集成电路照排平台高精度定位电涡流位移传感器在关键的Z轴高度调整中,支撑圆晶片的平台必须非常精确地处于焦点平面(次原子级)。凯盟系统精确测量Z轴平台的位置(如图)并输出模拟信号(或可选的数字接口)。此传感器的高精度、重复性和分辨率可让用户在平台定位和聚焦上形成闭环。用凯盟公司15N传感器头和前置器SMU9000组成。主要指标:测量对象:铝量程起点:0.25mm量程:25µm非线性:±1% 分辨率:<25x10^-11M灵敏度:0.4V/µm电源:+12~+30V,15MA/每通道频响:0-10KHZ输出:0-10V温漂:<0.5µm/℃欲了解更多关于产品的信息,请访问真尚有公司网站www.51sensors.com
采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器
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以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,十分危险。 M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。 | ![]() |
M-DW1以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。 | ![]() |
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的高速反应实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置检测 利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。M-DW1的受光部使用2段受光元件,通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。 | ![]() |
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。 | ![]() |
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm,质量约为75g的小巧、轻盈型。 | ![]() |
☆直接测量长距离线性位移,测量长度可达15米
☆恒力弹簧收绳 最大拉力可达8公斤传感器,定位传感器,恒力收绳定位传感器
☆直径1.5毫米软性多股不锈钢钢丝绳316L材料,耐腐蚀、耐海水浸泡
☆选装绝对型多转编码器 抗干扰 重复性高
☆特殊规格可按需定制
外形尺寸图:
其有如下特点:
☆ 钢丝绳平排在测量盘上,每圈行程相同,因此在整个测量范围内均为线性测量。
☆ 恒力钢带采用专用弹簧材料,并采用双盘卷簧方式,以在整个过程中恒定的收紧张力,避免钢丝绳的来回程偏差及松驰不定,抗疲劳强度。
☆ 钢丝绳测量盘.卷簧轮同一轴,并直接通过联轴器与编码器联动,其连接误差降至最小。
☆ 电气连接防水密封IP65设计.
☆ 安装维护方便,直接测量位移,因安装的精度问题所带来的偏差最小
供应美国`REGENT CONTROLS` REGENTCONTROLS`
定位传感器 SR552A9D CLUTCH BREAK CONTROLS AccuMax90-120 AccuMax90-32 AccuMax90-V12 AccuMax24-120 AccuMax24-32 AccuMax24-V12 ClutchBraker120 ClutchBraker32 ClutchBrakerV12 Rev2424-120 REGENT’S 7966 Force90-120 Force90-32 Rev24-32 Rev90-120 AccuMax90-32 AccuMax90-NL Rev2424-120 Rev24-32 Rev24-NL TorqCommander120 TorqCommander32 TorqCommanderV12 AccuMax90-120 AccuMax90-32 AccuMax90-V12 AccuMax24-120 AccuMax24-32 AccuMax24-V12 KickStart™ KickStart ForeRunner120 ForeRunner32 ForeRunnerV12 Force90-120 Force90-32 Rev2424-120 Rev24-32 Rev90-120 Rev90-32 Rev90-NL Rev2424-120 Rev24-32 Rev24-NL 8129 RELAY InterFacer120 InterFacer32 ProFacer120 ProFacer32 FlipFlop120 FlipFlop32 WatchGuard120 QuickTripper2 MultiFacer120 MultiFacer32 SR552D9D SR552A9D
TIMER TM102-120 TM102D10/10S-120 TM102D5/5S-120 TM102D50/5S-120
TM102R1/1S-120 TM102R10/1S-120 TM102R2/2S-120 TM102-32
TM102D1/R0.1S-32 TM102R0.5/0.5S-32 TM102R1/1S-32 TM102-120 TM102D10/10S-120 TM102D5/5S-120 TM102D50/5S-120 TM102R1/1S-120 TM102R10/1S-120 TM102R2/2S-120 TM101-32 TM101D10/10S-32 TM2222 TM2222D0.1S-24
TM2222D0.5S-120 TM2222D0.5S-24 TM2222D0.5S-V12 TM2222D10S-120 TM2222D10S-24 TM2222D1S-120 TM2222D1S-24 TM2222D2S-120 TM2222D5S-120 TM2222D5S-24 TM2222F5S-120 TM2222R0.1S-24 TM2222R10S-120 TM2222R1S-24 TM2222R5S-24 TM2222-120 TM2222-24 TM2222-V12 TM2222D0.1S-24 TM2222D0.5S-120
TM2222D0.5S-24 TM2222D0.5S-V12 TM2222D10S-120 TM2222D10S-24 TM2222D1S-120 TM2222D1S-24TM2222D2S-120 TM2222D5S-120 TM2222D5S-24 TM2222F5S-120 TM2222R0.1S-24 TM2222R10S-120 TM2222R1S-24 TM2222R5S-24 Timer22/23-120 Timer22/23-24 TM301 TM301D-120 NON-STD TM301D0.5S-120 TM301D10S-120 TM301D1S-120 TM301D50S-120TM301D5S-120 Timer22/23-120 Timer22/23-24
SAFETY eMAX24
主要经营产品列举部分如下:
日本`RIKO `理光` 水位开关 液位开关 MFS10-N1-2 MFS9-N1-1 MFS9-N1-2 MFS9-N2-1 MFS9-N2-2 MFS10-N1-1 MFS10-N1-2 MFS10-N2-1 MFS10-N2-2 MFS17-A-1 MFS17-A-2 MFS17-B-1 MFS17-B-2 MFS17-C-1 MFS17-C-2 MFS17-D-1 MFS17-D-2 MFS21-E-1 MFS21-E-2 MFS21-K-1 MFS21-K-2 MFS23-F MFS25-J RFS2-1 RFS2-2 RFS4-1 RFS4-2 RFS6-1 RFS6-2 RFS8-1 RFS8-2 RFS9-1 RFS9-2 RFS-11A-1 RFS-11A-2 RFS-12-1 RFS-12-2 MFS1 MFS2 RFS1 RFS2 MFS3 `T&C` T & C`时间继电器TH3A `ROKO` 近接光电开关SU100-N/SU-100B3 SND-04-ND MMF-R3N RFD-DU100 MMF-DU40N MF-DU30KP2 RMF-DU40N SE05-N-50K FRS-420 `RIKO` 近接光电开关SU100-N/SU-100B3 SND-04-ND RFD-DU100 MMF-DU40N RMF-CDU5N MF-DU30KP2 RMF-DU40N MMF-R3N SE05-N-50K FRS-420……等