气体质量流量控制器

 一、 产品概述

采用关键矽微机械加工技术的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS（ Microelectromechanical systems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。

该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。

 

 二技术参数（本产品按Q/320500HH009-2014进行生产、校验）

2.1  测量介质：各种气体（乙炔气和混合气体除外）

2.2   流量范围：   DN3   100-1000mL/min

                      DN4    250-2500mL/min

                      DN6    1000-10000mL/min

                      DN8    1500-15000mL/min  

      DN10   2500-25000mL/min             

                注：(a)以上流量的测量介质为空气而言；

(b)以上流量的标准状态20℃，101.325kPa。

2.3   流量测量准确度：±1.5%FS

2.4   工作温度范围：0-55℃；

2.5   工作压力范围：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

2.6   供电电源：24VDC±10%；

2.7   输出信号：4-20mA，RS485通讯；

2.8   环境温度：0-55℃；

2.9   显示位数：瞬时流量为三位，累积流量10位。

 

该公司产品分类： 金属转子流量计 磁翻柱液位计 玻璃转子流量计 热式气体质量流量计 气体质量流量控制器

气体质量流量控制器 型号:BHBL6-S49-300/MT 数 字 式

气体质量流量控制器 型号:BHBL6-S49-300/MT 数 字 式货号:
一、产品主要特点:本产品可自动测控气体质量流量。不受温度和压力的限制，度高、重复性好标准电信号输入输出，可测控瞬间和累计流量。适用于各种介质，可替代同类进口产品，除此以外，还具有以下特点： 1、采用当今的40MHz高速主频、32位ARM系列单片机做数字处理控制。数字化处理的测量线性、精度，及实时动态控制等。响应速度做到了2秒。 2、12位精度、采样速率高达1MSPS的AD/DA转换。 3、RS232/485串口，Modbus协议，与上位机通讯简单方便。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。 4、结构主体采用不锈钢（316L）材料，气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。5、耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。6、具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定。可任意位置安装。 7、兼容模拟电气操作控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。 二、主要技术指标 表1、硬件性能 项目\型号 S49-300/MT S49-300A/MT 1 流量范围 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM;0~1,2,3,5,10,15,20SLM2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止状态 常闭（设定<2% F.S） 4 度 ±1%F.S10SCCM~10SLM规格，其余规格≤±2% F.S。精度范围10%~100% F.S 5 线性 ±0.5~1.5%F.S 6 重复精度 ±0.2%F.S 7 响应时间 2Sec 8 工作压差范围 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa10~30SLM 9 耐压 3MPa; 10MPa 10 工作环境温度（℃） 5~45 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton®， EPDM， 或其他由用户指定 13 漏率 ＜2×10-9mbar.l/s He 14 接头 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定 15 输入输出信号 模拟0~＋5.00V 输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA数字RS232/RS485串口，Modbus RTU 协议 16 供电电源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外型尺寸（mm） 123×111×28 18 重量（kg） 0.7 产品图片

　

   

INHA气体质量流量控制器

 

私人定制 该产品为定制产品，中外合作，价格需电议，厂家直销仁荷微电子科技有限公司主要从事质量流量器的研制、开发、制造、销售以及质量流量器各种配件模具的设计、加工等相关的服务。产品包括超高质量的气体质量流量控制仪器及测量仪器、气体工艺解决方案和全球服务支持方案。本公司产品气体质量流量控制器广泛应用于工业气体、石油、化工、医疗、电子及微电子、半导体、太阳能光伏、各类实验室、研究所、生物医药、标准检测等各类高新技术领域，为客户提供各种气体管道输送系统的全面服务。深受广大客户的肯定及认同。

我公司生产的气体质量流量控制器所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请 ,气体质量流量控制器每一个部件我们都以精益求精的质量服务广大客户，让客户体验到自动化流量控制设备带来的改变，为现有的产品技术升级提供基础服务。 致力于为客户开发“生产工艺最优化和成本化”的解决方案及相关产品。并且能够提供高效优质的售后服务。

产品优势：本公司自主开发研制的产品质量流量计，是一种先进的智能精密质量流量测量仪表。可直接用来测量管道中介质的质量流量及总量、体积流量及总量、介质的密度、温度、溶液的浓度以及较均匀混合的两种液体各自的浓度等参数。 该流量计即使在恶劣的工作环境下也能表现出优异的性能。对工况条件也没有苛刻的要求。具有抗干扰能力强，测量精度高、量程比大、工作稳定可靠、对安装要求低、对流体状态要求低，压力损失小等优点，且易清洗、具备自排空功能；其基本技术指标已达到国际先进水平， 每台传感器都由不锈钢材料制造，变送器的多种输出能满足您的各种需求。我公司生产的产品所使用的技术全由我们独家技术，具有自主知识产权，产品的每一个部件都有我们自己设计制作，且已取得了多项技术专利申请MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200MMF产品系列特点：有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10Mpa;本产品可以使用多种气体介质（包括一些腐蚀性气体等等）；有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达0~10sccm，最大流量范围可达0~30slpm。流量控制范围是满量程的2~100%（量程比为50:1）。——耐高压（最大工作压力可达100bar）——响应时间快≤1sec——模拟输入输出接口（0-5Vdc或4-20mA可选）——连接尺寸与其他标准质量流量器兼容——尺寸小——连接方便，快拆快拧——交货周期短——优惠的价格极具性价比——准确率高——稳定的流量控制——压力范围广

用途和特点气体质量流量控制器（MFC）在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺设备，如：氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。结构

气体质量流量计由流量传感器（Sensor），分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。工作原理•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量（无需温度压力补偿）。•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。•分流器决定主通道的流量。•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）%F.S（程比为50：1）

主要技术指标

编号 项目 MF-200C MF-200M1 流量规格（N2） 10sccm～30slpm 2 准确度 ±1％F.S(Full Scale)3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）5 耐压 ≤90bar6 工作环境温度 0℃～50℃7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA8 供电 +15Vdc or +24Vdc   350mA9 漏率 1×10atm.cc/sec10 使用范围 2～100％满量程

 
该公司产品分类： 流量显示控制仪表 INHA气体质量流量控制器 气体质量流量控制器

MPC气体质量流量控制器

品牌:日本山武Yamatake（创立于1906年）  型号:MPC系列    类型:气体质量流量控制器  测量范围:2ML—20L/MIN  精度等级:1—2%FS以下 适用介质:空气/氮气/氧气/氩气/CO2模拟信号：0-5V、1-5V工作压力:0.5（MPa）  工作温度:-10 到 +60（℃）

  盘装面板式质量流量控制器MPC系列是本公司独自开发的超高速响应流速传感器。集MicroFlow传感器、超小型比例电磁阀、新方式的流路和高度的执行器技术于一体，可安装在仪表盘上的质量流量控制器。  特点： 1：全球面板式安装气体流量计；世界最小、最轻的质量流量控制器（面板尺寸48*48mm，深73.7MM；最轻300公克） 2：盘式结构，LED数字显示，产品面板上有可调节各种功能的按钮，极其容易操作;通讯功能RS-485 3：带有RS-485通讯，能于其他外部设备实现通讯4：采用了感热式质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的精确测量5：响应速度高速1秒以内，高精度1—2%FS以下的流量控制

详细型号和资料欢迎来电咨询柯勇 13122347382邮箱：keyong0519@163.comQQ：717563143

C50热式气体质量流量控制器氮气流量计氩气流量计

 概要

 

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行精密测量和控制。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。

本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。

MFC出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)，SLM (标准升/分)

标准状态规定为：温度－－-273.15 K（0℃），气压—-101325 Pa（760mm Hg）

F.S.（Full Scale）：满量程值

 

产品特点

 

本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可通过模拟/数字信号转换器（AD/DA转换器）配合计算机使用。

 

流量规格(N2标定)

 

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～30SLM范围内任选，例如123SCCM。

 

输入输出信号

 

0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)

应用行业

 

化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。

 

质保与服务

 

我公司承诺对产品的质保期为叁年。在您收货后叁年以内，如果按照说明书要求使用，遵守安全注意事项，并且产品没有被损毁、改装或翻新，若有任何故障和问题，我公司负责免费维修或更换新品。

在保修期外，我们提供终身维修和维护服务，但适当收取维修和维护的成本费。维修和维护后，维修部分的质保期为壹年。

我公司有专业的售后工程师可以帮助您解决关于安装和使用等各方面的问题，并且提供产品的使用培训。

产品规格
流量规格(N2标定) 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量规格(N2标定) 0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
调节阀类型 常闭式
量程比 (2～100)％F.S. 或50:1
流量分辨率 0.1％F.S.
准确度 ±1％F.S. (≤15SLM)
准确度 ±2％F.S. (＞15SLM)
线性 ±0.5％F.S. (≤15SLM)
线性 ±2％F.S. (＞15SLM)
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤2sec
工作压差范围 0.1～0.5MPa (≤10SLM)
工作压差范围 0.1～0.3MPa (＞10SLM)
最大耐压 3MPa
工作环境温度 5～45℃
电缆接头 DB15pin(针形)
输入输出信号 0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)
供电电源要求 +15VDC(50mA),-15VDC(200mA)
对外单点泄漏率 ≤1×10-9Pa·m3/S(He)
介质接触材质 316，316L，密封填料
   
管道接头尺寸 VCR型接头：1/4”
管道接头尺寸 双卡套型接头：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸 长×宽×高：127×30×100 mm
净重量 0.88kg
该公司产品分类： 不锈钢管 显微镜 流量仪表

EL-FLOW® 实验室型气体质量流量控制器

EL-FLOW®系列质量流量控制器是一款高科技代表的产品，能测量控制流量范围：0..1 mln/min 到 0..1250 ln/min，最大操作压力达到400 bar。

Bronkhorst Hi-Tec EL-FLOW®系列仪表性能表现：

  • 精度
  • 稳定性
  • 实用性
  • 品质

技术应用：

  • 模块化结构
  • 电化学抛光
  • SMT表面贴装工艺
  • 噪声信号抑制
  • 自动温度补偿
  • 内部电压调整

控制阀被设计成模块化结构，可以方便地更换，Kv值为1.5。获得专利保护的独特结构设计，能适应大流量及高差压的控制，这是的产品。

应用

  • 实验室的实验装置
  • 在食品、化学和石化工业中的过程控制
  • 发酵和生物化学
  • 质量控制和泄露侦测系统
  • 气体混合控制和环境控制
  • 燃烧控制
  • 半导体制造
  • 表面处理装置

流量范围表(空气) 

F-200C min. 0,02 ... 1 mln/min
 max. 0,2 ... 10 mln/min
F-201C  min. 0,2 ... 10 mln/min
 max. 0,3 ... 15 ln/min
F-201AC min. 0,2 ... 10 ln/min
 max. 1,4 ... 70 ln/min
F-202AC  min. 0,5 ... 25 ln/min
 max. 5 ... 250 ln/min
F-203AC  min. 2 ... 100 ln/min
 max. 25 ... 1250 ln/min
F-232M  min. 0,2 ... 10 mln/min
 max. 2 ... 100 ln/min

气体质量流量控制器

工作原理：

  被测气体分别流经两个层流区，一路通过主流量管道，另一路通过毛细测量管。

  两个管路的设计保证流体处于层流状态，因此两个管路流量比是恒定的。

  两个精密的温度感应绕组在测量管上被加热，当有流量产生时，被加热的气体从上游带走热量到下游的感应绕组上。产生温差和感应圈电阻的变化是成比例的。

  测量绕组的电阻值与瞬时流量成线性比例关系，采用惠斯顿电桥来检测测量绕组的电阻变化。

  根据被测气体的质量流量，输出0-5VDC或者4-20mA信号。

  经过两个层流区的气体混合后流过具体特定孔径的电磁比例阀，质量流量测量与电磁比例阀组成闭环的控制系统，使流量稳定在设定的流量值上。

  在一定范围内温度和压力的变化不会影响流速。参数规格：

  产品名称：气体质量流量控制器  精度：  精度%FS

          型号  GFC17,37，47      GFC57,67,77

          流量范围 0-100%     20-100%   0-20%

          精度    ±1%        ±1.5%   ±3%

 

          可选精度%FS

          型号  GFC17         GFC37，47,57,67,77

          流量范围 0-100%     20-100%   0-20%

          精度    ±1%        ±1%      REF DATA with ±1%

  校准：标况【14.7psia（101.4kpa），70℉（21.1℃）】

  重复性：±0.25%满里程、

  响应时间：在满里程的25-100%范围内，2秒内达到2%精度

  温度系数：0.05%满里程/℃

  压力系数：0.01%满里程/psi（0.07bar）

  推荐气体压力：25psig（1.73bars）

  最大气体压力：GFC17,37,47最大1000psi（70bars）.GFC57,67，77最大500psig（34.5bars）

  量程比：40:1

  最大压差：GFC17/37/57/67/77 50psi（3.4bars），GFC47 40psi（2.7bars）

  气体和周围温度：32℉-122℉（0℃-50℃），14℉-122℉（-10℃-50℃），干燥气体

  方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置

  输出信号：线性0-5Vdc（3000ohms最小负载阻抗）；线性4-20mA（500ohms最大回路电阻）最大噪声±20mV

  控制信号：远程设定模式：模拟0-5Vdc或4-20mA；NPN兼容清洗/关阀

  连接：GFC17and37：1/4＂卡套连接 

                     可选6mm，1/4VCR，3/8或1/8卡套

        GFC47：3/8＂卡套

        GFC57：3/8＂卡套

        GFC67：1/2＂卡套

        GFC77：3/4＂FNPT.可选：3/4＂卡套

  泄漏率：氦气泄漏率1*10­9sml/s

  输入电源：+12Vdc，800mA；可选+24Vdc，650mA

  回路保护：电路板内置极性保护，自动恢复电阻保护电源过载输入

  显示：3-1/2数字LCD，0.5＂英寸高字符

  CE认证：EN55011class1,classB;EN50082-1产品视频：

该公司产品分类： 配气系统 压力开关 压力开关 流量控制器 蠕动泵 泵 步进电动阀 流量调节阀 流量调节阀 气体流量计 流量计 质量流量控制器 转子流量计/浮子流量计 质量流量计 流量控制器 流量计

气体质量流量控制器

气体质量流量控制器

产品特点：1.          满量程从0.5ccm到1500lpm2.          响应时间10ms3.          量程比优于100：14.          精度±0.8％读数±0.2％满量程（可选±0.4％读数±0.2％满量程）5.          本地显示、rs-232或模拟信号输出质量流量、体积流量、温度和绝压6.          自动复位或在显示屏上按键复位7.          安装位置不敏感8.    现场可选30种校验气体差压原理与热式原理对照表

产品简介：

alicat气体质量流量计利用两个已研究透彻的气体物理属性：压力和粘性来测量流量。通过层状流量单元的差压测量来计算流量，这种测量方式具有固有的线性。采用差压、绝压和温度传感器来测量并补偿气体的压力、温度，测量标准状态（如1个大气压@25℃）下气体的体积流量。可测量4种参数：质量流量、体积流量、温度和绝压，可选累计流量，并且可以通过动态显示屏同时显示。可选电池使得该款产品方便携带，常用于测试和校准工具。另外提供用户定制满足您特殊需求。    alicat气体体积流量计采用差压传感器来测量当前状态下的体积流量。由于它没有内置绝压和温度传感器，价格会便宜一些，是相对于质量流量计的另一种选择。本地显示：    alicat所有产品均提供本地显示标准功能（无显示产品可以用于oem）。质量流量控制器和体积流量控制器在主显示上均提供了不同的过程参数信息，用户通过按键可以选择主显示方式（main mode display）和所测的气体(30种校验气体)，调节pid参数，将测量流量清零等。

 

  数字输出（rs-232）：    所有的alicat产品均具有标准的rs-232输出。其信号通过8针圆形接头或6针工业连接头传输。使用alicat的rs-232输出或输入通讯串口无需特别软件。任何带有终端程序的设备，例如windows®操作系统里的“超级终端”，均可以使用我们的alicat产品。rs-232可以实现本地显示上的所有操作功能，例如：清零、更换校验气体、改变pid等。     对于质量流量控制器，通过rs-232所显示的过程参数同其本地显示上数据是一致的。控制功能也与每个型号的本地显示控制模式一致（如右图所示）。体积流量控制器的控制功能 (loop)只定位在“体积流量(volume)”上。 所有的产品均可以根据用户的选择配置为流动模式或轮循模式。模拟输出：    模拟信号通讯同样是由rs-232接口的8针圆形接头来提供。默认的模拟信号是0-5vdc，可选0-10vdc或4-20ma的输出信号。alicat质量流量控制器提供0-5vdc输出“质量流量”，同时提供一个模拟控制设定点的针脚。质量流量控制器通过“se-lect”（出现在本地控制设定模式中，如右上图所示）来控制设定点方式。可选第二路单独模拟输出“压力”、“温度”或“体积流量”。alicat体积流量控制器提供0-5vdc输出“体积流量”，同时提供一个模拟控制设定点的针脚。体积流量控制器通过“se-lect”（出现在本地控制设定模式中，参考右上图）来控制设定点方式。应用领域:      医药、工业、过程控制、实验室、oem、替换热式质量流量计、泄漏测试选项附件：1. 电气电缆 2. ac/dc 电源适配器 3. 特殊混合气体 4. 远程数字显示（rdd） 5. 用户化压降设置 6. 电池包（使测试仪器便携） 7. 多种独立的输出

v

微小气体质量流量控制器，厂家直销高精度高稳定性快速响应价格优，欢迎新老客户来电咨询！

 LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
　　可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
　　产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
　　o模拟式热质式流量计/流量控制器：
　　低单价
　　环境温度补正
　　可应用的流率范围广：
　　0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
　　0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
　　高精度
　　±1%(≤15SLM)
　　±1.5%(＞15SLM.)
　　可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
　　国际兼容
　　气体质量流量用氮气(N2)标定。
　　标准状态规定为：
　　标准温度………………0℃（273.15K）
　　标准压强………………101325Pa
功能 流量计/控制器
基本型号  LF400-S
满量程流量范围(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
  SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
  ±1.5(＞15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(％F.S.) ±0.5～1(≤15SLM)
  ±1.5％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0-+5.00V
流量设定信号 0-+5.00V
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5～45
工作压差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
最大耐压 3MPa
介质接触材质 304，316，316L
密封材料 氟橡胶，硅橡胶，丁氰橡胶，聚四氟乙烯
接头 VCR " 1/4、1/2
  Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求 +15V,50mA;-15V,200mA
重量 1.0KG  
该公司产品分类： 气路配件 混气系统 质量流量控制器

M3030V小流量气体质量流量控制器M3030V

Normal 0 7.8 磅 0 2 MicrosoftInternetExplorer4

小流量气体质量流量控制器M3030V

 

气体质量流量控制器M3030V，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制器M3030V是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。

 

小流量气体质量流量控制器M3030V产品亮点：
-类    型：MFC气体质量流量控制器

-控制范围：10sccm ～ 30slpm （sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分） 

-准度等级: ±1% F.S

-耐    压：≤90bar

-标准接口：0-5VDC，4-20mA可选

-响应时间：≤2sec

-使用范围：2~100% for max range

-供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma

-漏    率：1×10-9atm·cc/sec

-气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR
-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）

-无需温度、压力补偿
 

小流量气体质量流量控制器M3030V

产品型号

 M3030V

 M3030A
  流量范围 （N2）

  10sccm ～ 30slpm

 10sccm ～ 30slpm
  响应时间

  ≤2秒

   ≤2秒
  准确度

   ≤±1% 满量程

   ≤±1% 满量程
 重复精度

   ≤±0.25% 满量程

  ≤±0.25% 满量程
 输出输入信号

  0~5Vdc

   0~5Vdc或4~20毫安
  供电

  +15~+28Vdc，350毫安

   +15~+28Vdc，350毫安
  耐压

  ≤90 bar

  ≤90 bar
 工作环境温度

   0~50 °C

   0~50 °C
 
 

应用领域：－分析仪器     －干刻（RIE/DRIE）     －燃料电池－生物技术     －气相色谱分析         －等离子刻蚀－激光焊机     －混气配气系统         －微反应装置－真空镀膜     －过程自动化           －石化工业

该公司产品分类： PM2.5传感器 空气质量传感器 氢气泄漏检测传感器HLS-440 VOC空气质量传感器 iAQ-engine
  • 共26条共3页
  • 1
  • 2
  • 3

    • 最新产品

    热门仪器： 液相色谱仪 气相色谱仪 原子荧光光谱仪 可见分光光度计 液质联用仪 压力试验机 酸度计（PH计） 离心机 高速离心机 冷冻离心机 生物显微镜 金相显微镜 标准物质 生物试剂