全自动美国产高精度旋转涂敷仪旋转涂敷仪Spin Coater,有许多名称:甩胶机、涂胶机、匀胶机、涂层机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂膜仪等,主要应用于溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。 适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺,可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
Laurell,Inc总部位于美国宾夕法尼亚,成立于1985年,是一家专业提供化工半导体材料清洁涂敷处理等特殊工艺的公司。公司拥有WS-400/500/650各类旋转涂敷
系统,目前客户已遍布全球。
特色:◆ 科研制备理想的旋涂仪; ◆ NPP或Teflon材质构造;◆ 150毫米,200毫米和300毫米三种腔体大小;◆ 可选择台式,立式和特殊环境内置式不同外形;◆ 最大转速可达10000RPM;◆ 易编程的数码控制器(400/500型控制器);◆ 可升级成为自动滴胶型;
请根据您实际需要的大小和材质选择相应的旋涂仪型号:WS-400B-6NPP-LITE◆NPP材质台式 ◆8.5英寸 216 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为6英寸 150 毫米或4英寸 X 4英寸 102 X 102 毫米的方形基底材料 ◆理想的旋转涂敷仪◆销量的台式系统
WS-400B-6NPP-LITE-IND◆NPP材质内置式带远程控制器 ◆8.5英寸 216 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为6英寸 150 毫米或4英寸 X 4英寸 102 X 102 毫米的方形基底材料
WS-400B-6NPP-LITE-OND◆NPP材质外置式带远程控制器 ◆8.5英寸 216 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为6英寸 150 毫米或4英寸 X 4英寸 102 X 102 毫米的方形基底材料
WS-400B-8NPP-LITE◆NPP材质台式◆12.5英寸 318 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为8英寸 200 毫米或7英寸 X 7英寸 178 X 178 毫米 的方形基底材料
WS-400B-8NPP-LITE-IND◆NPP材质内置式带远程控制器 ◆12.5英寸 318 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为8英寸 200 毫米或7英寸 X 7英寸 178 X 178 毫米 的方形基底材料 ◆销量的wet-bench型系统
WS-400B-8NPP-LITE-OND◆NPP材质外置式带远程控制器 ◆12.5英寸 318 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为8英寸 200 毫米或7英寸 X 7英寸 178 X 178 毫米 的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE◆PTFE 材质台式 ◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐接近零孔隙度玻璃◆8.5英寸 216 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为6英寸 150 毫米或4英寸 X 4英寸 102 X 102 毫米的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE-IND◆PTFE材质内置式带远程控制器 ◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐接近零孔隙度玻璃◆8.5英寸 216 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为6英寸 150 毫米或4英寸 X 4英寸 102 X 102 毫米的方形基底材料
WS-400B-6TFM-LITE-OND◆PTFE材质外置式带远程控制器◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐接近零孔隙度 玻璃◆8.5英寸 216 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为6英寸 150 毫米或4英寸 X 4英寸 102 X 102 毫米的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE◆PTFE材质台式 ◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐接近零孔隙度玻璃◆12.5英寸 318 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为8英寸 200 毫米或7英寸 X 7英寸 178 X 178 毫米 的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE-IND◆PTFE材质内置式带远程控制器 ◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐接近零孔隙度玻璃 ◆12.5英寸 318 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为8英寸 200 毫米或7英寸 X 7英寸 178 X 178 毫米 的方形基底材料
WS-400B-8TFM-LITE-OND◆PTFE材质外置式带远程控制器◆固态PTFE-TFM Teflon-NXT庐 PTFE Hostaflon-TFM庐接近零孔隙度玻璃 ◆12.5英寸 318 毫米 直径 桶状处理腔◆可以涂敷最大直径为8英寸 200 毫米或7英寸 X 7英寸 178 X 178 毫米 的方形基底材料
WS-400-15NPP-LITE◆NPP材质台式◆直径为14.5英寸 370 毫米半圆形处理腔 ◆可以涂敷最大直径为13英寸 330 毫米的基底材料 ◆我们提供的最大NPP系统
WS-400-15NPP-LITE-IND◆NPP材质内置式带远程控制器 ◆直径为14.5英寸 370 毫米半圆形处理腔 ◆可以涂敷最大直径为13英寸 330 毫米的基底材料 ◆我们提供的最大NPP系统
WS-400-15NPP-LITE-OND◆NPP材质外置式带远程控制器◆直径为14.5英寸 370 毫米半圆形处理腔 ◆可以涂敷最大直径为13英寸 330 毫米的基底材料 ◆我们提供的最大NPP系统
需要详细资料和技术服务请与我们联系:迈可诺技术有限公司内地营销服务中心联系人:邓华中先生电话:+86-27-5048-6618手机:+86-135-5465-9878邮箱:aaron_deng@mycro.com.cn网址:http://www.mycro.com.cn
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Jonln将来精力打造高品质的 台式匀胶机价格 产品,售前、售中。售后竭诚为客户提供满意的产品。欢迎来电咨询!
台式匀胶机价格 参数:
1,特点是双转速匀胶机,两档转速及匀胶时间分别连续控制,在启动后先低速运转,经几秒钟后自动转换到高速运转.也可单独使用低转速或者高转速 Ⅰ档 调速范围:500-2000转/分 Ⅰ档 匀胶时间:2-18秒 Ⅱ档 调速范围:1300-8000转/分 Ⅱ档 匀胶时间:3-60秒 2,LED数字显示,转速稳定度:±1% ,胶的均匀性:±3% . 3,电源电压:220V/ 50Hz 4,电机功率:40W 5,适用:Φ5-Φ100mm硅片或其它材料的匀胶.(备有各种型号托盘选购或者免费特殊订制)6,真空泵抽气速率 ≥60L/S 7,产品体积小,重量轻,操作简便,易维护匀胶机主体尺寸:210×220×160 mm
台式匀胶机价格 产品说明:
(一)该设备采用国际技术,使用进口配件(韩国进口定子和转子,直流电机) 使高转速加速度更加稳定,控制更加精确.电机采用新型直流永磁电机抗电磁干扰.(二)定子和转子分开供电.定子用稳定电源供励磁电流,转子用开关电源调速,它比可用控硅调速得多,转速在1000~8000转/分范围内非常稳定.在未取得真空的状态不会转到,了使用的性. (三)本匀胶机有两个转速.在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.两种转速及相应的时间分别可调. (四)本匀胶机测速采用光电的办法,在光电测速盘的边上有三个缺口,(反射带和吸收带)分布于盘的周围,盘边的下面安装有光电开关,光源照到光电经反射到接收器,产生光电脉冲,测速盘旋转一周,产生 三个脉冲.闸门由秒脉冲电路产生,周期为两秒.当马达旋转时,如果计时器在2秒内计的得数是n,则每分钟应该转了n/(2x3)=n/6转,每分钟旋转(n/6)x60=10n转.故计数器就是每分钟转速,只不过差一个数量级. (五)\\\"吸片\\\"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率. (六)匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变两个匀胶时间. (七)智能型调节匀胶时间,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟. (八)在安装结构上,采取了减振措施,了在运转时噪音很低,涂覆表面均匀,通过调节转速调节涂覆厚度.
匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜 详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor) 行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机 一、产品概述: 匀胶机WS-650Mz-23NPPB适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是650S 型匀胶机的特点。 二、匀胶机工作原理: 匀胶机WS-650Mz-23NPPB(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。三、匀胶机WS-650Mz-23NPPB主要性能指标: 1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米); |
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);
3、转动速度:0-12,000rpm, 4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空载); 5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%; 6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm; 7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度; 8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方; 9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。 10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态; 11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国国家标准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!] 12、配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹; 13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件; 14、原装进口水平测试仪; 可选配置: IND构造为湿站系统设计,带远程控制; OND构造为手套箱系统设计,带远程控制; UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒, EBR(Edge Bead Remover):晶圆去边,机械装置; |
基片尺寸:4,6,8,12英寸;
时间设定范围:1~999秒;
转速范围:100rpm~8000rpm(1%);
应用:匀胶,甩胶,涂胶,涂膜等;
控制方式:手动控制,数字程序化控制和触摸屏控制;
真空性能:专业Oilless Vac & pressure Pump;
价格优惠;
又名:甩胶机,甩膜机,涂胶机,旋转涂膜机,匀膜机等;
全球领先的半导体设备供应商,多年来于掩膜对准光刻机和匀胶机研发与生产,并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域;该公司是目前世界上最早将光刻机商品化的公司之一,拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力;并且其设备被众多企业、研发中心、研究所和高校所采用;依的技术、精湛的工艺和良好的服务,赢得了用户的青睐。
相关产品:
掩模对准曝光系统 / 光刻机(紫外/深紫外):手动或自动化控制,基片尺寸4、6、8、12、25英寸,光束均匀性3%,对准精度0.5微米;结合专业的楔形误差补偿技术,使得加工工艺更为完善;
WH-SC-01匀胶机适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺,可在科研、教育等单位作科研、教学之用。其总体设计由汶颢股份独立开发完成,具有独立知识产权。
匀胶机快速启动和稳定的转速,能够保证胶厚度的一致性和均匀性。
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2.产品特点(一)、采用全触摸屏控制,三档转速。在启动之后先在低转速下进行匀胶,之后切换至高速下进行甩胶,转速及相应的时间分别可调;实现启停可控,转速实时观察等功能。
(二)、在结构方面,仪器本身采取了减震措施,在运转时噪音很低。
3.性能参数
(1)电源输入:AC220V±10V,50HZ;
(2)功率:60W;
(3)参数设定:触摸屏设置参数,转速稳定度±1%,胶的均匀性±3%;
(4)LED数字显示,转速范围:300-10000rpm,时间范围:5-9999s;
(5)适用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等匀胶;
(6)外形尺寸:300*280*220mm;
(7)整机重量:7kg。
4.特征图解①防撞垫 ②匀胶托盘 ③触摸屏 ④专用吸附盘 ⑤观察窗 ⑥盖板 ⑦抽气孔 ⑧电源插口及开关
5.注意事项(1)所甩样片的尺寸要大于吸附盘有效尺寸 2-3mm 左右,如果用大吸附盘甩小 的样片就会产生漏气,同时造成胶被吸入抽气室,导致气路堵塞。(2)如果不慎胶被吸入了抽气室,要立刻进行清洗,否则吸附盘、光电盘、电 机轴会黏在一起,造成电机转不动,拆卸亦很困难。(3)气路堵塞或气泵损坏时电机也可运转产生飞片,故在启动电机前须确认气 泵的状况良好及吸片确已吸住。 (4)本机一旦出现故障或异常情况请立即切断电源,参考上述常见故障排除, 若自己不能解决,请及时拨打本公司服务热线:(0512)62525801,本公司将竭 诚为广大用户服务。 6.维护清洗属下列情况之一时,需要对抽气室进行清洗1.正常使用半个月的;2.胶被吸入抽气室的;3.电机转速不稳定或被卡住转不动的。 7.售后服务(1) 设备从购买之日起,整机保修壹年。(2) 保修期内,因产品质量问题造成损坏的一切零配件可以免费更换,无偿维修。(3) 凡超过保修期需要维修时,则收取上门服务费、维修费和更换的零件费。(4) 用户应核对所购设备的型号和出厂编号是否与本保修卡所填资料相符,若设 备上标注的型号、出厂编号和保修卡所填的资料曾被删改,涂污或丢失,则 设备的保修随即失效。(5) 保修期内若设备出现故障,请尽快与公司维修站的技术人员联系,以免影响 您的使用或造成保修期限的延误。 (6) 当设备交给用户并验收后,以下的情况不在保修范围内:超过保修期限的设 备;未按说明书要求连接电源而造成设备的故障和损坏;因用户不正确的运 输、保管、安装和使用而造成设备的故障和损坏;由于非专业人员的拆修而 造成设备的故障和损坏;安装后因移动或跌落而造成设备的故障或损坏;使 用环境(如电源、水源、温度、湿度等)是非本公司所能控制的因素而造成 设备的故障和损坏;因意外灾害事故(水灾、火灾、煤气事故等)而造成设 备的故障和损坏。如果以上情况发生,用户要求维修,公司维修站的技术人 员将会收取上门服务费、维修费和更换的零件费。因此在使用本产品前请仔 细阅读使用手册。(7) 维修站的技术人员会按距离远近和交通状况收取上门服务费。(8) 欢迎您对我们产品的质量和售后服务提出宝贵意见。(9) 公司维修站在接到用户的报修信息后 24 小时内给予响应。了解更多化验室仪器设备请访问汶颢微流控技术公司www.whchip.com
北京北瑞未来分析仪器有限公司是高科技产品系统集成商,集开发设计、生产、销售、服务、技术支持为一体的高科技企业。公司大量提供国内外各种先进的在线、离线仪器仪表、尤其在石油、化工、环保、科技教学、医疗卫生等领域,与国内外众多著名专业厂家有密切合作关系。经营领域主要包括:仪器仪表、实验室仪器、化工仪器、农业仪器、机电设备、环保设备、医疗保健、电力通讯设备等近百个行业多种仪器仪表技术和相关设备。服务主要包括:仪器产品技术支持、产品制造、销售、维护、维修、运行。自成立以来凭借专业的的技术服务团队、大型的仓储基地及完善的代理及销售体系业务发展迅速,相关党政军机构、院校以及世界五百强企业已成为北京北瑞未来长期合作伙伴,北瑞未来通过线上直销体系及遍布全国的经销网络,最大化压缩了商品流通环节,走自主品牌化道路,大大降低了客户采购成本,成为业内知名工业品系统集成商。在未来的发展中,北瑞未来将继续坚持诚信、团队、专业、创新的企业精神,以更专业化的技术支持服务与优质的产品满足各行业的需求,为国内外仪器仪表市场发展贡献自己的力量。 我们本着“质量是生命,服务是根基”的创业理念,坚持以品质为先,以服务取胜!我们竭诚的开展了技术咨询和维修服务工作,北京响应时间为8小时,外地响应时间不超过24小时,凡本公司所售出设备一年内全免费维修,终身维修。我们深信,只有站在客户的立场,为客户提供更好的性价比高的专业设备。以支持客户的业务和发展,才能最终获得双羸!北京北瑞未来分析仪器有限公司是高科技产品系统集成商,集开发设计、生产、销售、服务、技术支持为一体的高科技企业。公司大量提供国内外各种先进的在线、离线仪器仪表、尤其在石油、化工、环保、科技教学、医疗卫生等领域,与国内外众多著名专业厂家有密切合作关系。
经营领域主要包括:仪器仪表、实验室仪器、化工仪器、农业仪器、机电设备、环保设备、医疗保健、电力通讯设备等近百个行业多种仪器仪表技术和相关设备。服务主要包括:仪器产品技术支持、产品制造、销售、维护、维修、运行。自成立以来凭借专业的的技术服务团队、大型的仓储基地及完善的代理及销售体系业务发展迅速,相关党政军机构、院校以及世界五百强企业已成为北京北瑞未来长期合作伙伴,北瑞未来通过线上直销体系及遍布全国的经销网络,最大化压缩了商品流通环节,走自主品牌化道路,大大降低了客户采购成本,成为业内知名工业品系统集成商。在未来的发展中,北瑞未来将继续坚持诚信、团队、专业、创新的企业精神,以更专业化的技术支持服务与优质的产品满足各行业的需求,为国内外仪器仪表市场发展贡献自己的力量。 我们本着“质量是生命,服务是根基”的创业理念,坚持以品质为先,以服务取胜!我们竭诚的开展了技术咨询和维修服务工作,北京响应时间为8小时,外地响应时间不超过24小时,凡本公司所售出设备一年内全免费维修,终身维修。我们深信,只有站在客户的立场,为客户提供更好的性价比高的专业设备。以支持客户的业务和发展,才能最终获得双羸!
凯美特滴胶匀胶机(英文名:Spin Coater),又称甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、真空镀膜机,主要应用于溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。根据用户需要,凯美特滴胶匀胶机机配套使用效果更好。
销售热线:18500193075(秦威)固定电话: (秦威)E-MAIL: qinwei@ime.ac.cnQQ: 2350573414传真: 地址:北京市朝阳区北土城西路3号网址:www.rf-power.net中科院微电子所KW型匀胶机(www.rf-power.net)适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。经过20多年的发展,目前产品占国内市场的70%以上。 目前的型号有KW-4A型和KW-5型。产品主要特点: 1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。 2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。 3、采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。 4、具有定时功能。 5、测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。 6、"吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。 7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。