| AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
流量范围 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
后缀-标定气体 | VA-氩气(Ar)VC-二氧化碳(CO2)VN-氮气(N2) | |||
| Min Typ Max | |||
推荐供电电源VDC | 8.0 10±0.01 15 | |||
功耗(mW) | 100 | |||
反应时间(mA) | 60 | |||
零点输出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
零点漂移,VDC -20~70˚C | ±0.050 ±0.200 | |||
最大共模压力psi | 50 | |||
温度范围 | -20~+70˚C | |||
冲击指标 | 100g峰值,6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向) | |||
输出@ 较整点 | 5VDC@ 满量程流量 | |||
压差@ 满量程 | 参照压力& 气流表 | |||
满量程输出漂移+20˚~-25˚C +20˚~70˚C | 后缀VA 或VN ±7.0% 读数,VC ±10.0% 读数 | |||
线性误差 | ±3.0% 读数 | |||
迟滞& 重复性 | ±0.5% 读数 | |||
连接器(4pin receptacle) | AMP(103956-3)或MICROSWITCH(SS12143) | |||
泄漏 max | 0.1psi/min,在静态中 |
流量范围(满量程) | | +200SLPM | | |
| 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
供电电压(1) | 9.990 | 10.000 | 10.010 | VDC |
供电电压 | 8.000 | 10.000 | 15.000 | VDC |
功率损耗 | | | 60 | mw |
输出负载 | 沉电路 | 10 | mA |
| 源电路 | 20 | mA |
标定气体 | | 空气 | |
线性误差 | | +/-0.3 | % 读数 |
反应时间 | | 6 | ms |
操作温度 | | -25˚~85˚C | |
储藏温度 | | -40˚~90˚C | |
重复性和磁带 | | +/-0.5 | % 读数 |
流量(SLPM) | 典型值(VDC) | 公差(VDC) | 压降(英寸水柱) |
0 | 1.00 | 0.05 | 0 |
25 | 2.99 | - | 0.04 |
50 | 3.82 | 0.18 | 0.13 |
75 | 4.30 | - | 0.21 |
100 | 4.58 | - | 0.34 |
150 | 4.86 | - | 0.65 |
200 | 5.00 | 0.36 | 1.09 |
| AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
流量范围(span) | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
压力范围(psi) | | | | | ||
(参照附录) | | | ±2.0”水柱 | | ||
输出电压 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
@ 标定点 | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
零点电压 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
零点漂移 | | | | | ||
+25~-25˚C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
+25~+85˚C | | | | | ||
输出电压漂移 | | | | | ||
Max | | | | | ||
+25~-25˚C | -4% 读数 | ±5.0% 读数 | +24.0% 读数 | -5% 读数 | ||
+25~+85˚C | +4% 读数 | ±5.0% 读数 | -24.0% 读数 | +5% 读数 | ||
重复性& 迟滞Max | ±0.5% 读数 | ± 1% 读数 | ±0.5% 读数 | ±1% 读数 | ||
| Min Typ. | Max. | | |||
电源(VDC) | 8.0 10±0.01 | 15 (2) | | |||
功耗(mW) | 50 | 60 | | |||
反应时间(ms) | 1.0 | 3.0 (1) | | |||
共模压力(psi) <, /TD> | | 25 | | | | |
工作温度 | -25~85˚C | | | |||
储存温度(˚C) | -40~90˚C | | | |||
冲击(5drops,6axis) | 100g峰值(5drops,6axis) | | |
推荐型号 | 量程 |
AWM3100V | +200SCCM |
AWM3201CR | ±0.5 英寸水 |
AWM3200V | ±2 英寸水 |
本公司为Honeywell授权一级代理商, 气体质量流量传感器,现货供应,价格优惠 AWM3000系列 AWM3100V AWM3300V AWM3150V AWM40000系列 AWM42150VH AWM43300V AWM43300VH AWM43600V AWM5000系列 AWM5101VN AWM5104VN AWM7000系列 AWM720P1 | |
| AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
流量范围(span) | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
压力范围(psi) | | | | | ||
(参照附录) | | | ±2.0”水柱 | | ||
输出电压 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
@ 标定点 | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
零点电压 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
零点漂移 | | | | | ||
+25~-25˚C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
+25~+85˚C | | | | | ||
输出电压漂移 | | | | | ||
Max | | | | | ||
+25~-25˚C | -4% 读数 | ±5.0% 读数 | +24.0% 读数 | -5% 读数 | ||
+25~+85˚C | +4% 读数 | ±5.0% 读数 | -24.0% 读数 | +5% 读数 | ||
重复性& 迟滞Max | ±0.5% 读数 | ± 1% 读数 | ±0.5% 读数 | ±1% 读数 | ||
| Min Typ. | Max. | | |||
电源(VDC) | 8.0 10±0.01 | 15 (2) | | |||
功耗(mW) | 50 | 60 | | |||
反应时间(ms) | 1.0 | 3.0 (1) | | |||
共模压力(psi) <, /TD> | | 25 | | | | |
工作温度 | -25~85˚C | | | |||
储存温度(˚C) | -40~90˚C | | | |||
冲击(5drops,6axis) | 100g峰值(5drops,6axis) | | |
本公司为Honeywell授权一级代理商, 气体质量流量传感器,现货供应,价格优惠 AWM3000系列 AWM3300V AWM3300V AWM3150V AWM40000系列 AWM42150VH AWM43300V AWM43300VH AWM43600V AWM5000系列 AWM5101VN AWM5104VN AWM7000系列 AWM720P1 | |
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