LPM 阀门侧1/2"接口，流量计侧1/4"接口：当流量为50(S)LPM和100(S)LPM时 1/2"接口：当流量为250～1000(S)LPM 1"接口：当流量＞1000(S)LPM	NPTF
接液部件	303和302不锈钢，Viton®，RTV硅树脂，玻璃纤维增强尼龙，阳极氧化铝，410&304不锈钢，镍，铜，Delrin®，Loctite®粘剂326，401，609

产品尺寸：

流量范围	高度	长度	深度	流量计接口	阀门接口
≤20（S）LPM	4.08"	3.5"	1.56"	1/8" NPT(F)	1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM	4.600"	～5.7"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM	4.727"	～6.6"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM	5.242"	～6.6"	2.0"	1/2" NPT(F)	1/2" NPT(F)

注意事项：特别低的流量装置可能配有特殊接口以减少死区量。有时候，特殊的流量/压力条件可能规定各种接口尺寸的组合。