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缺陷分析－超声波扫描显微镜（ＳＡＭ）

声学显微镜，学名是：扫描声学显微镜Scanning Acoustic Microscope，简称SAM。它是基于声波脉冲反射和透射原理工作的，只要声波信号在样品表面或者内部遇到声波阻抗（如遇到孔隙、气泡等），就会发生反射。

SAM主要用于材料浅表层结构分析、材料力学性能的检测、无损检测等。

A、杂质颗粒、夹杂物、沉淀物等

B、裂纹

C、分层缺陷、附着物以及其他夹杂物

D、空洞、气泡、空隙等

SAM与X-RAY的主要区别

	SAM	X-RAY
成像模式	反射模式和穿透模式	穿透模式
原理	声波脉冲反射和透射	基于材料密度的差异
材料的穿透性	密集和疏松的固体都能	金属材料穿透较差
对空气的敏感性	空气能阻断超声波传输，确定焊接层、粘接层、填充层、涂镀层、结合层的完整是SAM独特的性能	对空气不是非常敏感，裂纹虚焊等不能被观测到
材料的无损性	使用于MHz超声波，不会产生气穴，完全无损	较长时间检测，可能会产生损坏和随机的电子错误
所得图像	可以分层展现材料内部一层一层的图像	整个样品厚度的一个合成图像

仪器简介：德国KSI-SAM

一、1990年，世界上第一个做出频率超过GHz的超1990年，世界上第一个做出频率超过GHz的超声波扫描显微镜，到目前为

止，其他同类仪器公司只能做到200MHz 左右；

二，1991年，世界上第一个在超声波显微镜中做出GHz V（z）, V（f）定量测量系统；

三，1996年，推出世界上第一台数字超声波显微镜；

四，1998年，世界上第一个做出带有球面透镜的超声波换能器；

五，2002年，世界上第一个在超声波显微镜上实现材料阻抗测量；

六，2004年，世界上第一个在超声波显微镜扫描控制平台中采用空气垫悬浮线性马达驱动的超高精度X-Y扫描系统；

七，2004年，世界上第一个实现超声波显微镜自动对焦系统，并受到专利保护；

八，2004年，世界上第一个实现多探头同时扫描大件样品的超声波显微镜系统，并受到专利保护。

该公司产品分类：表面微区分析应力分析缺陷分析形貌分析结构分析成分分析元素分析

VEGA 3 Easyprobe扫描电镜能谱一体机，一体机扫描显微镜，能谱扫描电镜

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广州高测仪器有限公司专业代理泰思肯（美国）品牌的扫描电子显微镜（简称电镜），我们做的产品类别有：场发射扫描电镜，钨灯丝扫描电镜，大样品室扫描电镜，超级聚焦离子束扫描电镜，场发射电子显微镜，钨灯丝扫描电子显微镜，离子束电子显微镜，透射显微镜，透射电镜，透射扫描电镜，矿物分析扫描电镜，扫描电镜（SEM）,有拉曼式生物显微镜，我们还有各种齐全的电镜耗材，欢迎大家前来咨询！

泰思肯（美国）品牌是目前最先进的电镜厂家，我们都是原装进口的产品，能很好帮助用户解决所需问题，不但口碑好，还是质量好，高效节能，操作方便。

扫描电镜能谱一体机，一体机扫描显微镜，能谱扫描电镜扫描电镜能谱一体机仪器简介：

VEGA 3 EasyProbe可分为高真空型和可变真空型，其运用的领域非常广泛，适合各类高等院校或公司选择。EasyProbe是SEM/EDS一体化机型，实现了One-Touch式的操作，使得操作非常简单，甚至没有经验的人员也可以在一天内学会操作。此外，EasyProbe可以说是性价比最高的一款SEM/EDS一体机，软件配置完整，硬件延续原有的VEGA并得到进一步发展，是值得信赖的一款SEM/EDS一体机。

扫描电镜能谱一体机，一体机扫描显微镜，能谱扫描电镜扫描电镜能谱一体机主要特点： VEGA 3 Easyprobe是一款扫描电镜和能谱一体化操作的设备，设备可以触摸屏进行控制和操作，具有所有图像操作和处理功能以及一键式EDX分析工具栏。当一键式EDX工具被激活时，系统显示实时SEM图片上选定区域的定量分析结果。

系统根据用户的技能水平可分为3个等级对电镜进行控制。电镜的所有功能都由触摸屏或键盘，鼠标和轨迹球或者选配的控制台通过Window™平台上的VegaTC软件控制。

KYKY-EM6900电子扫描显微镜KYKY-EM6900

KYKY-EM6900扫描电镜主要参数

1.电子光学系统

（1）电子枪：发叉结构钨丝阴极；

（2）分辨率：二次电子像分辨率优于 3.0nm（30KV）；

（3）放大倍率：8×～300,000×；

（4）加速电压：0 V～30kV，连续可调；

（5）自动功能包括：自动电子枪加热、自动对中、自动加束流、自动加偏压、自动聚焦&消像散、自动象散记忆、自动对比度、自动亮度，实现一键看像功能，自动故障检测、自动校正等；

2.样品室和样品台

（1）样品台：五轴高精密样品台。

X移动方向不低于80mm，Y轴移动方向不低于60mm，Z轴移动方向不低于50mm，倾斜范围为-5°～ +90° ，旋转方向为 360°；

（2）可放置最大样品尺寸：直径110mm；

3.真空系统

涡轮分子泵和机械泵，可保持设备长期的高分辨；

KYKY-EM6900 SEM major parameters

1.electron-optical system

（1）electron gun ：Hair fork structure tungsten cathode；

（2）Resolution： Secondary electron as resolution better than 3.0nm（30KV）；

（3）Magnification：8×～300,000×；

（4）Acceleration voltage：0 V～30kV，continuously adjustable；

（5）automatic function include ：Automatic heat gun、automatic centering、automatic beam 、automatic bias、automatic focus &stigmatic、Astigmatic memory automatically、Auto Contrast 、Auto Brightness ，achieve a key to look at the view ，Automatic Fault Detection、Automatic correction etc.

2.Sample room ａnd samples

（1）stage：Five-axis high precision samples stage 。

Not less than 80 mm X direction，Not less than 60 mm Y direction，Not less than 50 mm Z direction，Tilt Margin -5°～ +90° ，direction of rotation 360°；

（2）Can place the largest sample size：diameter 110mm；

3.Vacuum system

Turbo molecular pump ａnd mechanical pump，Can keep the equipment of high resolution for a long time；

该公司产品分类： Itaca三坐标三维激光扫描仪扫描电子显微镜 RAM 系列 OGP系列 CCP系列 View 系列

厂家直供专业扫描显微镜，西藏自治区扫描显微镜货源

科视达自成立起一直专注C-SAMx3c198an、德国PVA显微镜等产品生产，公司拥有多条超声波扫描显微镜、超声扫描检测生产线，目前已成为超声扫描显微镜行业整套解决方案服务商。

超声扫描显微镜产品基本资料如下：产品名称：扫描显微镜；品牌商标：科视达；价格：1；售后服务：优质；德国PVA显微镜产品详细说明：超声波扫描显微镜的工作原理、基本工作流程及主要用途超声波扫描显微镜工作原理：超声波是一种机械波，其传播方式是通过介质中的分子振动来传递的，因此超声波对于分子被测材料有密切的关系，材料的密度越大，超声波传播的速度越高，反之，材料的密度越小，声波的传播速度越低。因此超声波检测用被广泛用于电子元器件和材料的质量控制与检测，实现非破坏性的无损检测。仪器使用时将带有聚焦功能的高频超声波换能器安装在扫描控制系统上，在软件界面，选用不同扫描模式，通过逐点扫描的方式，检测材料内部，经过超声发射，（DPR 信号发生器接收及ADC卡电子信号采集与处理，从而在工控机屏幕上形成一个试件内部结构的显微图像。再通过控制系统，放大显微成像后传输到显视器，从而观察材料内部结构的情况，挑选出内部有缺陷的试件。超声波扫描显微镜基本工作流程：1）将被测试件放入工作水槽内；2）将带有聚焦功能的高频超声波换能器安装在扫描控制系统上，在软件界面，选用不同扫描模式，通过逐点扫描的方式，检测材料内部，经过超声发射，接收及电子信号处理，从而形成一个试件内部结构的显微图像，目前最高分辨率可大到微米级。3）通过接受内部波形的门限选择，像CT一样，对被测试件的内部结构进行断层扫描；4）通过高性能的专用工控机的大屏幕显示器显示出每一层测试结果的显微图像，从而挑选出内部有缺陷的试件；5）针对不同被测试件，更换不同频率和焦距的换能器进行测试超声波扫描显微镜主要功能：可检测并分析元器件和材料内部是否有裂纹，空洞，气泡，夹杂物，附着物，分层缺陷等。对X-ray，电镜不能分辨的裂纹及封装技术研发过程中粘接层、填充层、涂镀层、结合层通过无损扫描进行分析。

科视达在全国建有强大的德国PVA显微镜、售后服务网络，多名技术顾问及售后工程师遍及全国各地区，能为用户提供优质、高效的服务保证。科视达德国PVA显微镜经多年市场验证，提供从报价到售后服务全程跟踪的一条龙服务，求购服务周到的德国PVA显微镜、，选择科视达，欢迎访问：www.questar.com.cn。

该公司产品分类：扫描显微镜

V400德国KSI 超声波扫描显微镜

德国KSI（中国）服务中心

德国KSI 硅片键合缺陷检测系统 / IGBT模组缺陷检测系统咨询电话：021-3467 3715

德国KSI公司的中国服务中心超声波扫描显微镜，英文是：Scanning Acoustic Microscope，简称SAM，由于它的主要工作模式是C模式，因此也简称：C-SAM。现在做失效分析的第三方实验室里，这个设备直接被通称为C-SAM，就像X射线透射机被通称为X-Ray一样。

上个世纪的90年代中，微电子器件的大规模生产制程中，发现IC的Die上下表面脱层，锡球/芯片裂缝、或填胶中的裂缝、封装材料（很多塑封材料）内部的气孔等缺陷，无法用常规的X-ray失效分析手段检测到，此时，一种新型的测试技术被引入到芯片的后封装测试领域，它就是超声波扫描显微镜。说是显微镜，其实它与常规的光学显微镜两者没有任何关系，只是因为这个设备最早是由国外厂家先行研发并投入到生产领域，这个名字也是直接从外文直译过来，因此中文严格可以称为：中高频超声波无损检测系统，或许更为合适。

工作原理

换能器负责将电磁脉冲转换成声脉冲，离开换能器后，声波被声透镜通过耦合介质（一般是去离子水或无水酒精等）聚焦在样品上。耦合介质是为了防止超声波信号快速衰减，因为超声波信号在一些稀疏介质中传播是，会快速衰减。样品置于耦合介质中，只要声波信号在样品表面或者内部遇到声波阻抗介面（如遇到孔隙、气泡、裂纹等），就会发生反射。

另一种工作模式叫透射模式。透射扫描时，样品下方要安装另外一只换能器，这只换能器会接收所有完全穿透样品的超声波信号。根据接收的信号就能还原出各种超声波C扫图像。

在失效分析中的应用

晶圆面处分层缺陷
锡球、晶圆、或填胶中的开裂
晶圆的倾斜
各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）

在失效分析中的优势

非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
可分层扫描、多层扫描
实施、直观的图像及分析
缺陷的测量及缺陷面积和数量统计
可显示材料内部的三维图像
对人体是没有伤害的
可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等）

应用领域

半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
材料行业：复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等；
生物医学：活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等.

该公司产品分类：超声波扫描显微镜