| | AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
| 流量范围（span） | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
| 压力范围（psi） | | | | | ||
| （参照附录） | | | ±2.0”水柱 | | ||
| 输出电压 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 标定点 | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
| 零点电压 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零点漂移 | | | | | ||
| +25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85?C | | | | | ||
| 输出电压漂移 | | | | | ||
| Max | | | | | ||
| +25~-25?C | -4% 读数 | ±5.0% 读数 | +24.0% 读数 | -5% 读数 | ||
| +25~+85?C | +4% 读数 | ±5.0% 读数 | -24.0% 读数 | +5% 读数 | ||
| 重复性& 迟滞Max | ±0.5% 读数 | ± 1% 读数 | ±0.5% 读数 | ±1% 读数 | ||
| | Min Typ. | Max. | | |||
| 电源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | | |||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | | |||
| 反应时间（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | | |||
| 共模压力（psi） <, /TD> | | 25 | | |||
| 工作温度 | -25~85?C | | | |||
| 储存温度（?C） | -40~90?C | | | |||
| 冲击（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） | | | |||
| 推荐型号 | 量程 |
| AWM3100V | +200SCCM |
| AWM3201CR | ±0.5 英寸水 |
| AWM3200V | ±2 英寸水 |
| AWM3300V | +1000SCCM |
微桥气流质量传感器是基于气流流过传感元件的热传输工作原理，传感器输出电压正比于流过内部传感元件的进出口的空气或其他气体质量。基于的微结构技术，传感器内含一块独特的硅芯片-它包含薄膜电路、发热及热敏感元件的热隔离桥电路，桥电路对流过芯片的气流快速、灵敏的响应。发热体两侧的敏感元件还能指示气流流过的方向。激光校整的厚膜电路及薄膜电阻了每个元器件一致的性能。微桥式气流质量传感器利用热敏电阻薄膜-被压成薄片包含在绝缘材料厚膜电路中，他们被悬挂起来在硅片刻蚀空洞上形成桥状，如右图显示，芯片被精确的安放在气流通道上，流量传感桥下的硅片刻蚀空洞的空气间隙提供发热体和热敏元件之间的热隔离。微桥式气流质量传感器的小尺寸和热隔离有助于气流的快速响应及高灵敏度。特殊设计的壳体精确地引导和控制气流流过微桥，并能很方便的安装在印刷线路板上。双惠斯顿电桥控制气流的测量一个提供闭环的发热器控制，另一个包含双传感元件，发热器控制线路把由于周围环境温度变化而引起的输出温飘减小到最小程度。此线路保持发热器温度恒定高于周围环境温度160?C，周围环境温度由芯片上的热敏电阻测量得知，惠斯顿电桥的差压即为随电源电压比率变化的传感器输出电压。气流中的灰尘平行流过芯片表面，另外热迁移效应能移走微米级的粒子，清洁了微电路，使用一些运用中可能存在的污染被减少，在我们的加速寿命试验中，在低于50sccm速度气流的典型的工业环境下，气流质量传感器能达到20 年的预测寿命。由于灰尘附着在芯片边缘而引起的堵塞在低速下可以简单地使用过滤网而解决，使用小格栅和高气流阻抗的过滤网可得到的过滤效果- 当大量灰尘堆积在过滤网上时，综合阻抗不会显著变化，可采用一次性使用的5 微米格栅的过滤网。特点：* 的微加工技术* 低气流速度敏感-0.1sccm* 检测流量200 升/ 分钟* 快速响应，低电流损耗，高反应重复性* 激光刻蚀提供了器件的一致性* 低压力精确测量（0.001-4”水柱）典型运用：* HVAC 的风门挡板控制* 气体分析仪* 低真空控制* 过程控制* 医用呼吸仪和肺活量仪* 氧气供应* 麻醉控制仪* 气体标定注意：AWM 传感器不能用于液体质量测量，当流过高速的液体流量时，传感器可能会遭到破坏。
AWM2000系列气体流量传感器: AWM2000系列为无源器件，包含两个惠斯顿电桥：一个为闭环的发热控制电路，一个为双传感电路. 。双向气流传感 。实际气体质量流量传感 。流速0~30sccm 到0~1000sccm 。能承受最大共膜压力25PSI 。需另加发热器控制及传感桥路供电电路 。工作温度:-25~+85℃ 。供电电压:10VDC 。输出电压:最大50mV AWM3000系列气体流量传感器: AWM3000 系列是输出为1-5V 或4~20mA的气体质量流量传感器 。激光校整了一致的互换性 。测量流速可至1.0LPM 。能承受最大共膜压力25PSI 。工作温度:-25~+85℃ 。供电电压:10VDC AWM40000系列气体流量传感器： AWM40000 系列包括不带放大和放大/ 信号处理的信号。气体流量传感器有一个由加热器与温度敏感元件组成的薄膜隔热的电桥式结构。该电桥式结构对流过芯片的空气或其他气体流量有灵敏和快速的反应。AWM43600V 为6SLPM 器件。它主要的特点是： 。的微加工技术 。检测流量0-6SLP 。工作温度可至125℃ 。可承受150PSI的共膜压力 。快速响应，低电流损耗。 。零点和满量程高稳定性 应用场合 ： 电缆充气机，医用呼吸机和肺活量仪，气体检测设备，气体标定 AWM5000 系列气体流量传感器 AWM5000 系列为文丘里流量管形外壳，可以测量至20 升/分钟，最大压降2.25"水的气流. 微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。每个AWM5000系列产品 都包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定，气体标定通过激光校整得到。各种流量接口可选 。文丘里管设计 。远程安装 。激光校整CO2，N2 氩气的标定 。能承受50psi的共模压力 。供电电压:10VDC,输出:5VDC 。工作温度:-20~+70℃ AWM700 系列气体流量传感器 AWM700系列微桥大流量传感器，提供了在线流量测量，和一个特殊设计的旁路封装，这种传感器测量流量可至标准200 标准升/ 分钟（200SLPM），同时导致1 英寸水柱的压降典型值。AWM720P1实现了小封装下的大流量范围，AWM720P1有一个6ms反应时间，10V直流供电，耗电仅60mW，紧凑的塑料封装，可承受过压至25PSI，而不影响指标。传感器的AMP兼容连接件提供了的电气连接。此传感器也很适合于便携设备和电池供电设备。AWM700系列传感器，主要是为医疗呼唤机市场开发的，可以满足许多医疗和分析仪器的应用需求。 。工作温度:-25~+85℃ 。供电电压:10VDC,输出:5VDC 。能承受25psi的共模压力