分子束外延设备产品及厂家

SVTA-LMBE  美国SVT激光分子束外延设备/LMBE/Laser MBE
laser mbe具备pld和传统mbe的特点,对薄膜的生长速率进行(原子层级别)控制。设备特点是在mbe系统上增加激光烧蚀工艺,系统可以生长包括高熔点陶瓷以及多元素固体材料等各种材料。svt有20年的mbe设备制造经验,我们擅于通过在线监控薄膜生长来提高薄膜质量。所采用的在线监控仪器包括:温度测量仪、厚度测量仪、rheed、束流监控仪等。如果您想了解更多这方面的信息
更新时间:2025-06-23

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