便携式有毒气体检测仪,便携式半导体材料气体检测仪,半导体材料气体检漏仪(自动吸引式) 最适合于检测半导体材料气体的微量泄漏采用声光报警。检测对象气体:半导体材料气体(砷、膦、乙、硅烷、氢气等) 检测原理:热线型半导体式采样方式:自动吸引式可检测浓度(单位:ppm):砷烷(AsH3)0.2; 磷烷 (PH3)0.3 ; 乙(B2H6)0.1; 硅烷(SiH4)0.5; 氢气(H2)1.0检测表示:蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 应答速度:10秒以内
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检测气体一览表:
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