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EMS300R T离子溅射镀膜仪EMS300R T

离子溅射镀膜仪EMS300R T
ems300r t大样品离子溅射镀膜仪（large chamber sputter coaters）适合sem（扫描电镜）、fe-sem（场发射扫描电镜）、tem（透射电镜）。 ems300r t 与ems150r t相似，明显区别是ems300r t腔室足够大，达到203mm，采用旋转真空泵抽真空；此外，它配备三个独立的溅射头，确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。（注意：既能溅射不易氧化金属，又能溅射易氧化金属，另见ems300t t）。海德创业（北京）作为该品牌产品的中国总代理，欢迎大家登录www.hedebio.com查阅。
更新时间:2025-06-26
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