特点
实时显示氢氟酸浓度可以通过导电率传感器检测氢氟酸浓度,通过<导电率>-<氟酸浓度>的检量线,自动地实时显示氟酸浓度。
实现了半导体制造工艺中低浓度范围的高精度产品几乎覆盖了半导体制造工艺中所使用的氢氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低浓度量程中,也实现了±2%F.S.以内的再现精度。适合于要求低浓度范围控制的存储器生产线中发挥出威力。
确保稳定检测的传感器沉浸型传感器已经被PFA树脂模块化,所以不会因氢氟酸溶液而发生金属腐蚀现象。并且,金属等不纯物不会溶入到样品溶液中,因此可以对其进行稳定的检测。
装有报警功能为了实现更加的工艺管理,分别具有浓度输出以及浓度上限・浓度上上限・浓度下限・浓度下下限的报警输出功能。
可以用于多用途采用小巧的DIN96尺寸的转换器。小型・轻便,最适于组装到氟酸的稀释装置、供给装置、晶片的清洗装置中。并且,具有直接浸没到液体中的沉浸型传感器(CM-200)和设置在工艺配管中的流通形传感器(CM-210)。您可以根据用途自由选择。
测量原理
2个环状螺线管(T1是通过交流电的励磁变压器、T2是检测变压器)被模块化于传感器的塑料外壳内部。当传感器沉浸在溶液中时,溶液将在2个环状螺线管之间产生一个闭合回路。如果环状螺线管T1的线圈中通过一恒定的交流电流,则会在磁圈中产生一恒定的磁场,依照样品的导电率电流i流过样品溶液。根据电流i环状螺线管T2中将会产生相应的磁场,并且在T2的线圈中将会产生感应电动势。由于感应电动势e(电压)与样品的电导率呈比例关系,通过测量e可得知电导率值。这样经过检测的导电率和氢氟酸浓度存在极高的关联性,可以根据预已知的参考曲线计算得出并显示氢氟酸浓度。
规格
测量原理 | 电磁感应导电率检测方式 |
检测对象 | 水+氢氟酸溶液 |
量程 | 0〜1/2/5/10/20HFwt%(请您在订货时指定) |
再现性 | ±2% F.S |
响应时间 | 90%响应5秒以内(恒温条件下) |
样品条件 | 温度:25±3℃压力:沉浸型0〜0.02MPa、流通型0〜0.1MPa |
显示 | 氢氟酸浓度:最小显示值0.001%(在0-1%量程中)报警: 浓度上限、上上限、下限、下下限 |
在线醋酸浓度计 型号:CN61M/EMC120AN | 货号: |
H-EMC120AN 液体插入式 液体/浆体样品浓度测试.如油品、化工液体、浆体等快速化验 量程: 0-100% 精度:±0.5% 使用温度: 0-100℃ |
·技术参数
测量范围 | 浓度:(0.00~10.00)%HCL |
分 辨 率 | 0.01% 、0.1℃ |
电极常数 | 1~55.0 cm-1间由软件设定 |
温补范围 | 自动0~99.9℃,手动0~99.9℃ |
精 度 | ±2.0%(常用点校准后误差可小于0.05%),±0.3℃ |
电流隔离输出 | 4~20 mA(负载< 750 Ω)。 |
报警继电器 | AC220V、3A,报警信号隔离输出 |
通讯接口 | 隔离RS485(选配) |
电 源 | AC220V±22V ,50Hz±1Hz,可选配DC24V±2.4V |
防护等级 | IP65 |
工作条件 | 环境温度0~60℃ ,相对湿度≤90℅ |
掉电保存 | >10年 |
重量、尺寸 | 0.8kg 、146×146×108 mm;开孔尺寸:138x138mm; |
德国S+H硫酸硼酸盐酸浓度计 | |
测量精度 | 常规:±0.05%(±0.000 07 RI/±0.05% Brix ) 常规:±0.10%(±0.000 14 RI/±0.10% Brix ) 高精:±0.01%(±0.000 04 RI/±0.01% Brix ) |
分辨率 | 常规:0.01%(0.000 01 RI/0.01% Brix) 常规:0.02%(0.000 02 RI/0.02% Brix) 高精:0.002% (0.000 005RI/0.002% Brix) |
测量范围 | 0-100Brix 0.00-100.00% 多量程段可选 |
检测方式 | 即时检测,可自定义检测间隔 |
工作压力 | 1 Mpa、145psi、10bar |
光学核心 | 无机械部件 高分辨率点阵CCD |
用户标度量程 | 自定义曲线、远程管理、不同标度同步显示 |
环境温度 | -10℃-50℃ |
光源 | LED光源,589nm波长,钠光,100,000h寿命,自增益功能 |
防爆等级 | 本安型防爆 ATEX Class ib II A T4 |
仪表校验 | 单点、多点标准校验、原始留存、波动指示 |
过程工作温度 | -10℃~﹢150℃ |
温度补偿功能 | 自动温度补偿 |
在线清洗功能 | 高压水清洗可选;超声波清洗可选 |
触湿材料 | Sapphire或YAG钇铝石榴石、不锈钢,可选PTEE。 |
湿度控制 | 湿度控制系统、内置湿度传感器、湿度数据显示、输出等功能 |
输出信号 | 两组4~20 mA模拟输出(可自定义输出类型如浓度、温度、湿度) 两组数字开关输出(负载可达 1A), 一组串行输出RS232或RS485或USB |
安装方式 | 法兰、快接、螺纹等多种接口 罐体容器壁安装、管线直接安装等多种方式 |
电源 | 24 V DC 或110/220V AC |
数据处理仪(现场数据记录、分析)可选、通用控制器(多台联控)可选 | |
*更详细参数请参见样本 | |
WQ-2083型酸浓度计 | |
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仪器特点: | 仪器带有单片微型计算机,能对溶液作自动温度补偿3 1/2位液晶显示,同时显示被测溶液的温度和浓度具有断电保护功能具有(0~10)mA、(4~20)mA隔离输出信号,其对应的浓度,可任意调节具有浓度上、下限报警功能,输出触点容量为:AC 220V,3A发送器电缆长度在30米内不产生测量误差配套发送器:DCGF-81型电导发送器 |
技术指标: | 1.测量范围: 浓度:(0~8.0)%HC1;(0~8.0)%NaOH温度:(5~45)°C2.仪器的基本误差:浓度: ±0.3%HCI , ±0.3%NaOH;温度:±1.0°C3.电子单元稳定性:a)浓度: ±0.1%HCL/24h;±0.1%NaOH/24h4.自动温度补偿范围:(5~40)°C5.水样进、出口连接:Φ8(内径)×12增强聚氯乙烯(PVC)软管6.测量探头使用压力:9.8×105Pa7.电子单元外形尺寸,mm:144×144×1508.电子单元开孔尺寸,mm:138×1389.电子单元重量:约1.5kg10.仪器正常工作条件a)环境温度:(-5~50)°Cb)相对湿度:不大于90%c)供电电源:交流电压(220±22)V;频率(50±0.5)Hz;d)周围空气中无腐蚀性气体存在;e)周围除地磁场外无其它影响性能的电磁场存在;f)周围无影响仪器性能的振动存在。 |