产品介绍:感应耦合等离子(ICP)刻蚀及沉积、深反应离子刻蚀(DRIE)及低温等离子体增强化学气相沉积(PEVCD)、
BM8-III 感应耦合等离子(ICP)刻蚀及沉积系统
高性能深反应离子刻蚀(DRIE)及低温等离子体增强化学气相沉积(PEVCD)等离子处理系统
BM8-III感应耦合等离子(ICP)处理系统是一款全新定义深反应离子刻蚀(DRIE)及低温低损伤 等离子体增强化学气相沉积(PEVCD)等离子处理新概念的等离子处理系统。
该感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统基于模块化设计制造,采用一款通用的真空处理舱及机柜。等离子处理系统采用感应耦合等离子(ICP)电极及底部沉积电极模块化设计理念,方便整体感应耦合等离子(ICP)刻蚀及沉积系统的组装及配置。
该感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统带给用户方便操作,提供多种等离子处理工艺、方便维护及性价比高的系统比业内其它感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统更具竞争力。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统主要性能简介
等离子工艺处理的研发需要多功能且可靠的等离子处理设备。为了满足等离子研究日新月异的要求,用户选购的系统设备满足最大范围的等离子工艺参数需要、工艺验证需要极其高的可重复性、必须方便改造用于新的等离子工艺需要。我们相信BM8-III感应耦合等离子(ICP)蚀刻/沉积等离子系统满足这些非常苛刻的要求。
BM8-III是一款用于研究、工艺开发及其小批量生产的感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统工具,用于最大八英寸(203mm)基片的精密等离子刻蚀及沉积。该感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统也可以容纳处理多块晶圆片。
在设计BM8-III感应耦合等离子(ICP)蚀刻/沉积等离子系统之初,主导指示就是创造一款融合高质量、可靠、重复性及其用于生产系统的工艺控制能力为一体的等离子系统;同时极大的降低主机成本、维护成本及占地面积小等要求。
BM8-III感应耦合等离子(ICP)处理系统具有独特的机体结构和电极设计,方便安装在层流模块中或是超净间。感应耦合等离子(ICP)处理系统的建造采用高质量认可的部件、模块化装配、多功能真空舱体及其电极设计、结构紧凑、自动化及业内认可工艺程序使得BM8-III感应耦合等离子(ICP)处理系统成为工艺工程师首选干法设备。
感应耦合等离子(ICP)处理系统特性
• 一体式真空舱体构造
• 1000W@13.56MHz,射频感应耦合等离子(ICP)电源
• 600W@13.56 MHz 射频 偏压电源
• Auto RF matching 自动射频匹配器
• 下游压力控制
• 基于Windows操作系统软件的电脑控制
• 多款真空泵浦系统选配:机械泵及涡轮增压泵浦用于蚀刻;机械泵浦配备罗茨风机用于沉积;
• 业内认可的部件
• 认证的工艺程序
• 终点探测检测(选配) 感应耦合等离子(ICP)处理系统应用
• 深反应离子刻蚀(DRIE)
• 低损伤高速蚀刻速率
• 亚微米级蚀刻
• SiO2 及 Si3N4的低温、低损伤等离子体增强化学气相沉积(PEVCD)
• 聚酰亚胺蚀刻、钝化层蚀刻(Polyimide etching 、Passivation etching)
• 碳纳米管沉积
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统应用
基于感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积系统建造的高质量处理模块,BM8-III满足广泛的等离子处理工艺条件,无论是复杂的亚微米级反应离子刻蚀 (RIE)还是低温下的高质等离子体增强化学气相沉积PEVCD薄膜的沉积。
基与众多客户群的紧密协作,我们开发出业内认可的工艺程序,保证系统满足用户所需。用于生产制造的系统设备均采用最高质量的部件,保证我们的系统提供最大可能的正常运行时间、 可靠性、重复性及耐用性。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统技术规格
BM8-III感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统的广泛使用得益于其高性价比、多功能设计模块、提供其他同类感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统没有的工艺优势。这些包括层流安装、安装占地面积小,多款电极配置,及其最大可满足8英寸基片处理等。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统基本模块
BM8-III感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统的基本部件包括一款基于Windows的PC控制器及其菜单存储、数码质量流量控制的四路通道控制(最大可扩展至六通道)、温度补偿式电容压力计用于测量工艺真空度、100毫米真空通道用于最大工艺气体电导、KF或ISO标准管件便于维护;及其它工艺及服务特性。工艺气体导管未不锈钢操作,配备VCE连接件。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统真空处理舱
BM8-III感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统的真空处理舱采用整块阳极氧化铝合金建造成一体式设计。感应耦合等离子(ICP)刻蚀、等离子体增强化学气相沉积(PEVCD)系统均采用同样的真空处理舱设计。真空处理舱上部部包括一个感应耦合等离子(ICP)线圈及陶瓷窗;真空舱下部包括基片电极,真空泵浦接口及气体必要的真空阀及其真空监控设备。自动升降台抬举真空舱上部便于接近底部电极。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统电极配置
感应耦合等离子(ICP)线圈及陶瓷窗同样用于感应耦合等离子(ICP)蚀刻机沉积系统之中。
感应耦合等离子(ICP)蚀刻电极特别为低真空范围的最佳等离子性能设计。
不锈钢材质底部电极通过可选配冷却循环器来控制温度。感应耦合等离子(ICP)线圈阳极采用暗区屏障设计,使等离子在两块电极之间产生。
感应耦合等离子( ICP)及等离子体增强化学气相沉积( PECVD) 底部电极采用类似的设计,电极最大可耐400℃高温。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统电源
1000W@13.56MHz射频电源给电感应耦合等离子(ICP)线圈,在低等离子电位下产生等离子密度高达5 x 1011 eV/cm3(氩气等离子),而第二套600W@13.56MHz 射频电源给电基片电极产生射频偏压。所有的电源采用固态、风冷式,配备自动匹配器。这样离子能量及离子密度可以分别控制。感应耦合等离子(ICP)线圈位于真空舱外部,由陶瓷窗隔离;感应耦合等离子(ICP)线圈处于大气压下,而非等离子产生环境中。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统工艺处理真空泵浦
根据用户的工艺需要,BM8-III感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统配备机械泵、机械泵及涡轮分子泵,或是带鲁氏鼓风机的机械泵。也可根据所需真空处理级别配备不同尺寸大小的真空泵浦。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统压力控制
下游压力控制提供了更加精密的工艺控制。闭环式压力控制系统集成在真空处理舱和工艺处理真空泵浦之间。该控制系统包括一套100mm伺服电磁阀及压力控制器与位于真空处理舱内的电容压力计相连接;提供了工艺压力控制的完全自动化控制。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统控制器
控制器采用电脑控制整个系统。基于Windows的控制软件采用多屏幕显示系统设备控制、数据记录、称呼设定及存储,系统连锁应需配备。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统可在自动或手动模式下运行。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统选配件
为了增强系统的工艺处理能力,BM8-III感应耦合等离子(ICP)系统提供广泛的工艺处理选项,包括终点检测、水冷器(用于冷却电极)、油雾分离器及吹扫系统、下周压力控制、硬质阳极氧化真空舱。工艺废气处理系统也可提供。
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统外观尺寸
宽: 118cm
深: 95cm
机柜高度: 91cm
整机高度: 137cm
重量: 约227公斤
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统安装条件
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统主机 220V, 50/60Hz, 20A
感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统真空泵浦: 220V, 60Hz, 10 Amps (仅限机械真空泵浦) 220V, 50Hz, 5 Amps
冷却水:用于电极冷却5.5L/min (20℃)
大气: 用于电磁阀控制 (0.55MPa)
氮气:N2: 0.1~0.14MPa (用于真空处理舱吹扫))
气源: 等离子处理工艺气体, VCR 管件
如果您对GIK感应耦合等离子(ICP)刻蚀及等离子沉积处理系统感兴趣,请联系我们索取更详尽资料!极科有限公司(材料科学部)
大鼠I型前胶原羧基端原肽( PICP)elisa试剂盒首选上海户实,上海户实是一家致力于提供优质可靠的ELISA试剂盒及提供科研实验解决方案的生物公司,公司生产和销售的ELISA试剂盒种类包括细胞凋亡ELISA试剂盒,心肌梗塞检测ELSIA试剂盒,血栓与止血ELISA试剂盒,肿瘤标志物检测试剂盒,骨代谢ELISA试剂盒,活性多肽ELISA试剂盒,胰岛素ELISA试剂盒,免疫组化检测ELISA试剂盒等。公司客户遍布各大高校,医院,科研实验室,凡从我司选购的ELISA试剂盒,上海户实提供免费周到的代测服务,保证结果让您满意,并提供2个月免费退换货服务(非人为因素),针对新老客户推出先票随货,后付款的贴心服务,让您的实验更方便,快捷,省时!具体详情请致电公司销售!
大鼠I型前胶原羧基端原肽( PICP)ELISA试剂盒产品详情如下:
英文名称:Rat PICP (Procollagen I C-terminal Propeptide) ELISA Kit
ELISA试剂盒规格 | 48T | 96T | 保存 |
酶标包被板 | 1X48 | 1X96 | 4℃/-20℃ |
标准品 | 0.5ml X 1瓶 | 0.5ml X 1瓶 | 2℃-8℃ |
标准品稀释液 | 1.5ml X 1瓶 | 1.5ml X 1瓶 | 2℃-8℃ |
酶标试剂 | 3ml X 1瓶 | 3ml X 1瓶 | 2℃-8℃ |
样品稀释液 | 3ml X 1瓶 | 3ml X 1瓶 | 2℃-8℃ |
显色剂A液 | 3ml X 1瓶 | 3ml X 1瓶 | 2℃-8℃ |
显色剂B液 | 3ml X 1瓶 | 3ml X 1瓶 | 2℃-8℃ |
终止液 | 3ml X 1瓶 | 3ml X 1瓶 | 2℃-8℃ |
25倍浓缩洗涤液 | 20ml X 1瓶 | 20ml X 1瓶 | 2℃-8℃ |
封板膜 | 2片 | 2片 |
|
密封袋 | 1个 | 1个 |
|
说明书 | 1份 | 1份 |
|
产品保存及期限:2℃-8℃保存6个月
大鼠I型前胶原羧基端原肽( PICP)ELISA试剂盒是用于测定血清,血浆及相关液体样本中总待测物质的含量。
本试剂盒应用酶联免疫ELISA检测法测定标本中待测物质水平,用纯化的待测物质抗体包被微孔板,制成固相抗体,往包被单抗的微孔中依次加入代测物质,再与HRP标记的待测物质抗体结合,形成抗体-抗原-酶标抗体复合物,经过彻底洗涤后加底物TMB显色。TMB在HRP酶的催化下变成蓝色,并在酸的作用下转化成最终的黄色,颜色的深浅和样品中的待测物质呈正相关。用酶标仪在450nm波长下测定吸光度(OD值),通过标准曲线计算样品中待测物质浓度。
大鼠I型前胶原羧基端原肽( PICP)ELISA试剂盒数值计算:
以标准物的浓度为横坐标,OD值为纵坐标,在坐标纸上绘出标准曲线,根据样品的OD值由标准曲线查出相应的浓度;再乘以稀释倍数;或用标准物的浓度与OD值计算出标准曲线的直线回归方程式,将样品的OD值代入方程式,计算出样品浓度,再乘以稀释倍数,即为样品的实际浓度。
大鼠I型前胶原羧基端原肽( PICP)ELISA试剂盒操作步骤示意图:
大鼠I型前胶原羧基端原肽( PICP)ELISA试剂盒注意事项:
1.试剂盒从冷藏环境中取出应在室温平衡15-30分钟后方可使用,酶标包被板开封后如未用完,板条应装入密封袋中保存。2.浓洗涤液可能会有结晶析出,稀释时可在水浴中加温助溶,洗涤不影响结果。3.各步加样均应使用加样器,并经常校对其准确性,以避免试验误差。一次加样时间最好控制在5分钟内,如标本数量多,推荐使用排枪加样。4.请每次测定的同时做标准曲线,最好做复孔。如标本中待测物质含量过高(样本OD值大于标准品孔第一孔的OD值),请先用样品稀释液稀释一定倍数(n 倍)后再测定,计算时请最后乘以总稀释倍数(×n×5)。5.封板膜只限一次性使用,以避免交叉污染,底物请避光保存。6.严格按照说明书的操作进行,试验结果判定必须以酶标仪读数为准。7.所有样品,洗涤液和各种废弃物都应按传染物处理。8.如与英文说明书有异,以英文说明书为准。
公司物流服务说明:
1、绝大部分产品备有现货,一般情况下都能订货当日发货。2、部分非常用产品,需提前1-2日预订,订购进口ELISA试剂盒,则需要提前1-2周时间预订。3、部分产品价格会因货期、批次等因素发生变化,若有变动以订货当日最新报价为准。4、每日订单截止时间为17:30整,因超过截止时间造成当日不能发货的将于次日安排发货。5、订货,咨询请致电我司销售人员或QQ线上报价,如需产品图片,电子档中英文说明书等请留下您的EMAIL邮箱,微信,QQ等联系方式
公司售后服务:
1、上海户实所有的ELISA试剂盒均可免费代测,全程ELISA实验技术指导,免费代做实验,保证售前,售中,售后始终如一的提供最用心的服务,新老客户均可享受优惠折扣服务。
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人IV型胶原α1(COL4α1)ELISA试剂盒 Human COL4α1 (Collagen Type IV Alpha 1) ELISA Kit
人α乳清蛋白(α-La)ELISA试剂盒 Human α-La (Alpha-Lactalbumin) ELISA Kit
兔Fas凋亡抑制分子3(FAIM3)ELISA试剂盒 Rabbit FAIM3 (Fas Apoptotic Inhibitory Molecule 3) ELISA Kit
大鼠八聚体结合转录因子4(OCT4)ELISA试剂盒 Rat OCT4 (Octamer Binding Transcription Factor 4) ELISA Kit
猪XI型胶原α1(COL11α1)ELISA试剂盒 Porcine COL11α1 (Collagen Type XI Alpha 1) ELISA Kit
猴Bcl-2相关X蛋白(BAX)ELISA试剂盒 Monkey Bax (Bcl-2 Associated X Protein) ELISA Kit
大鼠分泌性白细胞肽酶抑制剂(SLPI)ELISA试剂盒 Rat SLPI (Secretory Leukocyte Peptidase Inhibitor) ELISA Kit
大鼠8-异构前列腺素F2α(8-epi-PGF2α)ELISA试剂盒 Rat 8-epi-PGF2α (8-Epi-Prostaglandin F2 Alpha) ELISA Kit
上海户实愿意做您在实验中可靠的伙伴,风雨无阻,让我们携手共进,共创辉煌!
一、仪器整机主要性能参数:
1、波长范围:190~500nm(3600L/mm光栅)或190~800nm(2400L/mm光栅);
2、分辨率: 0.006nm(3600L/mm光栅)或0.01nm(2400L/mm光栅);
3、波长示值误差和重复性:波长示值误差≤0.02nm,重复性≤0.003nm;
4、扫描步距:0.0004nm;
5、重复性:RSD≤1.0%;
6、稳定性:RSD≤1.5%;
7、检出限:ppb级;
8、分析元素范围:70余种金属与非金属元素;
9、线性范围:7个数量级以上,且自吸效应极低;
10、分析速度:每分钟扫描25个元素以上;
11、等级证书:国家计量器具型式许可A级(且远优于A级)。
二、仪器各部件详细参数:
射频发生器(RF)
(1)电路类型:电感反馈自激式振荡电路、同轴电缆输出、匹配调谐、取功率反馈信号,进行闭环自动控制;
(2)工作频率:40.68MHz±0.05%;
(3)频率稳定性:≤0.05%;
(4)输出功率:800~1200W;
(5)输出功率稳定性:≤0.2%;
(6)电磁场泄漏射强度:距机身20cm 处,电场强度:E<2 V / m。
进样装置
(1)输出工作线圈:内径25mm、3匝;
(2)炬管:三同心型,外径20mm的石英炬管;
(3)同轴型喷雾器:外径6mm;
(4)双筒型雾室:外径35mm;
(5)观测位置:纵向观察高低和横向观察前后,可通过软件直观地调为最佳;
(6)氩气流量计规格和载气压力表规格:
1、等离子气流量计:(100~1000)L/h (1.6~16L/min);
2、辅助气流量计:(10~100)L/h (0.16~1.66L/min);
3、载气流量计:(10~100)L/h (0.16~1.66L/min);
4、载气稳压阀:(0~0.4Mpa)L/h;
5、冷却水:水温:15~25℃ 流量>5L/min 水压>0.1Mpa 冷却水:电阻率>1MΩ。
分光器
(1)光路:Czerny-Turner;
(2)焦距:1000mm;
(3)光栅规格:离子刻蚀全息光栅;刻线密度3600L/mm,刻线面积:80×110mm(或刻线密度2400L/mm,刻线面积:80×110mm);
(4)线色散率倒数:0.26nm/mm;
(5)分辨率:≤0.006nm全波段;
(6)扫描波长范围:190~500nm,3600L/mm光栅;190~800nm,2400 L/mm光栅;
(7)扫描步距:0.0004nm;
(8)出射、入射狭缝:20μm×25μm;
(9)反射镜规格:(78×105×16)mm;
(10)透镜:φ30,1:1成像;
(11)反射镜规格:凹型;
(12)分光器恒温装置:26℃±1℃。
测光装置
(1)光电倍增管规格:R212UH或R928;
(2)光电倍增管负高压:-200~-1000V,自动调节,稳定性<0.05%;
(3)光电倍增管电流测量范围:10-4~10-12A;
(4)信号采集为V/F交换:1mV对应100Hz;
(5)采样电路:使用国外高精密度运算放大器,使仪器的灵敏度和精确度大大提高;
(6)仪器数据采集:通过串口与电脑连接,从而简化了电路使连接更加便捷;
(7)测光方式:单、多元素顺序测量。
操作软件:
(1)操作系统:Windows XP 操作平台;
(2)测定波长数:任意选择;
(3)分析速度:每分钟25个元素以上;
(4)数据库:谱线库11万条以上;
(5)多窗口:在测量完一次结果后可以在显示窗口保留上次结果同时、测量下一样品;
(6)标准加入法:软件要有标准加入法,以便在不同条件和应用中下使用;
(7)分析模式:软件默认最佳分析模式,拥有仪器诊断、谱图分析及几种测量方式和几种积分模式,单位任选等多种功能;
(8)历史数据库:在历史数据库中,可以同时可选择性地打印想要打印的批次分析结果;
(9)数据输出:软件支持激光打印机打印分析结果。
应用领域:广泛应用于稀土分析、贵金属分析、有色金属、合金材料、电子产品、医药卫生、冶金、地质、土壤、石油、化工、商检、环保等部门和钕铁硼、硅、硅铁、钨、钼等,从超微量到常量的定性或定量分析。公司介绍:惠州市华高仪器设备有限公司成立于2012年,是专业经营进口、国产高端品牌仪器设备的高科技含量的民营企业。公司致力于新技术开发、创新,不断推出适用于电子市场需求的测试仪器、设备。
经营主要产品:XRF测试仪、RoHS检测仪、x射线仪器、色谱、质谱、光谱、表面分析仪、直读光谱仪、元素分析仪、无损检测仪、三坐标测量系统、TVOC检测仪、气体分析仪、滴水角测试仪、测色仪、环境试验设备、玩具安全测试仪等。仪器仪表
经营主要品牌:SPECTRO、赛默飞世尔、日本日立、海克斯康、华唯计量等在中国区的授权代理商,以及日本岛津、瑞士万通、等知名品牌在华南主要经销商。日本三丰,奥林巴斯、蔡司、美国博曼、美国伊诺斯、牛津、德国斯派克、日本美能达、美国Interscan、思瑞测量、七海测量、西安力德、爱斯佩克惠州特约经销商。
公司本着专业为上、服务为先、诚信为本、踏实敬业、载誉天下的经营理念。在已有成绩的基础上,近年来一直不断拓宽产品线,提高销售人员素质,建设完善售后服务团队,致力于将国内外最好的产品推荐给用户,并把客户的满意度作为公司的最高荣誉;公司经过数年耕耘,已经拥有数量众多的用户。热忱欢迎广大新老客户前来洽购、指导!
仪器各部件详细参数:
射频发生器(RF)
(1)电路类型:电感反馈自激式振荡电路、同轴电缆输出、匹配调谐、取功率反馈信号,进行闭环自动控制;
(2)工作频率:40.68MHz±0.05%;
(3)频率稳定性:≤0.05%;
(4)输出功率:800~1200W;
(5)输出功率稳定性:≤0.2%;
(6)电磁场泄漏射强度:距机身20cm 处,电场强度:E<2 V / m。
进样装置
(1)输出工作线圈:内径25mm、3匝;
(2)炬管:三同心型,外径20mm的石英炬管;
(3)同轴型喷雾器:外径6mm;
(4)双筒型雾室:外径35mm;
(5)观测位置:纵向观察高低和横向观察前后,可通过软件直观地调为最佳;
(6)氩气流量计规格和载气压力表规格:
1、等离子气流量计:(100~1000)L/h (1.6~16L/min);
2、辅助气流量计:(10~100)L/h (0.16~1.66L/min);
3、载气流量计:(10~100)L/h (0.16~1.66L/min);
4、载气稳压阀:(0~0.4Mpa)L/h;
5、冷却水:水温:15~25℃ 流量>5L/min 水压>0.1Mpa 冷却水:电阻率>1MΩ。
分光器
(1)光路:Czerny-Turner;
(2)焦距:1000mm;
(3)光栅规格:离子刻蚀全息光栅;刻线密度3600L/mm,刻线面积:80×110mm(或刻线密度2400L/mm,刻线面积:80×110mm);
(4)线色散率倒数:0.26nm/mm;
(5)分辨率:≤0.006nm全波段;
(6)扫描波长范围:190~500nm,3600L/mm光栅;190~800nm,2400 L/mm光栅;
(7)扫描步距:0.0004nm;
(8)出射、入射狭缝:20μm×25μm;
(9)反射镜规格:(78×105×16)mm;
(10)透镜:φ30,1:1成像;
(11)反射镜规格:凹型;
(12)分光器恒温装置:26℃±1℃。
测光装置
(1)光电倍增管规格:R212UH或R928;
(2)光电倍增管负高压:-200~-1000V,自动调节,稳定性<0.05%;
(3)光电倍增管电流测量范围:10-4~10-12A;
(4)信号采集为V/F交换:1mV对应100Hz;
(5)采样电路:使用国外高精密度运算放大器,使仪器的灵敏度和精确度大大提高;
(6)仪器数据采集:通过串口与电脑连接,从而简化了电路使连接更加便捷;
(7)测光方式:单、多元素顺序测量。
操作软件:
(1)操作系统:Windows XP 操作平台;
(2)测定波长数:任意选择;
(3)分析速度:每分钟25个元素以上;
(4)数据库:谱线库11万条以上;
(5)多窗口:在测量完一次结果后可以在显示窗口保留上次结果同时、测量下一样品;
(6)标准加入法:软件要有标准加入法,以便在不同条件和应用中下使用;
(7)分析模式:软件默认最佳分析模式,拥有仪器诊断、谱图分析及几种测量方式和几种积分模式,单位任选等多种功能;
(8)历史数据库:在历史数据库中,可以同时可选择性地打印想要打印的批次分析结果;
(9)数据输出:软件支持激光打印机打印分析结果。
| 检出限 | 波长 |
| 检出限 | 波长 |
| 检出限 | 波长 |
| 检出限 | 波长 |
Ag | 0.003 | 328.07 | Al | 0.008 | 309.27 | As | 0.03 | 189.04 | Au | 0.008 | 242.80 |
B | 0.002 | 249.77 | Ba | 0.002 | 455.40 | Be | 0.001 | 313.04 | Bi | 0.04 | 223.06 |
Ca | 0.002 | 393.37 | Cd | 0.002 | 214.44 | Ce | 0.02 | 413.76 | Co | 0.004 | 238.62 |
Cr | 0.003 | 205.55 | Cu | 0.002 | 324.75 | Dy | 0.008 | 353.17 | Er | 0.005 | 337.27 |
Eu | 0.001 | 381.97 | Fe | 0.002 | 238.20 | Ga | 0.02 | 294.36 | Gd | 0.007 | 342.25 |
Ge | 0.02 | 209.43 | Hf | 0.008 | 277.34 | Hg | 0.02 | 194.23 | Ho | 0.004 | 345.60 |
I | 0.1 | 206.24 | In | 0.04 | 230.61 | Ir | 0.02 | 224.27 | La | 0.002 | 394.91 |
Li | 0.002 | 470.78 | Lu | 0.005 | 261.54 | Mg | 0.005 | 279.55 | Mn | 0.005 | 257.61 |
Mo | 0.004 | 202.03 | Nb | 0.005 | 309.42 | Nd | 0.03 | 401.23 | Ni | 0.008 | 221.65 |
Os | 0.004 | 225.59 | P | 0.05 | 213.62 | Pb | 0.03 | 220.35 | Pd | 0.02 | 340.46 |
Pr | 0.02 | 390.84 | Pt | 0.02 | 214.42 | Rb | 0.3 | 780.02 | Re | 0.006 | 221.43 |
Rh | 0.02 | 233.48 | Ru | 0.02 | 240.27 | Sb | 0.03 | 206.83 | Sc | 0.008 | 361.38 |
Se | 0.06 | 196.09 | Si | 0.008 | 251.61 | Sm | 0.02 | 359.26 | Sn | 0.02 | 289.98 |
Sr | 0.008 | 407.77 | Ta | 0.03 | 226.23 | Tb | 0.02 | 350.92 | Te | 0.04 | 214.28 |
Th | 0.04 | 283.73 | Ti | 0.002 | 334.94 | Tl | 0.04 | 190.86 | Tm | 0.004 | 313.13 |
U | 0.08 | 385.96 | V | 0.003 | 309.31 | W | 0.015 | 207.91 | Y | 0.001 | 371.03 |
Yb | 0.001 | 328.94 | Zn | 0.002 | 202.55 | Zr | 0.002 | 343.82 |
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德国SENTECH公司 ICP等离子/ RIE反应离子刻蚀机-----上海/苏州/无锡/南京/天津/北京/武汉/西安/杭州/济南/广州
SENTECH仪器(德国)有限公司研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器(光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射膜厚仪)、光伏测量仪器(在线和离线测量工具)和等离子工艺设备(等离子刻蚀机、等离子沉积系统、原子层沉积系统、用户定制多腔系统)。 仪器广泛应用于微电子、光电、纳米技术、LED、平板显示、材料、有机电子、光伏、玻璃镀膜、生物学、生命科学、等研发领域。
NOVTEC寓意“科技创新”,即诺威特测控科技有限公司,在德国、日本设有代表处,多年来致力于将世界著名品牌的高科技产品带给中国及亚洲的广大用户,并为客户提供完善的售后服务,协助他们提高生产技术水平、竞争力及增加盈利,专业从事工业测量与测试产品的销售与研发,拥有产品研发中心、研究院和生产工厂,技术力量雄厚。
产品简介
SI 500为研发和小批量生产应用提供先进的ICP刻蚀工艺,具备高度的灵活性和模块化设计特点,可实现范围广泛的刻蚀工艺。包括刻蚀III-V化合物、II-VI化合物、介质、石英、玻璃、硅和硅化合物等。
SI 500C低温ICP刻蚀机,可在-100℃左右的低温下实现深硅刻蚀。优点是刻蚀后形成非常光滑的侧壁,尤其在光学应用上非常重要。同时低温刻蚀工艺的高刻蚀速率可实现刻穿样片。
SI 591 采用模块化设计、具有高度灵活性,适用于III-V 化合物、聚合物、金属盒硅刻蚀工艺,可配置为单反反应腔系统、或带预真空室或片盒站的多腔系统。特别适用于采用氟基气体的工艺,具有很高的工艺稳定性和重复性。
型号
SI 500 | ICP刻蚀机 | -30~+200℃ |
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SI 500C | 低温ICP刻蚀机 | -150~+400℃ |
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SI 500-30 | ICP刻蚀机 | 带预真空室 | 最大12寸晶圆 |
SI 591 | 反应离子刻蚀机 | 带预真空室 |
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Etchlab200 | 反应离子刻蚀机 | 不带预真空室 |
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SI500-RIE | 反应离子刻蚀机 | 带预真空室 | 带氦气背冷却系统 |
具体型号及技术要求欢迎来电咨询
中国代理
苏州诺威特测控科技有限公司
Add:中国苏州市高新技术开发区金枫南路198号
联系人:邹小姐
Tel:18913500435
E-mail:info@novtec.hk
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ICP2060T电感耦合等离子体发射光谱仪特别适合用于测定各种石化产品中常量、微量、痕量元素的含量。 仪器拥有专业完善的油品直接进样测量技术,可智能调节氧气流量消除积碳影响,、抗干扰性强、自动化程度高、操作简便、稳定、测试范围广、分析速度快、检出限低等特点 性能特点 的油品直接进样测量技术 智能调节氧气流量,消除积碳影响 可测元素70多种 分析速度快,一分钟可测5-8个元素 多元素同时分析,客户可以自由选择元素数量与安排测量顺序 检出限低,可达到ppb量级 线性动态范围宽,高达6个数量级,高低含量可以同时测量 分析成本低,一瓶氩气可以用10-12小时 氩气消耗量低 氩气总消耗量小于14L/min. 波长范围宽 选择3600条刻线光栅,波长范围可达190nm-500nm 选择2400条刻线光栅,波长范围可达190nm-800nm 全自动化设计 自动化程度高,整台仪器除了电源开关,仪器所有功能都是通过计算机控制,、安全、方便。 性能的增强有机进样系统 天瑞特有的增强有机进样系统,支持油品直接进样测量,可针对不同种类的样品智能精密调节氧气流量,消除积碳影响,、稳定,满足不同客户的需求。 气体流量自动控制 进样系统中,载气、等离子气、辅气、助燃气全部采用的质量流量控制器(MFC)来控制,具有流量连续可调、流量稳定等优点,确保了进样系统的稳定,为光源的稳定提供了坚强的保障。 蠕动泵 四通道全自动设计,转速可根据流量需求调节设置,确保进样系统稳定。 稳定的全固态射频电源 仪器采用的射频电源为天瑞仪器自主研发的全固态射频电源,具有体积小、效率高、输出功率稳定、带有各种保护功能等诸多优点,进一步提高了仪器的稳定性与安全性。 快速的全自动匹配功能 负载终端采用天瑞仪器自主研发的全自动匹配技术,具有匹配速度快、精度高等优点,适合油品等复杂基体直接进样;确保了输出功率最大限度的加到了负载上面,提高电源的使用效率,从而提高仪器的稳定性,并使得整个点火过程方便简单。 性能稳定的光学系统 光路系统精密恒温,温度稳定性±0.1°C;分光室采用二重防震设计,大幅提高了仪器的稳定性。 人性化的设计,使得检测变得轻松、惬意 一键点火 配合天瑞的固态电源与自动匹配技术,ICP2060T的实现了一键点火功能。用户只需点击点火按钮,仪器自动进行气体吹扫、气体流量检查、点火、匹配等诸多动作,并将信息实时传递给客户,让客户省心省事。 观测高度调节自动化 可通过软件调整炬焰的观测高度减少基体效应,在的位置得到的测量效果。 强大的图形诊断功能 强大的图形诊断功能可以帮助客户充分的了解当前仪器的工作状态,并通过适当的参数设置来观察不同条件下仪器的运行状况,以把握的测量条件。 多元素自动测量 选择需要测量的各个元素,设定好测量参数,一切交给仪器,直接得到所有元素的测量结果,简单、省事。 强大的数据库管理 拥有几千条谱线,可以根据需要与爱好选择适当的谱线,避开可能存在的干扰,为您提供更多的选择,更合理的推荐,让测试变得更加专业与。 软件拥有自主知识产权,功能强大,操作人性化 ICP2060T 软件功能强大,具有中英文自动切换功能,可进行定性、定量分析;有数据再处理功能;自动计算元素含量,自动生成测试报告;具有数据筛选功能,剔除不想要的数据;数据库管理完善,可以自由保存与删除。 测试完毕后可以生成检测报告,检测报告内容可以根据用户需求选择,包括方法名称、仪器型号、元素、波长、强度、含量、相对标准偏差、单位、检测员、备注、校正人等,同时分析结果可以保存为pdf、word、excel等文件,方便用户分析。 软件界面设计人性化,简单明了,大大提高了分析效率。软件主界面集成软件的主要功能,包括控制等离子点火和灭火、仪器状态、分析参数、分析谱线、波长谱图显示、曲线拟合、数据处理、历史谱图、历史数据、用户管理等诸多功能。 产品规格与技术指标 体积:台式,放在桌面,1.5m×0.8m×0.8m 固态电源 工作频率:27.12MHz 频率稳定性:<0.05% 匹配方式:自动匹配 输出功率:800W ~1600W,连续可调,电源效率大于65% 输出功率稳定性:≤0.2% 输出工作线圈内径25mm、3匝,配三同心外径20mm的石英炬管 同轴型雾化器外径6mm 扫描分光器 光路:Czerny turner型 焦距:1000mm 光栅规格:离子刻蚀全息光栅,刻线密度3600L/mm或2400L/mm;刻划面积(80×110)mm 分辨率:≤0.008nm(3600线光栅) ≤0.015nm(2400线光栅) 扫描波长范围:3600线光栅:(190~500) nm;2400线光栅:(190~800) nm 电子测量及控制电路 光电倍增管规格:R212/R928 光电倍增管负高压:(-50~-1000)V 光电倍增管电流测量范围:(10-12~10-4)A 信号采集:VF转换 计算机系统 主机:联想品牌电脑 显示器:17英寸液晶显示器 打印机:Canon喷墨打印机 整机技术指标 扫描波长范围:190nm~500nm(3600L/mm光栅),190nm~800nm(2400L/mm光栅) 测量范围 含量:0.01ppm-几千ppm; 重复性:(即短期稳定度)相对标准偏差RSD≤1.5%; 稳定性:相对标准偏差RSD≤2%; 测试速度:5-8元素/每分钟 配置: 1、ICP2060T通信网线 2、气管 3、交流参数稳压器 4、气体减压阀 5、ICP2060T电源线 6、自动温控冷却循环水箱 7、接地铜板 8、水管 9、接地铜带 10、炬管 11、进口雾化器 12、增强有机进样系统 工作环境 贮存运输温度:15℃-25℃ 贮存运输相对湿度:≤70% 电源适应能力:220±10v 50-60Hz 工作湿度:≤70% 工作温度:15℃-30℃ 应用领域 测试原油中的30多种元素,主要有Fe、Na、Mg、Ni、V、Ca、Pb、Mo、Mn、Cr、Co、Ba、As等。 测定汽油中的铁、锰、铅、硅等; 润滑油中添加剂、磨损元素的测定; 基础油中多元素的测定; 甲醇中钠元素的测定; 油田示踪剂的测定等。 |