1.方块电阻范围:10-3~2×105Ω/□
2.电阻率范围:10-4~2×106Ω-cm
3.测试电流范围:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.电流精度:±0.2%读数
5.电阻精度:≤0.3%
6.显示读数:液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式: 双电测量
8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整机不确定性误差: ≤4%(标准样片结果)
10.选购功能: 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台
11.测试探头: 探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针
智能型双电测四探针测试仪应用领域
覆盖膜;导电高分子膜,高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层,电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料,其他半导体材料、薄膜材料方阻测试智能型双电测四探针测试仪适用范围
硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件,导电薄膜(ITO导电膜玻璃等),金属膜,导电漆膜,蒸发铝膜,PCB铜箔膜,EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆,导电性糊状物,导电性塑料,导电性橡胶,导电性薄膜,金属薄膜, EMI 防护材料,导电性纤维,导电性陶瓷等,提供中文或英文两种语言操作界面选择
测量范围 | 电阻率:0.0001~2000Ω.cm(可扩展); 方块电阻:0.001~20000Ω/□(可扩展); 电导率:0.0005~10000 s/cm; 电阻:0.0001~2000Ω.cm; |
可测晶片厚度 | ≤3mm |
可测晶片直径 | 140mmX150mm(配S-2A型测试台); 200mmX200mm(配S-2B型测试台); 400mmX500mm(配S-2C型测试台); |
恒流源 | 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调 |
数字电压表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 输入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示; |
四探针探头基本指标 | 间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力); |
四探针探头应用参数 | (见探头附带的合格证) |
模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行) | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整机测量最大相对误差 | (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±4% |
整机测量标准不确定度 | ≤4% |
测试标准 | 采用双电测测试标准,通过RTS-5双电测测试软件控制四探针测试仪进行测量并实时采集两次组合模式下的电压值,然后根据双电测测试原理公式计算出电阻值。仪器主机也可兼容RTS-4四探针测试软件实现单电测测试标准,两套软件可同时使用。 |
软件功能 | 软件可记录、保存、打印每一点的测试数据,并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图,也可把测试数据输出到Excel中,对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能,根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 |
计算机通讯接口 | 并口,高速并行采集数据。 |
标准使用环境 | 温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射; |
技 术 指 标 : | ||||||||||||||||||||||||||||
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双电测四探针测试仪 四探针测量仪型号:SN/RTS-5