齐全PlasCalc系列等离子体监控器/光纤光谱仪/红外观察仪/滤光片/博盛

　
　 　 　
　
　
| 探测器 

PlasCalc系列等离子体监控器

 

产品特点

 

  • 1.0nm（半最大值全波）光学解析度
  • 200～1100nm波长范围
  • 快速建立和保存实验方法
    • 调制步骤编辑
    调制步骤编辑工具可以使用户简单、快速地设置、建立和保存实验方法。利用该工具可以对多数复杂的等离子体过程建立简便而的步骤设置：例如测量薄膜沉积情况、监测等离子蚀刻、检查表面清洁处理、分析等离子室健康控制情况、监测反常的污染和排放现象等。
     
    用于简单的等离子体诊断的多重工具
    PlasCalc型监控器配有操作软件，所提供的完整的公式编辑器可以进行所有需要的数学和算法功能。我们同时提供一个可选配的放射波长数据库，可以另外单独购买，它能够提供种类的鉴定；而波长编辑器则使用户完成信噪比的优化。操作界面包含两个窗口，可以同时显示真实的光谱和所有控制过程信息。
     
    产品规格

     

    光谱范围
    200～1100nm
    光学解析度
    1.0nm（半最大值全波）
    数字/模拟转换器
    14 bit
    数字输入/输出
    8 x TTL
    模拟输出
    4 x [0-10V]
    连接方式
    USB 1.1
    USB 1.1
    电力消耗
    12V直流电，1.25A
    电力需求
    90～240V交流电，50/60Hz
    尺寸
    257 mm x 152 mm x 263 mm
    重量
    5 kg

  • 共2条共1页
  • 1

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